1无尘车间形式无尘车间从平面布置划分一般有三种形式：即开放式(ballroomtype)、港湾式(baycliasetype)、岛形布置（islandtype），如图1、2、3。以上三种形式无尘车间各有其优缺点,IC前工序生产厂通常采用港湾式和开放式无尘车间，港湾式无尘车间在5”、6”IC生产厂用得较多，其工艺设备为穿墙式：而8”、12”IC生产厂则普遍采用开放式无尘车间加微环境(mini-environment)的方式。开放式无尘车间***的***首先是对工艺布置带来**大的灵活性，这尤为重要，因为当今[C生产技术发展极为迅速，不论产品本身要求还是工艺生产过程和生产设备都处在不断变化中，而IC生产工厂的建设周期从开始设计到安装工艺设备通常需要一年半左右的时间，在这段时间内丁艺生产技术以及工艺没备需要不断的调整和更新，只有这样才可以保证投产时其生产技术小会处于落后的窘地，即使投产以后，也会因产品、市场及生产技术等因素的变化而需要对生产线进行改造以调整产品和产能。其次8”、12”IC生产对环境尤其是洁净度耍求极为严格，通常硅片暴露区（加工过程）要求（209E，μm，1级）．采用开放式无尘车间加微环境方式再配套自动物料处理系统automatedmaterialhandling)。无尘车间使用高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA），去除空气中绝大部分微粒。净化无尘车间
在下夹层或上静压箱内设干表冷器。无尘车间内的相对湿度由新风机组保证，温度由干表冷器保证。新风处理及相对湿度保证新风处理机组的功能段如图9所示，新风处理机组中设置初、中、**三级过滤，以去除室外空气中的灰尘粒子，设**过滤器很有必要，可以延长无尘车间顶部FFU内ULPA过滤器的使用寿命；设置化学过滤器主要是去除室外空气中对IC生产有影响的杂质气体，根据工厂所在地的室外空气品质设置相应的化学过滤器，化学过滤器后通常需设中效过滤器以去除化学过滤器本身的产尘；通过设在新风处理机组内的两级表冷、两级加热以及洁净蒸汽加湿器保证新风处理机组出口的干球温度及**温度全年基本恒定，而机组出口的**温度还应根据其对应送风区域内的相对湿度进行连续的重新整定，以保证室内的相对湿度。这里不以房间内的相对湿度直接控制加湿器或表冷器，而以房间内的相对湿度连续的重新整定机组出口的**温度，再由该**温度控制加湿器或表冷器是为了得到更及时的湿度控制：由于外网蒸汽中含有对IC生产有影响的杂质，新风处理机组的加湿应采用洁净蒸汽。洁净蒸汽加湿器通常设在表冷器前，这样可以使新风处理机组确提高相对湿度控制精度的潜能。有些工程中是以喷淋初级纯水。江苏供应无尘车间五星服务上海中湖告诉您无尘车间的运用方式。
无尘车间净化室内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室，可根据需要设置。无尘车间净化室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。
无尘车间的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。无尘车间的高度以净高控制，净应以100毫基本模数。无尘车间净化主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。厂房变形缝应避免穿过洁净区。送回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等；穿越极层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。不同洁净度等级的无尘车间之间需设缓冲间，防止人员跨区造成交叉污染。
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厂址应设在自然环境和水质较好,大气含尘浓度较低,地形、地物、地貌造成的小气候有利于生产、节能的区域,应远离大量散发粉尘、烟雾、有毒害气体和微生物的区域,如机场、铁路、码头、交通要道等,并在污染源和全年主导风向的上风侧面,且有一定的防护距离。无尘车间与交通主干道间距宜50米以上。动线规划要点：要检讨分析人车路径、配管系统、排气管道、原料搬运和作业的流程等，尽量缩短动线，并避免交叉，以防止交叉污染。作业者、化学药品、材料等动线勿集中；无尘车间四周，宜设缓冲区；制造装置的出入，不要对作业产生大影响。净化无尘车间
