非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准粗糙度测量符合ISO标准25178-602传感器适用任何反射表面;通过塑料或玻璃等透明层。上海光谱共焦传感器测量范围

生物医疗-人造膝关节粗糙度测量符合ISO标准25178-602,传感器适用任何反射表面机械手表特别用于于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°;高达±88°的漫反射微流体类通过塑料或玻璃等透明层,使用亚微米级分辨率测量微流体每秒可测量360,000点涡轮叶片特别用于于在线测量的传感器比较大样本斜率±45°;高达±88°的漫反射电池点对点厚度测量2个传感器和2个单通道控制器或1个双通道控制器点对点测量对于边缘区域可使用卡钳结构测量非接触式测量,一体化设计,3D轮廓扫描,多功能数据处理适用于各种材料的精确测量;使用简单,拆装方便,扫描速度快,定位精度高重复精度±0.5~±1µm;稳定性高,抗干扰能力强膜厚其他半导体用于膜厚的在线测量和质量控制非接触测量,适用于易变形和不透明的材料小厚度测量5µm,适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理河北马波斯传感器技术马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,欢迎您的来电!

公司基于创新的技术开发了两个系列的产品:从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。这些高分辨率的非接触式传感器***运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析,到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程,及实验室研究场合的高精度设备,我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。我们为全球各行业(可应用行业范围:玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等)企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体,如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等,我们的光谱共焦传感器都可轻松测量,而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求,无论什么颜色,物体表面是漫反射或者高光面,乃至于镜面都可以轻松测量。
光谱共焦位移传感器■外形尺寸测量■空气夹层测量■厚度(透明物体)测量■段差高度(非透明物体)测量■外形轮廓测量■表面型貌测量■表面粗糙度测量■表面微小划痕测量■三维测量■平面度测量优势•■高分辨率,比较高可达纳米级•■高精度,比较高可达16纳米•■同轴光测量,相比较三角反射测量,无测量盲区•■可以测量几乎所有材料的表面,不论是漫反射表面,或者是高光亮面,或者是透明物体表面•■物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响,可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•■可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司,欢迎您的来电!

光轴的彩色编码意味着光学系统具有轴向色差:每个波长聚焦在沿该轴的不同点上。现在假设一个样本存在于色谱编码范围内,这样波长λ0就会聚焦在它的表面上。当反射(或后向散射)光束到达***平面时,波长的光线会聚焦在***上,以便它们可以穿过***并到达光谱仪的敏感区域。其他波长成像为大点,因此它们被***阻挡。该光谱仪通过识别波长λ0来“解读”样品位置。光谱仪信号与已收集光的光谱再分配相对应。它呈现一个光谱峰值。当物体在测量范围内位移时,光谱仪上的光谱峰值随之发生变化。马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,期待为您!河北马波斯传感器技术
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航空航天属于高精尖技术领域,技术对安全性要求极高,因此航空航天部件的制造生产中对产品工艺和质量的要求是极为苛刻的。这是司逖光谱共焦传感器在飞机多层玻璃厚度检测方面的运用:飞机多层玻璃厚度测量光谱共焦传感器信号灯为了方便用户实时了解传感器的运行状态,光谱共焦传感器的面板上共有六组信号灯,分别从电源、USB连接、测量头连接、测量状态等四个方面呈现传感器的实际情况。电源、USB连接和测量头连接以LED信号指示灯显示,在传感器开启电源后,上述三个LED信号灯为绿色,表明传感器已可以准备正常工作。上海光谱共焦传感器测量范围