在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。热传导真空计主要被应用于中低真空领域。代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。优势真空计代理商
热传导真空计是一种测量低真空的真空计，顾名思义，就是利用热量变化来测量真空的仪器。它的原理就是将一根金属丝通电加热，由于气体分子的运动会带走一部分热量，因此达到热平衡时温度越高，就说明气体导走的热量越少，气体分子密度越小，也就是压强越低，真空度越高。电离真空计是目前采用**广的真空计，是一种测量高真空的真空计，只有在真空抽到一定量级时才可以打开。它的工作原理为：具有足够能量的电子与气体分子碰撞，使气体分子电离，产生正离子和电子；电子在运动过程中与分子碰撞的次数正比于分子数密度，也即压强P，因此产生的正离子数就正比于压强P，可以通过测量正离子的多少来标定真空度的高低。HONEYWELL真空计对比价真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。
真空压力计有多种类型，包括但不限于以下几种：热传导真空压力计：利用气体热传导造成的某些结果（如热丝温度、电阻变化）来测量真空度。电离真空计：通过电子碰撞气体分子使之电离，用测得的离子流来反应压力。压缩式真空计：先将被测气体压缩以提高其压力，然后测量增高后的压力，再根据压缩比计算出原来的压力值。薄膜真空计：利用薄膜在真空压力作用下的变形来测量真空度，如电容式薄膜真空计。U型管真空计：使用历史**长、结构**简单的测量压力的仪器，通过U型管两端的液面差来指示真空度。数字式真空压力计：能够直接读取数字显示的压力值，操作便捷，且具有高精度和稳定性。通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。
电阻真空计的原理与应用电阻真空计，作为热传导真空计的一种，其工作原理是利用测量真空中热丝的温度来间接获得真空度的大小。在低压环境下，气体的热传导特性与压强密切相关，因此，电阻真空计的关键在于如何准确测量温度参数并建立起电阻与压强的对应关系。该仪器的主要构成部分包括规管中的加热灯丝，通常采用电阻温度系数较高的钨丝或铂丝。电阻真空计通过测量热丝电阻变化来确定真空度，其结果依赖于气体种类且存在测量范围限制。测量范围通常在105～10-2Pa之间。薄膜真空计原理根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计。国内真空计现货
如果大家仔细观察很多现代真空技术生产线设备，会发现这种Tamagawa真空计小部件，应用繁多。优势真空计代理商
KNF隔膜真空计安装步骤1、隔膜真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。2、隔膜真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保隔膜真空泵运转平稳，振动小3、隔膜真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小隔膜真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小隔膜真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于隔膜真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应***管道中焊渣，严禁焊渣进入隔膜真空泵腔。)4、在连接管路中，用户可在隔膜真空泵进气口上方安装阀门及真空计，随时可检查隔膜真空泵的极限压力。优势真空计代理商
