发布时间2026.04.11
12英寸热流盘
文天精策晶圆设备针对不同细分半导体行业的需求,提供定制化的工艺解决方案,覆盖消费电子、工业控制、通信等多个领域。针对消费电子芯片的高性价比需求,设备优化了生产效率,降低单位晶圆的加工成本;面向工业控制芯片的高稳定性需求,设备强化了工艺参数的一致性管控,确保芯片在复杂工业环境下稳定运行;针对通信芯片的高频特性需求,设备提升了晶圆处理的精度,减少信号损耗,保障通信性能。通过对不同行业需求的深度调研与精细匹配,文天精策的设备能够为各领域客户提供更贴合实际生产需求的解决方案,助力客户提升产品竞争力。打造战略合作伙伴关系,文天精策与您携手共赢半导体市场。12英寸热流盘在半导体晶圆制造的关键环节中,精细温...
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发布时间2026.04.11
集成电路键合
文天精策通过技术创新与结构优化,为晶圆生产企业打造高性价比的设备解决方案,实现全生命周期成本管控。 在设备设计环节,采用模块化集成理念,减少冗余功能组件,降低设备的整体采购成本;在生产环节,选用高性价比的国产关键部件,既保障了设备性能,又有效控制了生产成本。 设备的高效作业模式,大幅提升了单位时间的晶圆产出量,降低了单晶圆的加工成本;同时,设备的低能耗设计,相比传统设备可节省大量电力开支。 在维护环节,模块化结构让设备的检修与部件更换更便捷,降低了维护成本;完善的售后服务体系,可提前排查设备潜在问题,减少故障停机带来的损失。 通过全流程的成本优化,帮助企业实现降本增效的经营目标。文天精策迭代晶...
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发布时间2026.04.11
模拟芯片高低温
半导体晶圆的快速热退火(RTA)工艺对升温速率与温度稳定性要求严苛,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的晶圆加热盘,以稳定的温控性能满足这一需求。文档明确,该加热盘比较大升温速率达 40°C/min,可在短时间内将晶圆加热至 550°C的工艺温度,同时温度稳定性控制在 ±1°C,确保晶圆各区域退火效果一致。其盘面平整度小于 20um,温度均匀性在室温 - 200℃时达 ±1%,能有效避免因温度偏差导致的晶圆性能不均。设备支持水冷降温,降温速率≥30°C/min,可快速完成退火周期,提升生产效率。目前,该产品已应用于多家半导体代工厂的成熟制程生产线,适配 6 寸、8 寸晶圆的批量退火工艺,凭借高性...
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发布时间2026.04.10
射频芯片温控台
半导体晶圆的快速热退火(RTA)工艺对升温速率与温度稳定性要求严苛,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的晶圆加热盘,以稳定的温控性能满足这一需求。文档明确,该加热盘比较大升温速率达 40°C/min,可在短时间内将晶圆加热至 550°C的工艺温度,同时温度稳定性控制在 ±1°C,确保晶圆各区域退火效果一致。其盘面平整度小于 20um,温度均匀性在室温 - 200℃时达 ±1%,能有效避免因温度偏差导致的晶圆性能不均。设备支持水冷降温,降温速率≥30°C/min,可快速完成退火周期,提升生产效率。目前,该产品已应用于多家半导体代工厂的成熟制程生产线,适配 6 寸、8 寸晶圆的批量退火工艺,凭借高性...
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发布时间2026.04.10
低温测试卡盘
晶圆 CMP 后处理的温度控制直接影响表面平整度,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的晶圆加热盘,以均匀的温度场与稳定的性能,为 CMP 后处理工艺提供保障。文档介绍,该加热盘盘面温度均匀性在室温 - 200℃时达 ±1%,200-500℃时 ±1.5%,能确保晶圆在 CMP 后处理过程中温度分布均匀,避免因热应力导致的表面变形。其材质可选铝合金、铜等导热性优异的材料,热响应速度快,升温速率≥40℃/min,可快速达到工艺设定温度,同时温度稳定性 ±1℃,保证处理效果的一致性。设备支持真空环境作业(1E-5mbar),可满足高级晶圆 CMP 后处理的洁净度要求,已应用于多家半导体企业的生产线,帮...
