在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。对低真空和高真空的测量不能用一种真空计来完成，而应采用复合真空计，较多的是电离与热偶式复合真空计。便携式四合一真空计执行标准
不同类型真空计（如皮拉尼、电离、冷阴极）的**区别在于其测量原理基于的物理效应不同，这些效应决定了它们的适用范围、精度、响应速度及对气体种类的敏感性。以下是具体分析：1.皮拉尼真空计（PiraniGauge）原理：基于热传导效应。传感器为金属丝（如钨或铂），通电后发热。气体分子密度（即真空度）影响热传导效率：高真空时，气体分子少，热传导主要依赖残余气体，金属丝温度较高，电阻增大。低真空时，气体分子多，热传导增强，金属丝温度降低，电阻减小。通过测量金属丝电阻变化推算真空度。特点：量程：通常为10国内真空计性价比真空计测量过程中整个系统电源电压必须恒定。当真空度低于0.1Pa时，不能使用电离规。
***与相对真空计的比较***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响，而相对真空计须与***真空计对比得出压强值。在实际生产中，由于其校准更为便捷，相对真空计应用更为***。02电阻真空计◇工作原理电阻真空计通过测量热丝的电阻变化来间接获得真空度。在低压环境下，气体的热传导与压强密切相关，因此，电阻真空计的关键在于如何准确测量温度参数并建立电阻与压强的对应关系。测量范围及影响因素电阻真空计适用于测量较低至中等的真空度范围。其测量范围通常在105至10-2Pa之间。作为一种相对真空计，其测量结果会受到气体种类的影响，因为校准曲线通常是针对干燥的氮气或空气制定的。电阻真空计的长期使用需避免氧化影响，通过定期校准以确保准确性。
2025年关于《双活塞式压力真空计检定规程》征求意见稿发布 真空计双活塞式压力真空计由简单活塞系统、差动活塞系统、**砝码、校验器等组成。10月16日，全国压力计量技术委员会发布了《双活塞式压力真空计检定规程》征求意见稿，并面向全国的计量机构、科研院所等相关单位征求意见。本规程的修订引用了JJG99《砝码》检定规程文件，适用于测量范围为（-0.1——1）MPa的双活塞式压力真空计的***检定、后续检定和使用中检查。真空计（Vacuum Gauge），又名真空表，是测量真空度或气压的仪器。
规管构造主要包括加热灯丝C与D（通常采用铂丝）以及用于测量热丝温度的热电偶A与B（多采用铂铑或康铜-镍铬合金）。热偶真空计利用热电偶测量热丝温度变化，受气体种类影响，有特定的适用压强范围。在测量过程中，热电偶的热端与热丝紧密接触，而冷端则与仪器中的毫伏计相连，通过毫伏计可以读取热偶产生的电动势。不同气体的热传导性能各异，因此热偶真空计在测量不同气体时的结果会有所差异。为了获得准确的结果，需要对测量结果进行相应的修正。此外，热偶真空计的测量范围通常在102～10-1Pa之间。与电阻真空计相似，热偶真空计也具有一定的热惯性。在压强发生变化时，热丝温度的改变会存在一定的滞后时间，因此在读取数据时也需要相应地滞后一些时间。 电离真空计基于在一定条件下，待测气体的压力与气体电离产生的离子流呈正比关系的原理制作的真空测量仪器。怎样真空计性价比
通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。便携式四合一真空计执行标准
NC610AS 系列真空计采用高性能进口单晶硅压阻芯片，316L 不锈 钢隔离膜片，配合全自动封装技和先进的电路抗干扰处理和温度补偿技 术，将压力变量转换为稳定的 0-10V 电压信号。1.该产品体积精巧，易于安装；可以根据客户实际需求定制外形尺寸和过程连接形式。2.该产品采用304不锈钢壳体，316L不锈钢接液膜片；可以根据具体被测介质的特殊性订做特殊防腐要求的产品。3.该产品在抗变频干扰，耐振和防水方面表现突出。目前服务的行业：※能源工程※石油化工※制药工业※食品工业※机械工程※造船※水利电力※冶金※污水处理※制冷液压※光伏行业便携式四合一真空计执行标准
