HJT电池所有制程的加工温度均低于250,避免了生产效率低而成本高的高温扩散制结的过程,而且低温工艺使得a-Si薄膜的光学带隙、沉积速率、吸收系数以及氢含量得到较精确的控制,也可避免因高温导致的热应力等不良影响。HJT电池转换效率高,拓展潜力大,工艺简单并且降本路线清晰,契合了光伏产业发展的规律,是有潜力的下一代电池技术。HJT电池为对称的双面结构,主要由 N 型单晶硅片衬底、正面和背面的本征/掺杂非晶硅薄膜层、双面的透明导电氧化薄膜(TCO) 层和金属电极构成。其中,本征非晶硅层起到表面钝化作用,P型掺杂非晶硅层为发射层,N 型掺杂非晶硅层起到背场作用。异质结电池功率高,双面率高,工序短,低温工艺,温度系数低,衰减低等。南京专业异质结薄膜

异质结电池生产设备,本征非晶硅薄膜沉积(i-a-Si:H)i-a-Si:H/c-Si界面处存在复合活性高的异质界面,是由于界面处非晶硅薄膜中的缺陷和界面上的悬挂键会成为复合中心,因此需要进行化学钝化;化学钝化主要由氢钝化非晶硅薄膜钝化层来完成,将非晶硅薄膜中的缺陷和界面悬挂键饱和来减少复合性缺陷态密度。掺杂非晶硅薄膜沉积场钝化主要在电池背面沉积同型掺杂非晶硅薄层形成背电场,可以削弱界面的复合,达到减少载流子复合和获取更多光生载流子的目的;掺杂非晶硅薄膜一般采用与沉积本征非晶硅膜层相似的等离子体系统来完成;p型掺杂常用的掺杂源为硼烷(B2H6)混氢,或者三甲基硼(TMB);n型掺杂则用磷烷混氢(PH3)。优越的表面钝化能力是获得较高电池效率的重要条件,利用非晶硅优异的钝化效果,可将硅片的少子寿命大幅度提升。江苏专业异质结材料光伏异质结的制造工艺包括薄膜沉积、热处理、光刻等步骤,具有灵活性高、可定制化的优点。
异质结HJT电池生产设备,制绒清洗的主要目的。1去除硅片表面的污染和损伤层;2利用KOH腐蚀液对n型硅片进行各项异性腐蚀,将Si(100)晶面腐蚀为Si(111)晶面的四方椎体结构(“金字塔结构”),即在硅片表面形成绒面,可将硅片表面反射率降低至12.5%以下,从而产生更多的光生载流子;3形成洁净硅片表面,由于HJT电池中硅片衬底表面直接为异质结界面的一部分,避免不洁净引进的缺陷和杂质而带来的结界面处载流子的复合。碱溶液浓度较低时,单晶硅的(100)与(111)晶面的腐蚀速度差别比较明显,速度的比值被称为各向异性因子(anisotropicfactorAF);因此改变碱溶液的浓度及温度,可以有效地改变AF,使得在不同方向上的速度不同,在硅片表面形成密集分布的“金字塔”结构的减反射绒面;在制绒工序,绒面大小为主要指标,一般可通过添加剂的选择、工艺配比的变化、工艺温度及工艺时间等来进行调节控制。
高效异质结电池整线解决方案,TCO的作用:在形成a-Si:H/c-Si异质结后,电池被用一个~80纳米的透明导电氧化物接触。~80纳米薄的透明导电氧化物(TCO)层和前面的金属网格。透明导电氧化物通常是掺有Sn的InO(ITO)或掺有Al的ZnO。通常,TCO也被用来在电池的背面形成一个介电镜。因此,为了理解和优化整个a-Si:H/c-Si太阳能电池,还必须考虑TCO对电池光电性能的影响。由于其高掺杂度,TCO的电子行为就像一个电荷载流子迁移率相当低的金属,而TCO/a-Si:H结的电子行为通常被假定为类似于金属-半导体结。 TCO的功函数对TCO/a-Si:H/c-Si结构中的带状排列以及电荷载流子在异质结上的传输起着重要作用。此外,TCO在大约10纳米薄的a-Si:H上的沉积通常采用溅射工艺;在此,应该考虑到在该溅射工艺中损坏脆弱的a-Si:H/c-Si界面的可能性,并且在工艺优化中必须考虑到。光伏异质结是一种高效太阳能电池,具有双面发电和低光衰减等优点。
异质结电池整线生产设备,l在扩散的过程中,pn结p区一侧出现负电荷区,n区一侧出现正电荷区,其形成空间电荷区,在空间内部形成内建电场,载流子做漂移运动,阻碍电子与空穴的扩散,达到平衡,能带停止相对移动,p区能带相对于n区上移,n区能带相对于p区下移,pn结的费米能级处处相等,即载流子的扩散电流和漂移电流相互抵消;pn结势垒区存在较强的内建电场(自n区指向p区),则p区的电子进入n区,n区的空穴进入p区,使p端电势升高,n端电势降低,在pn结两端产生光生电动势,即为PN结的光生伏特效应。同理,由于光照在PN结两端产生光生电动势,即在PN结两端加上正向偏压V,则产生正向电流IF,在PN结开路时,光生电流等于正向电流,PN结两端建立起稳定的电势差VOC,即光电池的开路电压,这就是光电池的基本原理。异质结电池能够提供更高的能量转换效率,有助于降低光伏发电的成本,提高电力系统的经济性。四川釜川异质结装备供应商
光伏异质结电池PECVD是制备PIN层的主流设备,其结构和工艺机理复杂,影响因素众多,需要专业公司制备。南京专业异质结薄膜
高效异质结电池整线设备,HWCVD 1、热丝化学气相沉积(HotWireCVD,HWCVD)是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来制备非晶硅薄膜,对衬底无损伤,且成膜质量非常好,但镀膜均匀性较差,且热丝作为耗材,成本较高;2、HWCVD一般分为三个阶段,一是反应气体在热丝处的分解反应,二是基元向衬底运输过程中的气相反应,第三是生长薄膜的表面反应。PECVD镀膜均匀性较高,工艺窗口宽,对衬底损伤较大。HWCVD是利用高温热丝催化作用使SiH4分解来成膜,对衬底无损伤,且成膜质量好,但镀膜均匀性较差且成本较高。南京专业异质结薄膜