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发布时间2026.04.10
半导体晶圆
文天精策秉持长期合作的理念,与客户建立深度的战略合作伙伴关系,共同成长发展。设备交付后,文天精策会持续跟踪客户的生产使用情况,根据客户的反馈不断优化设备性能与工艺方案;针对客户的产能扩张与技术升级需求,提供全流程的支持与解决方案。同时,文天精策会与客户共享行业技术发展信息,帮助客户及时了解现阶段的技术趋势与市场动态;在客户遇到生产难题时,技术团队会先位时间提供解决方案,助力客户克服困难。这种长期稳定的合作模式,不仅为客户提供了可靠的设备支持,还为客户的发展提供了有力的保障。绿色环保设计理念,文天精策晶圆设备,助力企业实现可持续生产。半导体晶圆面对半导体产业不断迭代的工艺需求,文天精策推出的晶圆...
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发布时间2026.04.08
动态参数退火
文天精策晶圆设备为芯片测试环节提供高效精细的技术支持,保障晶圆性能验证的准确性。其打造的测试配套设备,可模拟从极低温到高温的极端环境条件,精细捕捉晶圆在不同温度下的性能变化,为芯片的可靠性验证提供全流程的数据;针对晶圆的电性能测试需求,设备配备稳定的信号传输模块,减少测试过程中的信号干扰,保障测试数据的精细度。设备支持自动化测试流程,可批量完成晶圆的性能检测,大幅提升测试效率,缩短芯片研发周期。同时,测试数据可自动存储并生成分析报告,为研发人员优化芯片设计提供数据支撑,助力芯片产品性能提升。文天精策科研方案:定制晶圆设备接口,助院所转成果。动态参数退火半导体晶圆的快速热退火(RTA)工艺对升温...
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发布时间2026.04.02
定制化测试
晶圆探针测试的精细度依赖于稳定的温控与电学接口,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的探针冷热台系列,以 “温控 + 电学” 一体化设计,成为晶圆电学测试的主力设备。文档介绍,该系列产品包括外置四探针冷热台、纳米级真空探针冷热台、六探针变温探针台等多种类型,温度控制范围 - 190℃~600℃,精度 ±0.1℃,支持与各类探针台联用,实现晶圆在变温条件下的电阻、电容、电流等参数测量。设备配备专业的电学接口,接触电阻小、信号干扰低,可满足微电流、高频信号的细致测试需求,台面尺寸支持定制,适配 4 寸至 12 寸晶圆。公司与中科院化学所、电子科技大学等单位深度合作,将该设备应用于晶圆材料的导电性研究与...
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发布时间2026.03.30
晶圆 键合工艺 预热/冷却盘
Micro LED 晶圆的老化检测需要细致的温变模拟与长期稳定运行,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的 Micro LED 显示老化检测系统,以专业的适配性成为该领域的主力测试设备。文档显示,该系统集成了公司关键的温控技术,温度控制范围覆盖 - 50°C~150°C,精度 ±0.1°C,支持 16 段程序段升降温,可模拟 Micro LED 晶圆在生命周期内的温变环境。设备具备过流、过压、超温等多重保护功能,散热方式采用水冷,确保长期运行的稳定性,同时支持多通道并行测试,提升检测效率。公司与合肥视涯等显示面板企业深度合作,将该系统应用于 Micro LED 晶圆的老化寿命测试与性能衰减分析,助...
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发布时间2026.03.26
测试卡盘
半导体晶圆的批量生产需要高效、稳定的测试设备,文天精策仪器科技(苏州)有限公司凭借完善的产品矩阵与充足的产能,为客户提供规模化测试方案。文档显示,公司的晶圆加热盘、冷热台等产品均实现标准化生产,年产千台级设备的能力可满足企业批量采购需求,同时支持自动化集成,可与生产线无缝对接,实现晶圆测试的智能化与高效化。针对 6 寸、8 寸晶圆的批量测试,公司提供多通道并行测试方案,如四通道原位测试设备可同时处理多片晶圆,大幅提升测试效率。公司位于苏州吴江的生产基地配备先进的加工与检测设备,确保每一台设备都符合质量标准,快速的交付周期(紧急订单可缩短至行业平均水平的 70%)与完善的售后保障,让客户无后顾之...
