硅晶圆片甩洗机的工作流程主要分为哪几个步骤？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-05-21

安田丰技术硅晶圆片甩洗机的工作流程清晰有序，主要分为五个步骤：一是晶圆放置，将清洗后的晶圆平稳放置在旋转盘上，确保接触良好；二是启动旋转，通过控制系统启动旋转轴，带动晶圆高速旋转；三是甩干过程，利用离心力将晶圆表面液体甩出，同时通过排水系统排出；四是停止旋转，达到预设干燥效果后，控制系统自动停止旋转；五是取出晶圆，待设备完全停止后，取出干燥后的晶圆用于后续工序。

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