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超高纯气体基本参数
  • 品牌
  • 弥正
  • 型号
  • 001
超高纯气体企业商机

上海弥正专为极端低温环境打造的超高纯气体系列,以 “低温稳定性 + 防冷凝设计” 满足航天、冷链物流等特殊场景需求。该系列气体(涵盖氮气、氦气、氩气等)纯度均达 6N 级以上,在 - 196℃至 - 50℃的极端低温环境下,仍能保持稳定的物理性质,无组分分离或纯度衰减现象,低于 - 90℃,避免在低温下形成冷凝水造成设备损坏。针对航天领域,开发了火箭燃料系统用超高纯氦气,在 - 253℃的液氢燃料环境中仍能保持气态,用于系统加压与检漏,检漏灵敏度达 1×10⁻¹²Pa・m³/s;针对冷链物流,提供超高纯氮气与二氧化碳的混合气,用于生鲜食品的低温气调保鲜,可将保鲜期延长 2-3 倍。采用特制的绝热气瓶包装,配备低温 - resistant 阀门与压力监测装置,确保在低温存储与运输过程中的安全性与密封性。某航天科技集团应用后,火箭燃料系统的检漏准确率达 100%,发射前的地面测试效率提升 30%;某冷链物流企业使用后,进口生鲜的损耗率从 12% 降至 3%,经济效益明显。超高纯二氧化碳纯度达 99.995%,适配食品冷链与激光焊接保护。浙江1-丁烯超高纯气体厂家供应

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上海弥正超高纯三氟化氮(5N 级纯度),是半导体等离子体刻蚀工艺的关键清洗气体,以 “高纯度 + 低污染” 助力芯片制程精细化。采用低温吸附与精馏提纯工艺,将杂质含量控制在 1ppb 以内,其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb,能准确匹配 7nm 及以下先进制程的刻蚀需求。其强氧化性可高效去除晶圆表面的硅化物、金属氧化物等残留沉积物,且反应产物易挥发,无需额外复杂清洗步骤,有效提升刻蚀工艺效率。配备特用环保处理系统,气体使用后可通过回收装置实现 67% 的再利用率,降低环境排放与使用成本,符合亚洲芯片代工厂的生态合规要求。某半导体代工厂应用后,晶圆刻蚀残留率从 0.8% 降至 0.05%,刻蚀工艺效率提升 15%,单晶圆制造成本降低 3%,同时满足 SEMI 国际半导体产业协会的环保与纯度标准,成为先进制程刻蚀工艺的推荐清洗气体。上海磷烷超高纯气体厂家现货超高纯氨气用于化学气相沉积,制备高质量半导体薄膜。

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上海弥正推出行业的超高纯气体回收再利用系统,针对半导体、光伏等行业的工艺尾气,实现高效回收、提纯与循环利用,为客户创造经济与环境双重价值。该系统可适配三氟化氮、硅烷、氢气等多种气体,通过低温冷凝、吸附分离与精密过滤等多级处理工艺,将原本直接排放的工艺尾气提纯至 5N-6N 级纯度,回收利用率比较高可达 90%。以半导体刻蚀工艺中常用的三氟化氮为例,传统使用模式下利用率不足 50%,大量尾气被浪费并污染环境,采用该回收系统后,客户气体采购成本降低 40%,同时大幅减少温室气体排放。提供 “定制化系统 + 运维服务” 的整体解决方案,根据客户生产规模与气体种类,设计专属回收流程,配备专业团队负责系统安装、调试与定期维护,并提供回收气体的质量检测报告。某半导体代工厂应用该系统后,年节省气体采购费用超 600 万元,工艺尾气排放量减少 80%,顺利通过 ISO 14064 碳足迹核查,实现了经济效益与环保责任的统一。

上海弥正便携式超高纯气体套装,专为现场检测、应急救援、野外科研等移动场景设计,以 “小巧便携 + 即开即用” 提供灵活的超高纯气体支持。套装包含 1-10L 不同规格的小型高压气瓶,配备轻量化的减压阀、流量控制器与连接软管,整体重量但 2-5kg,便于携带与运输。提供的气体纯度达 5N-6N 级,涵盖氮气、氩气、氢气、标准混合气等多种类型,可满足不同场景需求:在环境监测中,作为气相色谱仪的载气;在应急救援中,超高纯氧气用于高原或密闭空间的急救;在野外科研中,作为精密仪器的校准气体。气瓶采用强度高铝合金材质,安全性能符合 GB 5099 标准,配备一次性使用的密封接口,防止气体污染。某环境监测站使用该套装进行野外水质样品检测,检测结果的准确性与实验室数据一致性达 99%;某应急救援队伍配备后,在多次密闭空间救援中,成功为被困人员提供高纯度氧气,救援效率与安全性大幅提升。超高纯气体广泛应用于电子、光伏、医疗等领域,推动制造业发展。

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上海弥正凭借低温精馏、吸附分离、膜分离、催化脱氧等多工艺集成提纯技术,实现超高纯气体 5N-9N 级纯度的稳定量产,技术水平对标国际先进标准。针对不同气体特性定制专属提纯方案:惰性气体采用 “低温精馏 + 吸附” 组合工艺,有效去除微量杂质;活性气体通过 “催化净化 + 膜分离” 技术,精细控制有害杂质含量;特种气体则采用 “低温吸附 + 精馏” 工艺,确保纯度与稳定性双达标。配备国际先进的痕量杂质检测设备,包括 GC-MS 气相色谱 - 质谱联用仪、ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪等,可检测出 ppb-ppt 级别的微量杂质,每批次产品均经过至少 3 次全项检测,确保纯度达标。建立 1000㎡超洁净生产车间,车间洁净度达 Class 100 级,避免生产过程中气体污染,提纯设备采用自动化控制系统,操作精度达 ±0.01%,实现全年 365 天连续稳定生产,气体纯度波动范围≤0.05%,为下游制造行业提供可靠的纯度保障。超高纯氢气用于燃料电池,纯度≥99.999% 确保电池高效稳定运行。三氯化硼超高纯气体厂家供应

超高纯四氟化碳(纯度 99.999%)适配等离子刻蚀,保障芯片图形精度。浙江1-丁烯超高纯气体厂家供应

上海弥正精密仪器校准用超高纯标准混合气,以 “准确配比 + 高稳定性” 成为实验室分析、环境监测、工业检测等领域仪器校准的基准物质。该系列混合气基于超高纯单一气体(纯度≥99.999%)配制而成,可根据客户需求定制二元、三元及多元混合气,组分浓度范围从 1ppm 至 50%,配比精度达 ±1%,部分关键组分精度可达 ±0.1ppm。采用国际先进的静态重量法配制,每批次产品均通过气相色谱 - 质谱联用仪(GC-MS)、激光光谱等多种精密设备进行验证,确保浓度准确可靠,并提供国家计量认证(CMA)的检测报告,可溯源至国家基准物质。广泛应用于气相色谱仪、质谱仪、气体分析仪等精密仪器的日常校准与期间核查,有效保证检测数据的准确性与可靠性。某第三方检测机构使用该标准混合气后,环境中 VOCs(挥发性有机物)的检测误差从 ±5% 缩小至 ±1%;某化工企业用于在线气体分析仪校准,生产过程的工艺控制精度明显提升,产品合格率提高 3%。浙江1-丁烯超高纯气体厂家供应

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