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发布时间2026.03.24
WLR温控
化合物半导体晶圆(SiC、GaN)的高温制程测试对设备的耐热性与稳定性要求极高,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的高温冷热台与晶圆加热盘组合方案,完美适配这一需求。文档显示,公司的高温冷热台最高工作温度可达1200℃,晶圆加热盘最高温度550℃,均支持真空或惰性气体保护环境,避免化合物半导体晶圆在高温测试中被氧化。其中,冷热台升温速率≥60°C/min,降温速率≥30°C/min,可快速切换工艺温度;晶圆加热盘采用420J2等耐高温材质,在500°C高温下仍能保持±1.5%的温度均匀性。该方案已服务于国内多家宽禁带半导体企业,成功应用于SiC晶圆的快速热退火、GaN晶圆的CVD沉积等工艺,助力...
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发布时间2026.03.23
GaN晶圆盘
先进制程晶圆的变温测试对设备的温域覆盖与响应速度提出严苛要求,文天精策仪器科技(苏州)有限公司(的冷热台系列产品,以 - 190°C~1200°C的超宽温域与极速升降温性能,成为半导体测试的关键装备。根据公司产品文档,该系列冷热台升温速率≥60°C/min,降温速率≥30°C/min,支持 16 段程序段升降温,温度控制精度达 ±0.1°C,可与拉曼光谱仪、X 射线衍射仪等多种仪器联用,完美适配晶圆材料的相变观测、能带结构分析等测试需求。其标准台面尺寸为 23*23mm,支持定制化拓展,腔室可实现气密或真空环境,还可加装电学接口与探针,满足晶圆原位电学 - 光学同步测试。目前,产品已服务于清华...
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发布时间2026.03.23
多点监控测试台
文天精策晶圆设备践行绿色环保理念,在设计与生产过程中注重节能减排与环保要求。设备采用低污染的原材料与生产工艺,减少生产过程中对环境的污染;设备的废气、废液处理模块经过优化设计,可有效回收利用工艺过程中产生的废弃物,降低污染物排放。设备的低能耗设计,不仅减少了能源消耗,还降低了二氧化碳等温室气体的排放。同时,设备的使用寿命远超行业平均水平,减少了设备报废带来的固体废弃物污染。这种环保设计理念,帮助企业实现绿色生产,符合国家可持续发展的政策要求。兼容多种半导体材料,文天精策晶圆设备,支持新材料研发与量产。多点监控测试台文天精策依托强大的技术研发实力,为客户提供个性化的晶圆设备定制服务,精细匹配不同...
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发布时间2026.03.22
低温晶圆
Micro LED 晶圆的老化检测需要细致的温变模拟与长期稳定运行,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的 Micro LED 显示老化检测系统,以专业的适配性成为该领域的主力测试设备。文档显示,该系统集成了公司关键的温控技术,温度控制范围覆盖 - 50°C~150°C,精度 ±0.1°C,支持 16 段程序段升降温,可模拟 Micro LED 晶圆在生命周期内的温变环境。设备具备过流、过压、超温等多重保护功能,散热方式采用水冷,确保长期运行的稳定性,同时支持多通道并行测试,提升检测效率。公司与合肥视涯等显示面板企业深度合作,将该系统应用于 Micro LED 晶圆的老化寿命测试与性能衰减分析,助...
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发布时间2026.03.21
ATE加热
化合物半导体晶圆(SiC、GaN)的高温制程测试对设备的耐热性与稳定性要求极高,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的高温冷热台与晶圆加热盘组合方案,完美适配这一需求。文档显示,公司的高温冷热台最高工作温度可达1200℃,晶圆加热盘最高温度550℃,均支持真空或惰性气体保护环境,避免化合物半导体晶圆在高温测试中被氧化。其中,冷热台升温速率≥60°C/min,降温速率≥30°C/min,可快速切换工艺温度;晶圆加热盘采用420J2等耐高温材质,在500°C高温下仍能保持±1.5%的温度均匀性。该方案已服务于国内多家宽禁带半导体企业,成功应用于SiC晶圆的快速热退火、GaN晶圆的CVD沉积等工艺,助力...
