使用真空泵基础

蠕动泵市场发展空间：蠕动泵又称为计量泵、恒流泵等，是一种液体传输分析仪器设备，主要由驱动器、泵头、泵管三部分组成。蠕动泵主要用于输送具有粘稠、强腐蚀性、纯度高、带颗粒等特征的介质，其具有结构紧凑、易于安装、操作便捷、精度高、维修费用低等优势，在化工、采矿、食品、医疗设备检测、水处理、造纸、冶金等领域应用较广。蠕动泵产品丰富，根据类型不同，蠕动泵可分为基本型蠕动泵、防爆型蠕动泵、流量型蠕动泵、分配型蠕动泵、手持型蠕动泵、定制型（OEM）蠕动泵等；根据应用领域不同，蠕动泵可分为实验用蠕动泵、工业用蠕动泵、医用蠕动泵等。总体来看，蠕动泵下游需求增长动力主要来源于医学领域，其次为水处理领域。微型隔膜泵的工作原理是通过隔膜的往复运动来改变泵腔的容积，从而实现吸入和排出液体的目的。使用真空泵基础

步进电机蠕动泵顾名思义是采用步进电机驱动的蠕动泵。步进电机具有良好的启停和反转响应、较宽的转速范围和可靠性等。而采用步进电机的蠕动泵具有体积小，使用时间长，流量稳定以及精度较高等。蠕动泵是很受欢迎的流体传输设备，应用领域多方面。蠕动泵常被用户分为流量型蠕动泵、基本型蠕动泵、分配型蠕动泵、紧凑型蠕动泵等。部分用户会按照电机类型分类：步进电机蠕动泵、直流电机蠕动泵、伺服电机蠕动泵、防爆电机型蠕动泵等。全国国内真空泵蠕动泵符合生化、医学领域使用的卫生标准；具有良好的自吸能力（非虹吸），可防止回流。

无油活塞泵：它是一种利用活塞往复运动产生的泵吸气的真空设备，其工作原理是通过活塞的上下往复运动，使气体在泵筒内产生压缩和膨胀，从而产生负压来吸气。其广泛应用在医疗行业、电子制造、化工行业和食品行业等自动化设备领域。无需油，符合工业环保要求无油活塞真空泵在整个工作过程中，无需使用润滑油，无油活塞真空泵气缸内壁特殊处理，形成自润滑，不会产生油雾和废气，有效减少了对环境的污染，相对传统油式真空泵比较环保节能。在电机材质和设计上也独具匠心，电机能效比高，极低发热量，提高电机的运行效率和降低能源消耗，有效提高了节能环保的效果。

微型化真空系统需要相互协调的全微型化元器件，其中比较主要的外围器件就是真空泵，真空泵微型化分析按照工作原理不同，真空泵主要分为气体输运泵和气体捕集泵。输运泵通过气体不断吸入和排出达到抽气目的，常见的有膜片泵、旋片泵、扩散泵和分子泵；捕集泵通过气体吸附剂或低温表面吸附、捕集气体实现抽气，主要包括离子泵、升华泵和低温泵等[9]。宏观真空泵抽气速率高、极限真空高、抽气效率高，微型化后，由于微加工工艺兼容性原因，可以预期到其性能会下降。同时研究表明，并非所有宏观真空泵都适合微型化。蠕动泵的工作原理是通过交替压缩和释放软管来实现液体输送，因此它对液体的搅动非常小。

无油活塞式真空泵：是一种活塞式真空泵，用来抽除密封容器中的气体，以获取真空的基本设备。它的工作原理和一般容积泵相同，由定子、转子、旋片、缸体、电机等主要零件组成。带有旋片的转子，偏心地安装在定缸内，当转子高速旋转时，转子槽内四个径向滑动旋片将泵腔分隔成四个工作室，由于离心力作用，旋片紧贴在缸壁，把定子进排出口分离开来，周而复始运转，进行变容，将吸入气体，从排气口排出，从而达到抽气目的。适用于多种场合。泵微型蠕动在没有液体冷却和润滑的情况下可能会产生更高的温度。辽宁真空泵规格尺寸

为了减少脉动，许多蠕动泵提供弹簧加载机制以确保平稳地泵送动作。使用真空泵基础

有些真空泵因为高速运动部件制造比较困难，微型化后性能会大幅下降。如宏观低真空比较常用的旋片泵，微型化时要保证旋片和腔体间严格密封以及高度耐磨，这对加工容差提出了很高的要求，迄今仍不能很好实现。利用先进LIGA（Lithographie，Galvaonoformung & Abformung） 技术实现的、与旋片泵原理比较接近的微型精密旋转齿轮泵，功能还只限于液体抽运，而不能有效用于实现真空[10]。宏观高真空比较常用的涡轮分子泵，虽然已有针对小型化的新设计提出[11]，但因其高速叶轮和复杂结构制造与微加工兼容较差，目前只有部分采用微加工技术的准微型化样品[12]，全MEMS 微加工技术的分子泵成品尚未见报道。使用真空泵基础