光轴的彩色编码意味着光学系统具有轴向色差:每个波长聚焦在沿该轴的不同点上。现在假设一个样本存在于色谱编码范围内,这样波长λ0就会聚焦在它的表面上。当反射(或后向散射)光束到达***平面时,波长的光线会聚焦在***上,以便它们可以穿过***并到达光谱仪的敏感区域。其他波长成像为大点,因此它们被***阻挡。该光谱仪通过识别波长λ0来“解读”样品位置。光谱仪信号与已收集光的光谱再分配相对应。它呈现一个光谱峰值。当物体在测量范围内位移时,光谱仪上的光谱峰值随之发生变化。用点光谱或线光谱传感器测量晶圆上的翘曲/平面度 凸块测量CLMG/EVERESTK1/K2传感器系列可达360,000测点/秒。传感器应用案例
光谱共焦位移传感器■外形尺寸测量■空气夹层测量■厚度(透明物体)测量■段差高度(非透明物体)测量■外形轮廓测量■表面型貌测量■表面粗糙度测量■表面微小划痕测量■三维测量■平面度测量优势•■高分辨率,比较高可达纳米级•■高精度,比较高可达16纳米•■同轴光测量,相比较三角反射测量,无测量盲区•■可以测量几乎所有材料的表面,不论是漫反射表面,或者是高光亮面,或者是透明物体表面•■物体表面的颜色对于测量结果没有任何影响,可以解决对于激光难以测量的黑色或者白色物体•■可以同时测量多层玻璃或者胶的厚度内蒙古非接触式传感器测量速度马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,欢迎您的来电哦!
公司基于创新的技术开发了两个系列的产品:从0.1μm到100mm测量行程的点光谱共焦传感器、从1.8mm到45mm线长的不同测量行程的线光谱共焦传感器。这些高分辨率的非接触式传感器***运用于各种不同要求的高精密测量场合。从物体表面细微结构、形状及纹理粗糙度的测量分析,到工业环境下的在线质量检测、过程控制与逆向工程,及实验室研究场合的高精度设备,我们的光谱共焦传感器都成了众多客户不可或缺的选择。我们为全球各行业(可应用行业范围:玻璃、医疗、电子、半导体、汽车、航空航天、制表业…等)企业提供高性能的光谱共焦位移传感器。任何材料的物体,如金属、玻璃、陶瓷、半导体、塑料、织物等,我们的光谱共焦传感器都可轻松测量,而且对被测物体表面的颜色和光洁度也没有任何特殊要求,无论什么颜色,物体表面是漫反射或者高光面,乃至于镜面都可以轻松测量。
非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承,由于工作在平面度较好的花岗岩表面,因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性,特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量•直线电机高精度龙门运动机构•兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量•共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性•兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)•晶圆的测量厚度范围为10um-20mm•抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架•比较大扫描速度1m/s•可自定义生成快速便捷的自动化测量模式•直观简单的2D或3D数据呈现方式•适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技致力于提供专业的光谱共焦传感器,有需求可以来电咨询!
优势•具有自主知识产权的算法和软硬件设计•·具备高速原始点云传输能力•·具备深度图输出对接各大机器视觉软件•·高达2048测量点的X向轮廓检测•·出色的光学设计,可检测高反光、玻璃等材料•·405nm蓝色激光,面向精密电子与汽车钣金行业需求•·1P67防护等级,防尘、防水、抗震•·可靠工作于0-50℃技术特点产品基于激光三角法测量原理:图像传感模组从一个角度检测投射到被测物体表面上的激光线,反射光透过高质量光学系统,被投射到成像单元上。图像处理计算传感器到被测表面的高度方向(Z轴)和沿着激光线的方向(x轴)的距离信息。通过移动被测物体或传感器,获取的一系列切片信息进行组合,就可以得到三维数据。马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器,有想法的可以来电咨询!山西点光谱共焦传感器厂家
粗糙度测量符合ISO标准25178-602传感器适用任何反射表面;通过塑料或玻璃等透明层。传感器应用案例
部分案例应用领域:非常适合测量距离、半径、角度、弧度等尺寸的检测。适用于电子、机械加工、五金、塑料加工、汽车等行业。常见的工件包括冲压成型件、注射成型件或激光切割件。一键测量闪测仪是一种新型的影像测量技术,它和传统的二次元影像测量仪不同的是它不再需要光栅尺位移传感器作为精度标,也不要经过大焦距的镜头经过放大产品影像来保障测量精度。传统测量工具多年来精密测量业里流行着这么一句话:影像测量仪是传统投影仪的替代产品,影像测量仪将取代传统投影仪。如今我们将再一次打破传统,闪测仪将取代影像测量仪和传统投影仪。一键测量闪测仪技术参数表格传感器应用案例