半导体先进制程对气体纯度与性能的要求，稀有气体凭借独特的物理特性成为重心材料。氩气作为刻蚀与溅射的关键气体，其等离子体可实现的薄膜沉积，上海弥正电子级氩气杂质含量≤0.1ppb，助力 14nm 制程芯片溅射镀膜均匀性提升 30%；氦气因导热性强、化学惰性，用于晶圆冷却与载气，其 99.9999% 纯度产品可使气相色谱分析误差≤0.3%；氙气更是 EUV 光刻的重心，其等离子体产生的 13.5nm 光实现 5nm 以下制程突破。上海弥正建立半导体气体专项产线，所有产品均符合 SEMI C12 标准，某头部晶圆厂应用后，芯片良率从 82% 提升至 95%，刻蚀缺陷密度降低 60%。氟气用于半导体芯片清洗，可去除芯片表面杂质，提升芯片性能与可靠性。安徽氯甲烷稀有气体/卤素气体半导体制造
电子级稀有气体与卤素气体要求杂质含量低于 ppb 级，上海弥正建立千级洁净纯化车间，采用 “高温脱氧 + 低温吸附 + 激光精馏” 技术，实现痕量杂质的深度去除。针对电子级氩气，通过钯催化剂高温脱氧与 10K 低温吸附，使氧杂质≤0.01ppb，水分≤0.1ppb；针对电子级氟气，采用激光精馏技术分离同位素杂质，纯度达 99.9995%。产品符合 SEMI C12 标准，某晶圆厂应用后，芯片缺陷密度降低 60%。
针对大规模用气客户，上海弥正推出稀有气体现场制气服务，在客户厂区搭建模块化提纯装置，直接从空气或工业副产品中提取高纯气体。例如为光伏企业搭建现场氩气提纯装置，原料为工业粗氩，提纯后纯度达 99.999%，供应成本降低 35%；为半导体企业提供现场氦气回收提纯系统，回收率达 90%，年减少氦气消耗 40%。该模式减少运输环节，纯度稳定性提升至 99.9%，某大型电子企业应用后，生产停机时间减少 80%。 安徽氯甲烷稀有气体/卤素气体半导体制造氦气密度极低且化学性质稳定，常用作气球填充气、超导磁体冷却剂与焊接保护气。
氩气因化学惰性极强（不与任何元素发生反应）、导热性差的特性，成为焊接与金属加工领域较常用的保护气体，其重心作用是隔绝空气，防止金属在高温下氧化。在焊接应用中，氩气通过焊枪喷嘴持续喷出，形成密闭的保护气罩，包裹焊接电弧与熔池，避免氧气、氮气与高温金属反应生成氧化物、氮化物，从而提升焊缝质量。对于不锈钢、铝合金、钛合金等易氧化金属，氩弧焊是焊接工艺，某汽车零部件厂商使用氩气保护焊接铝合金车架，焊缝强度达母材的 95%，氧化缺陷率从 15% 降至 2%。在金属 3D 打印领域，氩气用于构建惰性加工环境，防止打印过程中金属粉末氧化与零件表面氧化，某航空航天企业采用氩气保护的金属 3D 打印技术，生产的钛合金零件致密度达 99.8%，满足航空发动机的严苛要求。此外，氩气还用于电弧炉炼钢，通过向钢水表面吹氩，可去除钢水中的氢气、氮气等有害气体，减少钢锭气孔与裂纹缺陷，提升钢材纯度与力学性能；在博物馆文物保护中，氩气填充于密封展示柜，可隔绝氧气与湿度，延缓金属文物、纸张文物的腐蚀与老化，某博物馆的青铜器展品经氩气保护存储后，锈蚀速率降低 80%。
卤素气体及其化合物（氟气、氯气、溴化氢等）具有强化学活性，是化工、电子、医药等领域的关键原料，但同时存在毒性、腐蚀性与高压风险。氟气的强氧化性使其用于含氟材料合成，氯气是水处理与 PVC 制造的重心原料，溴化氢则是半导体蚀刻与药物合成的重要中间体。其风险主要体现在：氟气 LC50（大鼠，4 小时）但 150ppm，氯气刺激阈值 0.5ppm，长期接触可引发肺水肿；气瓶工作压力达 12-15MPa，遇高温易发生物理。上海弥正建立卤素气体全链条管控体系，从原料提纯到尾气处理全程监控，某电子厂应用其氯气后，未发生一起泄漏安全事件。氟气化学性质极活泼，是强氧化剂，用于制备氟化物、半导体蚀刻与制冷剂合成。
氖气：光刻机的 “光源重心”193nm ArF 光刻机是半导体 14nm 以下制程的重心设备，其激光光源的稳定性高度依赖高纯度氖气。上海弥正通过 “氦氖联产工艺” 与等离子体杂质脱除技术，生产的电子级氖气纯度达 99.9993%，其中氪、氙等有害杂质含量降至 0.05ppb，完全满足 ASML 光刻机标准。在全球氖气价格暴涨 400% 的背景下，其国产化产品为中芯国际等企业提供稳定供应，某晶圆厂使用后，光刻机激光能量波动从 5% 降至 1% 以下，芯片光刻良率提升 8%。。氙气在高压下产生强紫外线，用于光刻技术，支撑半导体芯片制造。吉林氯甲烷稀有气体/卤素气体半导体制造
氩气不与任何物质反应，填充于灯泡可延长灯丝寿命，也用于博物馆文物保护。安徽氯甲烷稀有气体/卤素气体半导体制造
超导技术的实现依赖极低温环境，液氦因沸点低（-268.9℃）成为较理想的制冷剂，支撑超导磁体、粒子加速器等设备运行。在核磁共振（MRI）设备中，液氦冷却超导线圈产生强磁场，确保成像精度；在核聚变实验中，液氦可将超导托卡马克装置冷却至临界温度，维持等离子体约束状态。上海弥正的液氦纯度达 99.999%，采用特用绝热储罐运输，蒸发损失率≤0.5%/ 天，某科研院所使用后，超导磁体稳定运行时间从 100 小时延长至 500 小时，实验数据重复性提升 50%。安徽氯甲烷稀有气体/卤素气体半导体制造
上海弥正气体有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，上海弥正气体供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！