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发布时间2026.03.20
存储芯片高低温
文天精策晶圆设备深度贴合消费电子、汽车电子、通信等多个领域的芯片制造需求,提供灵活多样的处理方案。针对高性能芯片的特殊加工要求,设备可通过调整关键参数,优化晶圆内部结构,提升芯片的稳定性与耐用性;面对车规级芯片对极端环境的适应需求,设备强化了工艺参数的一致性管控,确保每一片晶圆的性能都能达到严苛标准。从晶圆前期处理到后期性能检测,文天精策可提供全流程的设备配套服务,其打造的宽温域测试设备,能够模拟从极低到极高的温度环境,精细捕捉晶圆在不同条件下的性能变化,为各类芯片的研发与量产提供可靠的数据支撑,满足不同领域客户的个性化需求。助力研发机构创新,文天精策晶圆设备,加速新型芯片技术落地。存储芯片高...
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发布时间2026.03.19
电学表征加热盘
文天精策构建了覆盖晶圆设备研发、生产、应用全流程的品质管控体系,从源头把控每一个细节。在设备生产环节,选用高规格的原材料与关键部件,经过多轮严苛测试才允许进入装配环节;在功能设计上,针对晶圆加工中容易出现的污染问题,采用密封式作业结构搭配专门清洁组件,能够高效去除晶圆表面附着的微小颗粒与静电杂质,清洁效果远超传统方式。设备内置的实时监测模块,可全程追踪晶圆处理状态,一旦发现参数偏离预设范围,立即触发预警并自动调整。同时,所有设备在出厂前都会经过长时间的模拟运行测试,确保交付到客户手中的每一台设备都能稳定运行,为晶圆加工的高成品率筑牢基础。7×24 小时在线支持,文天精策随时为您解决设备使用难题...
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发布时间2026.03.18
在线极低温
文天精策依托强大的技术研发实力,为客户提供个性化的晶圆设备定制服务,精细匹配不同企业的生产需求。针对不同规格的晶圆加工需求,技术团队可调整设备的腔体尺寸、工艺参数,打造专属的处理方案;面对客户特殊的工艺要求,团队可重新设计设备的关键功能模块,开发定制化的作业流程。从需求沟通、方案设计到设备制造、安装调试,文天精策安排专业团队全程跟进,确保每一个环节都贴合客户需求。设备交付后,还提供无偿的操作培训与技术指导,帮助客户快速掌握设备使用方法。这种量身定制的服务模式,满足了不同企业的差异化需求,为客户创造更大的生产价值。文天精策服务 180 + 客户,晶圆设备快适配工艺,全流程响应。在线极低温聚焦晶圆...
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发布时间2026.03.18
MEMS测试卡盘
响应半导体产业自主发展的趋势,文天精策专注于晶圆设备的自主研发与生产,凭借扎实的技术积累,打破了国外设备在部分领域的垄断局面。团队深入调研国内晶圆生产企业的实际需求,针对性优化设备设计,使其更贴合国内产线的布局特点与工艺习惯,无需大规模改造产线即可完成设备换装。相比进口设备,文天精策的产品在采购成本上具备明显优势,同时在售后服务方面,建立了覆盖全国的服务网络,能够为客户提供快速响应的技术支持与备件供应。这种高性价比的解决方案,为国内晶圆生产企业降低设备投入成本、构建自主可控的产业链提供了有力支持,推动产业国产化进程加速前行。模拟极端环境测试,文天精策晶圆设备,为芯片可靠性验证提供数据。MEMS...
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发布时间2026.03.18
电学表征探针台
在半导体晶圆制造的关键环节中,精细温控与高效加热是决定产品良率的关键因素,文天精策仪器科技(苏州)有限公司作为国家高新技术企业,以专业的晶圆加热盘与温控解决方案,成为华为、京东方等行业巨头的信赖伙伴。公司产品文档明确标注,晶圆加热盘可适配 4 寸、6 寸、8 寸、12 寸全尺寸晶圆,覆盖晶圆键合、CVD/PVD、快速热退火(RTA)等关键工艺,最高工作温度达 550°C,升温速率≥40°C/min,降温速率≥30°C/min(水冷),远超行业平均水平。依托材质选型优势(铝合金 / 铜 / SUS316/420J2 可选),盘面温度均匀性在室温 - 200°C时达 ±1%),200-500°C时...
