海南二氧化钛粒度分析仪厂家

CMP(化学机械抛光)工艺中磨料颗粒的高精度粒径表征随着半导体工业飞速发展，电子器件尺寸缩小，要求晶片表面平整度达到纳米级。CMP工艺作为芯片制造业不可或缺的一个部分，其对于磨料的颗粒粒度表征要求十分重要。CMP过程中使用的磨料颗粒典型尺寸范围是10-200nm，其颗粒表征要求精确地确定纳米级颗粒的尺寸，因此高分辨率纳米粒度分析仪是磨料颗粒表征的完美解决方案。磨料对CMP工艺起着至关重要的作用！欢迎选用CPS纳米粒度分析仪为您完美解决磨料颗粒问题！驰光机电科技有限公司与广大客户携手共创碧水蓝天。海南二氧化钛粒度分析仪厂家

而化学机械抛光（Chemical mechanical polishing，CMP）是集成电路芯片的一个关键制程，国内抛光所用关键材料CMP抛光垫，几乎全部依赖进口。CMP典型的抛光浆料都是纳米级发烟硅石(5Vol%，170-230nm)、高纯硅胶(9Vol%，6-80nm)、氧化铈(6Vol%，200-240nm)或氧化铝颗粒，它们的粒度或粒度分布必须小心地进行控制以免在抛光面上产生刮痕。CMP浆料的分散稳定性和保存期也是必须被认真考虑的重要环节。这种纳米浆料的使用浓度一般在(5-30W%)，容易聚集。随着贮存时间延长，它的粒度可能增大从而导致损害的产生。安徽高纯度氧化铝粉粒度在线分析仪报价驰光机电科技有限公司提供周到的解决方案，满足客户不同的服务需要。

提供数量、面积和体积等指标的平率分布图和表、累计分布图和表格粒度和粒型参数分布的结果；能够自动产生实验结果world报告。激光和视频分析产生的信息，很容易通过直观的数据报表软件得到。测量结果可以各种表格和图显示出来，这些表格和图可以由用户选择，以便正确显示需要的信息。通过数据挖掘技术，很容易实现数据比较和分析，允许对覆盖图和比较表进行编辑。轻点一下鼠标，就能生成Word格式的样品分析报告，该文件包括样品制备、粒径和粒形结果，还带有图像或视频信息。

系统配有冲洗系统，减少了由于系统污染引起的计划外停机维护时间。样品预处理系统：正确设计和操作样品调节系统是分析仪成功运行的关键。该系统基于现场经验针对这种复杂的工艺样品，专门为低维护操作而设计。低维护的固体颗粒分离器。不带过滤元件可将颗粒去除达到2-3微米，减少了维护量。先进的安全系统，保护分析仪免受高压影响和防止产品泄漏。简单校准。标准的引入是一种手工操作，只需使用注射器即可，不需要定期重新校准，无样本回收系统。公司地理位置优越，拥有完善的服务体系。

驰光机电小编温馨提示：为了准确地测量颗粒直径，EyeTech必须区分在焦点中心的和离开焦点中心的交互作用，因为只有在焦点中心的交互信号才能提供真实的颗粒直径。这个可以采用脉冲形状过滤器可以实现。只有衍生信号窄的脉冲才被认为是在中心的交互信号，然后被加到粒径分布数据中。颗粒互相作用产生光阻：可记录每个颗粒数据，直接测量真实粒径，与光学及其他性质无关，粒径浓度均可检测，无需校正；仪器的光学测量系统（主机）与样品分散系统完全单独的。驰光机电欢迎朋友们指导和业务洽谈。吉林CPS高精度纳米粒度分析仪哪家好

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一般离心式分析仪的动态范围为40，但是CPS系统的动态范围可以超过1000。过去很多需要消耗整夜时间而且低精度的测量，现在可以使用示差沉降法快速测量，而得到高精度的结果。低噪声光源/检测头：CPS纳米粒度分析仪的光学系统和电路经过精心设计以降低信号中的噪声，信噪比通常为50000左右，低噪声使得系统具有很高的灵敏度，可检测窄峰的重量通常小于0.01微克，这使得对于微克样品的常规高精度分析变得可行。CPS系统以合理的价格提供高精度、高动态范围和高灵敏度的粒度分析解决方案。海南二氧化钛粒度分析仪厂家

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