高温无氧烘箱固化半导体晶圆

无氧烘箱适用范围无氧化烘箱在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2或者N2,形成高温、低氧（无氧）或者洁净环境（无氧洁净烤箱），防止材料在烘烤时被氧化。适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理；封 装测试；光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜；银浆固化、模后固化、电镀退火；基板除潮、晶圆干燥退火等。广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。浚和(上海)仪器科技有限公司是一家专业提供高温无氧烘箱 的公司，欢迎您的来电！高温无氧烘箱固化半导体晶圆

在使用烘箱时需要知道的五个知识点现在烘箱很多地方都能用到，但有些地方是不可以用的，用时也有很多注意事项的，下面来列举一下，在使用烘箱时常见的五个知识点，希望对您有所帮助。1、可燃性和挥发性的化学物品切勿放入箱内。2、如在使用过程中出现异常、气味、烟雾等情况，请立即关闭电源，用户切勿盲目修理，应通知本公司修理部，由专业人员查看修理。3、烘箱箱壁内胆和设备表面 要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。请勿用酸、碱或其它腐蚀性溶液来擦试外表面。可选用中性洗涤剂来清洁。4、烘箱长期不用，应拨掉电源线以防止设备损伤。并应定期(一般一季度)按使用条件运行2-3天，以驱除电器部分的潮气，避免损坏有关器件。5、烘箱箱体顶部为电气控制柜，方便于集中检查维修，维修前请与我司售后联系确认。*文章为个人观点，不作为技术参考。具体操作请在技术人员指导下进行。河南高温无氧烘箱工作温度浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供高温无氧烘箱 ，期待您的光临！

DNN660C厌氧高温气氛炉相关参数及规格（YAMATO）1、方式：氮气置换+强制送风循环2、性能：①使用温度范围：室温+50～600℃②温度调节精度：±1.0℃（at600℃）③温度分布精度：±8.0℃（at600℃）④MAX温度到达时间：约110分钟⑤氧浓度：20ppm以下⑥氧浓度到达 时间：≤25分（250L/min氮气）3、构成：①内装：不锈钢板②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装③断热材：硅酸铝棉④加热方式：不锈钢加热管⑤加热功率：主加热器14.2KW⑥N2预热：1KW⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器4、控制器：①温度控制方式：PID控制②温度控制器：液晶触摸屏+PLC③运行功能：手动定值运行、自动程序运行④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）⑤附加功能：操作员等级认证⑥加热器回路控制：SSR驱动⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2预热温度过升、水压低检测、N2压力低检测、冷却水流量检测、N2流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等

烘箱注意事项与保养1、使用前注意电压是否正确，请使用机台上所标示之电压，避免电过量，而火灾发生。2、马达运行方向是否正常，若出风口有气体排出则为正常。（只适用于三相电压380V的机型）3、当显示温度与实际温度(由标准温度计测出）差异甚大时， 不可随意调整线路板之零件或内部参数，应通知本公司派工作人员前往处理。4、使用过程中温度变化时，请匆随意打开机门。5、恒温时，当显示温度与设定温度有过冲或偏低现象，需进行自动演算，详见操作说明。6、请匆将机台放置于潮湿之场所或直接用水冲洗，以防漏电。7、禁止放置酒精、粘结剂等，具有可燃性、挥发性之物品于机台内，防止意外发生。8、在机台附近使用可燃性物品，应适当远离，防止意外发生。9、请小心将物品放入机台，温度在60度以上的请务必戴高温手套。10、每次使用结束后，关闭电源。11、打扫表面及内腔灰尘，保持机器清洁。12、检查通风口是否堵塞，并清理积尘。13、机台内的加热器要定期进行检查，除尘及其它杂残留物。14、突然停电，要把加热开关关闭，防止来电时自动启动。15、若长期停用，必须对箱体进行内、外清洁，拨掉电源插头罩上塑料防尘套。*文章 为个人观点，具体操作请在技术人员指导下进行。浚和(上海)仪器科技有限公司是一家专业提供高温无氧烘箱 的公司，有需求可以来电咨询！

C1-008洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。●全不锈钢材质。●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。室温+30～360℃规格参数：温度范围：室温+30～360℃温 度分布精度：±4.0℃（at360℃）温度上升时间：60min（室温→360℃）温度下降时间：90min（360℃→50℃）氧浓度：20ppm以下氧浓度下降时间：约45分钟洁净度：100级装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等内尺寸：W600×D600×H600mm电源：3相AC380V室温室温+50～500℃规格参数：温度范围：室温+50～500℃温度分布精度：±8.0℃（a500℃）温度上升时间：90min（室温→500℃）温度下降时间：120min（500℃→50℃）氧浓度：20ppm以下氧浓度下降时间：约45分钟洁净度：100级装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等内尺寸：W600×D600×H600mm电源：3相AC380V浚和(上海)仪器科技有限公司力于提供高温无氧烘箱 ，有想法可以来我司咨询。河南高温无氧烘箱工作温度

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充氮烘箱的氮气接口使用方法充氮烘箱分为：鼓风式和真空式两种鼓风式充氮气一般需要箱体满焊确保氮气损耗快，在烘箱上配一个氮气快插接 口，用于快速连接氮气管路，如果避免氮气快插接口有漏气问题，氮气入口处有蓝色密胶圈，管子伸进去后把密胶圈往外拉一下确保密封。真空式充氮气一般都用类似煤气阀的手动阀门，向外的一头就是用于连接氮气管子的快插接口，，氮气入口处有蓝色密胶圈，管子伸进去，使用时打开阀门即可。-------------------------高温无氧烘箱固化半导体晶圆