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XJY-UTW400 的标准扫描范围和运动精度是多少？能满足

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杭州芯纪源半导体设备有限公司2026-05-13

标准扫描范围为X/Y 轴 400mm×400mm、Z 轴 120mm，XY 轴重复定位精度 ±0.5μm，Z 轴 ±2μm，能够完美适配 6/8/12 英寸晶圆及大尺寸功率模块的全表面检测。

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简介：芯纪源专注从事半导体检测设备研发、生产、销售为一体的科技型企业。
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    杭州芯纪源半导体设备有限公司 2026-05-15

    比较大扫描速度可达1250mm/s，在 50μm 分辨率下，100mm² 区域的典型扫描耗时≤25 秒，单小时可完成约 144 片样品检测，满足大规模量产需求。

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    杭州芯纪源半导体设备有限公司 2026-05-19

    支持大面积拼接扫描，对于超过标准扫描范围的超大尺寸样品，系统能够自动进行图像拼接，保证检测结果的完整性和连续性，比较大可检测尺寸可达 1000mm×1000mm。

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联系人： 吴先生

手   机： 15558189818

网   址： https://www.xjy-tec.com

地   址：
浙江省杭州市市辖区良渚街道网周路99号4幢21层2103室
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