什么是光谱共焦干涉仪?非接触式轮廓测量技术中的测量精度,通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰,开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统,干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图(SAWLI)的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号,以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起,机械振动不会影响测量结果。此外,该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。光谱共焦传感器,就选马波斯测量科技,用户的信赖之选,有需求可以来电咨询!山西3D 视觉测量传感器价格
多个产品同时测量减少成本测量对象可任意摆放,多个产品可同时测量,**节省测量时间,减少用工成本!低畸变图像无变形即便在镜头边缘部位测量,图像畸变也很小,无需担心测量对象所放位置。缺陷过滤测量位置包含有毛边或缺陷时系统能自动识别,排除异常点提高测量的准确度。数据追溯管理更简单测量结果自动保存,可按测量日期、产品名称、产品料号等信息搜索,数据追溯管理简单优势:测量更准确采用双倍率双侧远心光学镜头,具有较高的远心度,即使有段差情况下也能高精度正确的测量。倍率涵盖0.16X大视野/0.7X高精度。江苏Marposs 传感器测量范围马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,竭诚为您。
在具体测量过程,需保证光强和量程预警指示灯为绿色,则测量的数据质量好,重复性精度高。如遇到橙色或红色显示,则需要根据上述方法调整传感器的状态。如尝尽上述方法都未能解决问题,请及时联系我们说的售后工程师,我们将帮助您解决该问题与您分享光谱共焦传感器光笔测头知识讲解与注意事项首先,测头是可以更换的:同一个控制器多可存储20个对应于不同的测头的校准表数据,即可配备20个不同的测头。其次,测头是完全无源的:因为它没有包含热源和移动部件,所以要避免可能影响传感器测量过程精度的任何热膨胀。将测头连接在控制器上的光缆长可以定做到10m,当整理光纤线时避免将其弯曲成曲率半径小于20mm的圆弧
非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,欢迎您的来电哦!
压力传感器:是工业实践中常用的一种传感器,广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。7.激光传感器:利用激光技术进行测量的传感器,应用于生产、医学和非电测量等。8.MEMS传感器:包含硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器,两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器,广泛应用于生产、医学和非电测量等。红外线传感器:利用红外线的物理性质来进行测量的传感器,常用于无接触温度测量、气体成分分析和无损探伤,应用在医学、空间技术和环境工程等。马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,期待为您!江苏线光谱共焦传感器原理
用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。山西3D 视觉测量传感器价格
应用范围:光谱共聚焦传感器既可用于工业环境中,也可用于生产过程中的在线检测以及实验室环境中的高精度仪器。他们主要涵盖以下内容:l微形貌(测量样品的形状和表面特征)l尺寸控制(测试制造产品的特定尺寸是否符合规格)l质量控制(制造产品缺陷的识别和特征描述)l粗糙度测量(测量样品表面的统计特征)l摩损度(表征机械或化学侵蚀)l厚度测量光谱共焦传感器完全符合涉及3D真实表面纹理的测量和分析的ISO25178标准。此外,此标准第601章节致力于非接触式表面测量,引用CCI作为***参考技术原理山西3D 视觉测量传感器价格