吸附式机械手会对晶圆造成伤害吗？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-05-14

这款机械手在气流控制方面同样精益求精，其真空系统配备高效过滤器，可过滤掉0.3μm以上的颗粒，过滤效率达99.97%，确保吸入的空气洁净无污染。在吸附过程中，气流通过吸附盘的微孔均匀分布，避免了局部气流过大导致的晶圆振动或颗粒扬起。设备还设计了破真空保护功能，当需要释放晶圆时，系统会先缓慢降低真空度，再通过正压气流将残留颗粒吹离吸附盘，防止颗粒重新附着到晶圆表面。安田丰技术还提供定期维护服务，包括吸附盘清洗、过滤器更换等，确保设备长期保持高洁净度状态。如果想了解更多内容，可以进入官网详细了解哦

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