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     光刻机又称为掩模对准曝光机，是集成电路制造过程中关键的设备。它是通过使用紫外光或者深紫外光(EUV)照射到涂有光刻胶的硅片上，经过曝光后，光刻胶会被溶解或者改变形状，从而揭掉上面的图案，这个图案就是接下来要被刻蚀的图形。

光刻机的原理可以简单地分为以下几个步骤：

1.涂布光刻胶：首先，在硅片上涂上一层光刻胶。

2.曝光：然后，将硅片放入光刻机中，并放置好掩模。掩模上刻有的图案将会被光刻胶复制到硅片上。

3.开发：曝光后，将硅片取出，用特定化学物质(如酸液)擦去未被光刻胶覆盖的部分。

4.刻蚀：用湿法或者干法将暴露在光下的光刻胶去除，从而完成图形的刻蚀。光刻机的主要部件包括投影系统、物镜系统、对准系统、传动系统和曝光控制系统等。其中，投影系统是光刻机的关键部分，它将掩模上的图案投影到硅片上。 刻字技术可以在IC芯片上刻写产品的工业自动化和机器人控制功能。上海升压IC芯片刻字打字

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