热翘曲量测设备的大量测深度是多少？

领先光学技术（江苏）有限公司2026-05-22

热翘曲量测设备大量测深度 / 量程可达 8mm，能覆盖半导体工件常见的翘曲幅度范围，无论是微米级翘曲还是毫米级变形，均可准确测量。

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