非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。
对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准 马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司,欢迎您的来电哦!宁夏非接触式传感器解决方案
光轴的彩色编码意味着光学系统具有轴向色差:每个波长聚焦在沿该轴的不同点上。现在假设一个样本存在于色谱编码范围内,这样波长λ0就会聚焦在它的表面上。当反射(或后向散射)光束到达***平面时,波长的光线会聚焦在***上,以便它们可以穿过***并到达光谱仪的敏感区域。其他波长成像为大点,因此它们被***阻挡。该光谱仪通过识别波长λ0来“解读”样品位置。光谱仪信号与已收集光的光谱再分配相对应。它呈现一个光谱峰值。当物体在测量范围内位移时,光谱仪上的光谱峰值随之发生变化。广西马波斯传感器技术马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,期待为您!
半导体行业
材料强国是科技强国的基础,第三代半导体材料扮演着愈发关键的角色,也正日益成为国际、国内科技和产业竞争的**领域之一。我国精密加工技术和配套能力进步迅速,已经具备开发并且逐步主导第三代半导体装备的能力。全国多地积极响应,促进地方产业转型升级。
该微电子产业发展政策,针对第三代半导体企业购买IP、参与研发多项目晶圆等做出了详细的扶持说明。深圳正实施新一轮创新发展战略布局,机器人、无人驾驶、等新兴产业日新月异,坪山区将依托5G试点,建设第三代半导体产业集聚区。
光谱共焦技术的非接触测量
Irix ™是一系列基于彩色共焦技术的非接触式传感器,能够测量对白光透明的任何材料上的距离和厚度。
Irix ™ 可同时测量5层材料。该控制器可与一大系列具有不同测量范围、机械尺寸和计量规范的光学探针结合使用,以满足多样化的应用需求。
控制器有两种型号可供选择:带7英寸集成显示屏,或带有用于文件柜.display或采用盲板形式,机柜采用带DIN导轨连接。
Irix控制器系列由不同型号(1个和2个同步通道)组成,结合各种各样的光学元件(Marposs和STIL),可提供优良的计量性能(高达纳米)。Irix以比较高的质量标准制造,是一种坚固可靠的产品,适合在工业环境中使用。
彩色共焦技术允许测量任何能够反射白光的材料(例如:金属、玻璃、塑料、漆膜、液体)。
非接触式测量适用于所有需要在不接触目标的情况下进行测量的情况一个光学探针可同时测量多达五个透明层高测量精度可互换传感器;
Irix可保存多达32张地图,以便使用比较合适的探头。
集成7“显示器不受热噪声和电噪声影响的无源光学探头SDK和协议命令的可用性,便于集成到任何系统中缩小测量点动态采集用编码器同步测量(空间同步)粗糙度测量 马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器。
行业内测距传感器有哪些?
常用的测距传感器有超声波测距传感器、激光测距传感器、红外线测距传感器、毫米波雷达传感器。 超声测离传感器,精度厘米级,量程不大,对被测物面积有要求,用于物位较多激光测中传感器,精度豪米级,量程很大,阳光对测距有影响,用于远距离变形监测。
超声波传感器是一种利用超声波的特性研制而成的传感器。超声波是一种振动频率高于声波的机械波,由换能晶片在电压的激励下发生振动产生的,它具有波长短、绕射现象小、方向性好、等特点。2.激光传感器主要是利用飞行时间方法来测量距离。 马波斯测量科技是一家专业提供光谱共焦传感器的公司,期待您的光临!西藏点光谱共焦传感器精度
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随着汽车行业的竞争加剧,各厂家对产品的品质要求会更高。汽车四大生产工艺冲压/焊装/涂装/总装的生产线上大量的视觉装置已经逐步应用起来。以前人们对视觉传感器有一种恐惧心理,认为其操作复杂,设定繁琐;其实现在厂商使用的都是菜单化操作,并将频繁使用的操作转化为控制器上的特定按钮,单触发就可以完成菜单的转换。司逖光谱共焦传感器不仅*在质量监控方面起着举足轻重的地位,在设备的预防保全方面同样也有用武之地。例如在涂装/总装使用的输送链,经常因为链条的疲劳老化断裂而产生断链的故障,并且修复时间长严重影响生产。如果能对链条的拉伸变化量进行测量,就可以在疲劳断裂前进行更换,从而减少停机时间,降低成本,司逖光谱共焦传感器的位移监测正可以做到这一点!同时传感器的高速计测可以在输送链运行时作检测,根据存储的数据,维修人员作出保养维护计划。宁夏非接触式传感器解决方案
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