安田丰技术(江苏)有限公司2026-05-17
安田丰技术光掩膜版夹持式机械手的夹持力可通过伺服控制系统进行精确调节,工作人员可根据光掩膜版的厚度、材质等因素灵活调整夹持力大小。这种设计可有效避免夹持力过大导致掩膜版边缘损伤,同时能够保证夹持的稳定性,防止掩膜版在搬运过程中发生松动或掉落。
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