真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 如果大家仔细观察很多现代真空技术生产线设备，会发现这种Tamagawa真空计小部件，应用繁多。如何选真空计操作
冷阴极真空计（ColdCathodeGauge，如潘宁计）原理：基于高压电场与磁场协同作用下的气体放电效应。结构包含两个阴极和一个阳极，外加轴向磁场。高压电场使阴极发射电子，电子在磁场中螺旋运动，增加与气体分子的碰撞概率，导致电离。电离产生的正离子被阴极捕获，形成离子电流，其大小与气体分子密度成正比。特点：量程：通常为10−6Torr至10−3Torr，适合中高真空。优点：无加热元件，结构简单、寿命长。对振动不敏感（适合航天等恶劣环境）。局限性：低真空下响应慢（需足够残余气体维持放电）。测量结果可能受磁场均匀性影响。本质区别总结类型**物理效应信号来源适用量程对气体种类敏感性皮拉尼计热传导效应金属丝电阻变化低真空至中真空高（需校准）热阴极电离计气体电离效应离子电流高真空至超高真空低（可忽略）冷阴极计（潘宁）高压电场+磁场放电效应离子电流中高真空低。 一体式真空计执行标准为改善真空计性能及提高真空测量准确度，必须突出主要现象，控制寄生现象。给出一些真空计的压力测量范围。
注意事项1.禁止用锐器或硬物捅引压孔内部膜片，这会引起传感器压力膜片损坏，导致无法维修。2.对于雷击频繁区域，建议线路中加装防雷装置。特别注意：以下几种情况不属于我公司质保范围：1.被测介质中含有颗粒或者粘性介质堵塞引压孔，损坏传感器膜片无法修复的。2.静态压力过载打坏传感器芯体。3.脉冲压力冲击损坏传感器芯体。4.未按照标牌要求提供合适电源，大电压烧坏变送器线路模块。5.未在标牌要求的介质温度范围内使用。6.压力过载到3倍满量程以上。7.未联系厂家自行拆卸产品出现的质量问题。
真空计与压强的关系为，真空度越高，压强越小；真空度越低，压强越大。正因为此，真空度的单位用的是压强单位。一个标准大气压用帕斯卡（Pa）表示为1atm=1.013×105Pa这样我们就得到不同真空单位之间的换算关系。有了单位，我们就可以对真空度进行划分。国际上没有统一的划分标准，常用的划分是这样的，粗真空：760Torr~1Torr低真空：1Torr~10-3Torr一般真空：10-3Torr~10-6Torr高真空：10-6Torr~10-9Torr超高真空：10-9Torr~10-12Tor那么有了这个标准，我们上面提到的针管中的真空以及托里拆利实验中的真空就都属于粗真空的范畴了。那么实验室里常用的超高真空状态是怎么实现的呢？这就涉及到了我们的**内容——真空泵。电容薄膜bai真空计是一种绝压、全压测量的真空计。
真空计广泛应用于气体输送、管道液体及密闭容器中测量无腐蚀性、无危险、无结晶体、不凝固体的各种液体、气体、蒸汽等介质的压力大小。特别是在半导体制造、光伏产业、纳米技术研发、生物医学研究以及航空航天等领域，真空压力计发挥着至关重要的作用，为产品的质量控制和研发创新提供了有力支持。四、特点与优势高精度：能够准确反映真空系统的压力状况。稳定性好：在长时间使用过程中保持测量结果的准确性。操作便捷：特别是对于数字式真空压力计，直接读取数字显示的压力值，操作更为简单直观。应用范围广：不仅适用于科研和工业生产中的真空测量，也适用于真空设备的检测和维护。大部分真空计的读数与气体种类和成分有关。艾科思 真空计技术参数
被测气体是否会损伤真空计；真空计可否会给被测气体状态带来影响。如何选真空计操作
半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿发布 半导体管特性图示仪校准仪是校准半导体管特性图示仪的**校准仪器。目前主要有两种类型：阶梯归一化图示仪校准仪和阶梯采样测量图示仪校准仪。9月29日，全国无线电计量技术委员会发布了《半导体管特性图示仪校准仪校准规范》征求意见稿，并向全国的计量机构、科研院所等单位征求意见。该规范根据一系列计量准则制定，对仪器的术语、校准规范、校准方法等进行规范，有助于该仪器测量过程中规范使用，真空计保证测量数据的准确性。如何选真空计操作
