设备在清洗易碎晶圆时有哪些缓冲设计？

安田丰技术（江苏）有限公司2026-06-12

晶圆承载台表面覆盖防滑缓冲材料，减少接触应力。机械手抓取边缘时采用软质夹爪。刷头压力控制响应速度快，避免冲击。传送运动曲线经过平滑处理。用户可设定较低的加速度与速度参数，减少惯性力对晶圆的影响。

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简介：安田丰公司专注于智能制造工艺装备和新材料，服务于AR和半导体行业，致力于提供高性能、高效率的解决方案

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