自动断气气体混配器操作手册

ZTGas 气体混配器具备强大的多通道扩展能力，支持 2-8 路气体同时输入，可根据半导体生产的不同工艺需求，灵活配置气体通道与配比参数，适配光刻、蚀刻、沉积、封装等多个关键工艺环节。在光刻工艺中，需要精确混合惰性气体与反应气体，以控制光刻胶的曝光效果，ZTGas 混配器可通过精确控制气体组分，确保光刻图案的清晰度与一致性；在蚀刻工艺中，需根据蚀刻材料的不同，调整腐蚀性气体与稀释气体的配比，该设备可快速切换配比方案，满足不同芯片层的蚀刻需求；在沉积工艺中，混合气体的稳定性直接影响薄膜的厚度与均匀性，ZTGas 混配器的闭环控制技术可有效避免气体组分波动，提升沉积质量。此外，设备配备人性化的触摸屏操作界面，客户可通过预设工艺参数库，快速调用不同工艺对应的配比方案，也可根据实际需求实时修改参数，操作便捷灵活，大幅提升了生产工艺的切换效率。气体混配器可实时记录气体配比数据，方便企业进行生产过程追溯！自动断气气体混配器操作手册

德国 ZTGas 气体混配器以丰富的系列划分与明确的基础性能参数，适配多样化的气体混合需求。产品主要涵盖 WGM 系列（如 WGM15-2/3、WGM50-2/3 等）与 ZT 系列（如 ZT300-2/3、ZT500-2/3 等），不同系列针对不同流量与应用场景设计。主要性能参数中，混配比例统一覆盖 2-95%，可满足二元或三元气体的混合需求，压力规格固定为 25bar，能匹配常规工业气体输送压力标准。这种标准化的基础参数设计，让客户可根据自身流量需求快速选型，无需复杂的参数换算，同时也为设备的后期维护与配件更换提供了便利，降低了使用门槛，适用于中小规模生产企业及大型工厂的专项气体混合场景。不锈钢材质气体混配器工作原理工业集中供气系统工程承接，上海慕共整合气体混配器实现规模化供气。

上海慕共有限公司专注于工业集中供气系统安全联锁装置供应，产品能精确适配各类气体混配器，为用气安全筑牢防线。该公司供应的安全联锁装置涵盖压力监测、泄漏检测、紧急切断等功能模块，可根据气体混配器的型号、运行压力、混配气体类型等参数进行针对性匹配。在工业集中供气系统中，气体混配器作为气体混合的主要设备，其运行状态直接影响系统安全，上海慕共提供的安全联锁装置能实时监测气体混配器的工作参数，一旦发现压力超标、气体泄漏等异常情况，立即触发报警机制并自动切断气体混配器的气源输入，防止危险事故发生。同时，上海慕共会为客户提供专业的安装指导与调试服务，确保安全联锁装置与气体混配器、集中供气系统无缝衔接，实现全天候的安全防护，让客户放心使用。

上海慕共实业是专注气体应用工程的专业服务商，深耕行业20余年，以工程服务为重心，兼具深厚技术沉淀与丰富现场实操经验。

主要工程服务：围绕需求，精确落地

我们的工程服务以客户需求为主要，打造全链条支持：定制化工程方案：结合客户实际场景（工业生产、气体供应等），量身设计适配的气体应用工程解决方案；品牌产品适配与成本优势：作为德国Zigas、德国LT、英国Sensotec、英国BIS wells等欧美主力品牌的主要代理，我们对这些产品的性能、参数了如指掌，可精确推荐适配设备；同时凭借代理资质享受出厂价，助力客户控制工程成本；技术与售后背书：我们是上述国际品牌官方指定的技术及售后服务中心——品牌设备的技术支持、故障维修均由我方负责，技术实力获行业与品牌双重认可。

工程服务保障：经验+团队，全流程覆盖

20余年行业经验是我们的核心竞争力：技术团队深度融合欧美前沿技术与本土工程经验，可提供从方案设计、设备选型（含代理品牌产品）、工业设备连线、非标定制到安装调试的工程全流程服务，覆盖气体供应系统等多领域需求。 德国 LT 混配器与 Sensotec Rapidox 3100 分析仪组合，保障医药包装的惰性气体比例稳定。

德国 LT 电子版混配器在数据交互与智能化集成方面优势明显，配备 Modbus TCP/IP 等丰富通讯接口，能够轻松接入工厂 PLC/DCS 系统，实现远程控制与数据共享。设备支持自动数据记录功能，可实时存储混合比例、流量、压力等关键参数，便于用户追溯生产过程、优化工艺参数，同时满足合规管理要求。其数字化调控系统不仅简化了操作流程，还能通过系统联动实现多设备协同工作，提升生产自动化水平。该混配器适配工业 4.0 发展需求，可与智能生产系统无缝对接，为用户打造高效、可控的生产环境，广泛应用于自动化程度较高的化工、电子、能源等领域。电子元器件封装中，ZTGas气体混配器输出低湿惰性气体，满足芯片塑封环节的防潮与氧化防护要求。饮料保鲜气体混配器设备供应商

多元气体混配器支持 3-8 种气体同时混配，结合智能系统，能实时调整配比参数，满足实验室多场景测试。自动断气气体混配器操作手册

从技术协同角度看，ZTGas 和 LT 均遵循 “安全优先” 设计原则，LT 通过无软管设计与防爆结构降低泄漏风险，ZTGas 则搭配低泄漏减压阀（泄漏率低至 5×10⁻⁹mol/s）与阻火器形成完整安全链条，均满足工业防爆、防腐蚀标准。在 “双碳” 目标推动下，LT 推出支持氢气 - 天然气混合的低碳气体混配系统，ZTGas 则研发绿色氢气对应混配机型，两者共同为新能源、低碳工业提供技术支撑。无论是大流量工业场景的稳定供应，还是重点制造领域的准确控制，德国 LT 与 ZTGas 均能通过差异化优势覆盖需求，而上海慕共实业的本地化服务则进一步放大两者价值，为国内企业提供从设备选型到售后维护的 “一站式” 解决方案，推动工业气体应用向高效化、精确化、绿色化升级。自动断气气体混配器操作手册

上海慕共实业有限公司是一家有着雄厚实力背景、信誉可靠、励精图治、展望未来、有梦想有目标，有组织有体系的公司，坚持于带领员工在未来的道路上大放光明，携手共画蓝图，在上海市等地区的机械及行业设备行业中积累了大批忠诚的客户粉丝源，也收获了良好的用户口碑，为公司的发展奠定的良好的行业基础，也希望未来公司能成为*****，努力为行业领域的发展奉献出自己的一份力量，我们相信精益求精的工作态度和不断的完善创新理念以及自强不息，斗志昂扬的的企业精神将**上海慕共实业供应和您一起携手步入辉煌，共创佳绩，一直以来，公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针，员工精诚努力，协同奋取，以品质、服务来赢得市场，我们一直在路上！