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如何实现多种线宽混合结构的压印?

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江苏优众微纳半导体科技有限公司2026-08-01

采用多模板分区压印工艺,在同一晶圆上实现不同线宽混合结构的加工-9。

江苏优众微纳半导体科技有限公司
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简介:江苏优众微纳半导体科技有限公司专注于纳米压印技术,提供半导体微纳器件解决方案。
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