美国压缩空气流量控制器哪家好

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MCW系列低压损气体质量流量控制器MCW系列低压损气体质量流量控制器 当可用的系统压力很少时,快速到达设定值,并保持对质量流量、体积流量或压力的稳定控制,压降低至0.07psid。是为处理 微小入口压力 或者很大的背压。这些装置具有更大的流动体和独特的层流片,使得 压降 低于10倍 标准装置 .低压损系列是利用一个更敏感的压力传感器,可控制微小压力值。包括每个装置多参数测量 :同时测量质量流量、体积流量、气体压力和气体温度。测量单位: 可选择压力测量单位， 工程单位列表。可选择性:  从我们的98+预载可跟踪气体校准中选择您的工艺气体。  气体列表 .混合气体选择:  定义20种自定义气体混合物,**多可使用5种成分气体 Composer ™ 。背光显示屏:  使用  背光显示器 和控制配置与方便用户的集成触摸板。用户可调节的设定点斜坡和限制：可配置的斜坡速率允许根据需要控制过程变量的快或慢，并且可配置的设定点限制可保护过程免受无意的设定点变化的影响。用户可调整的标准温度和压力条件:  迅速地  更改NTP条件 不需要再校准。阀门开合: 利用警报快速排气系统或根据需要停止所有流量。日本小岛KOFLOC气体流量控制器3665-3/8F9-O2-150SLM(20℃)?IN:0.25MPA日本原装进口 3660-1/4-CH4-5SLM现货。

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SPORLAN流量控制器GP200系列GP200系列是一款完全压力不敏感的基于压力的质量流量控制器，专为半导体制造中的先进蚀刻和沉积工艺而设计。即使在输送低蒸气压工艺气体时也能提供准确的工艺气体输送。降低了气体输送系统的复杂性和拥有成本，因为它消除了对压力调节器和传感器等组件的需求。性能特点较低的入口压力操作下游阀结构匹配的瞬态响应零泄漏控制阀本地显示指示流量、温度、压力和网络地址通过消除匹配和补偿两个**压力传感器的要求，GP200差压技术降低了测量不确定性，从而提高了精度、可重复性和漂移性能。由于GP200差压传感器专门针对低压差测量进行了优化，现在使用P-MFC可以在较低的入口压力下实现更安全的工厂操作。下游阀门结构确保精度**于下游压力，使流量能够在高达1200Torr的压力下输送。快速关闭阀解决了非生产性配方等待时间或“尾部效应”，这在上游MFC阀门设计中可见，需要额外的时间来排出其内部气体体积。快、高度可重复的上升和下降流动稳定时间可在先进的高循环沉积和蚀刻工艺中实现更严格的工艺控制美国压缩空气流量控制器哪家好

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