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KOFLOC流量控制器DF-200,DF-250C比较大入口压力500kPa(G)耐压980kPa(G)He泄漏率1x10-11Pa.m3/sec以下温度使用温度5～50℃精度保证温度15～35℃允许储存温度-10～60℃允许环境湿度10～90%RH（无结露）气体接触材料SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co电气连接D-sub9针KFCStandard（依据SEMIstandard），RJ-45模块化插孔x2流量设定信号0~5VDC（输入电阻约1MΩ）流量输出信号0~5VDC（负载电阻10kΩ以上）数字通信使用RS485旋转开关设置地址：**多99台（9600bps）所需电源（DC）+15VDC（±5％）：150mA，-15VDC（±5％）：150mA接头相当于1/4VCR安装姿势推荐水平方向重量（*9）约1100g（*1）应为干燥气体，无腐蚀性成分、灰尘、雾气等的干净气体。（*2）流量校准单位SCCM和SLM是质量流量在0°C和1个大气压状态下转换为体积流量cc/min和L/min的值。（*3）对于流量范围（比较大满量程）的精度。（*4）工作压差可能因规格而异。英国气体质量流量控制器价格德国SIKA流量开关VHS32M0BURKE04价格MCW-0.5SCCM-D MCW-1SCCMD MCW-2SCCMD MCW-5SCCMD MCW-10SCCMD MCW-20SCCMD.

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气体质量流量控制器(MassFlowController缩写为MFC)用于对于气体的质量流量进行精密丈量和控制;气体质量流量计(MassFlowMeter缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密丈量。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管丈量景象形象色谱仪，光导纤维制造设备中。并***用于石油化工，冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。1、结构MFM由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器通道机壳等部件组成，只能对气体质量流量进行丈量;在MFM基础上加上调节阀构成MFC，既可以对气体质量流量进行丈量，也能对流量进行控制。 英国气体质量流量控制器价格

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