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发布时间2026.03.17
高温晶圆
文天精策晶圆设备紧密跟踪全球半导体市场的发展趋势,及时调整产品设计与工艺方案,满足市场的动态需求。针对市场对高性能芯片的需求增长,设备优化了相关工艺参数,提升晶圆的加工精度与性能;面对市场对芯片成本下降的要求,设备通过技术创新降低单位晶圆的加工成本,帮助客户提升产品的价格竞争力。同时,文天精策的市场团队深入了解不同地区的市场需求与政策环境,为客户提供针对性的市场拓展建议。这种市场导向的产品设计与服务模式,帮助客户更好地应对市场变化,抢占市场份额。文天精策 Micro LED 老化系统,-50~150℃多通道测,助合肥视涯。高温晶圆晶圆测试设备的安全性是工业应用的重要要求,文天精策仪器科技(苏州...
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发布时间2026.03.17
可靠性测试加热
半导体晶圆的批量生产需要高效、稳定的测试设备,文天精策仪器科技(苏州)有限公司凭借完善的产品矩阵与充足的产能,为客户提供规模化测试方案。文档显示,公司的晶圆加热盘、冷热台等产品均实现标准化生产,年产千台级设备的能力可满足企业批量采购需求,同时支持自动化集成,可与生产线无缝对接,实现晶圆测试的智能化与高效化。针对 6 寸、8 寸晶圆的批量测试,公司提供多通道并行测试方案,如四通道原位测试设备可同时处理多片晶圆,大幅提升测试效率。公司位于苏州吴江的生产基地配备先进的加工与检测设备,确保每一台设备都符合质量标准,快速的交付周期(紧急订单可缩短至行业平均水平的 70%)与完善的售后保障,让客户无后顾之...
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发布时间2026.03.15
高精度退火炉
全球半导体产业的国产化替代浪潮中,文天精策仪器科技(苏州)有限公司凭借自主研发与技术创新,成为国产晶圆测试设备的代表性企业。 文档显示,公司是 2023 年国家高新技术企业,拥有多项技术成果技术,部分产品完善国内相关领域布局,产品已销售至 180 多所科研院所和企业,出口至美国、俄罗斯等多个国家和地区。 在晶圆相关设备领域,公司实现了从冷热台、恒温台到晶圆加热盘、热翘曲测试系统的全系列覆盖,适配 4 寸至 12 寸全尺寸晶圆,技术指标达到国际先进水平。公司与华为、宁德时代、京东方等国内重点企业深度合作,推动国产晶圆设备与本土工艺的适配优化,以高性价比、高稳定性的产品替代进口设备,降低国内半导体...
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发布时间2026.03.14
高温退火
文天精策建立了完善的全周期服务体系,为晶圆设备客户提供高效、专业的服务支持。设备交付后,专业技术团队会上门完成安装调试,并为客户操作人员提供系统的培训,确保设备快速投产;日常运行中,提供 7×24 小时在线技术支持,及时解答客户的操作疑问与故障问题;针对设备的维护需求,提供定期上门巡检服务,提前排查潜在故障,降低设备停机风险。同时,文天精策建立了充足的备件库存,确保关键部件能够快速供应,比较大限度缩短设备停机时长。这种全流程的服务保障,让客户在设备使用过程中无后顾之忧,专注于生产效率的提升。车规晶圆测试方案:文天精策温台模拟 - 40~125℃,服务宁德时代。高温退火文天精策晶圆设备采用模块化...
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发布时间2026.03.14
8英寸晶圆
晶圆 CMP 后处理的温度控制直接影响表面平整度,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的晶圆加热盘,以均匀的温度场与稳定的性能,为 CMP 后处理工艺提供保障。文档介绍,该加热盘盘面温度均匀性在室温 - 200℃时达 ±1%,200-500℃时 ±1.5%,能确保晶圆在 CMP 后处理过程中温度分布均匀,避免因热应力导致的表面变形。其材质可选铝合金、铜等导热性优异的材料,热响应速度快,升温速率≥40℃/min,可快速达到工艺设定温度,同时温度稳定性 ±1℃,保证处理效果的一致性。设备支持真空环境作业(1E-5mbar),可满足高级晶圆 CMP 后处理的洁净度要求,已应用于多家半导体企业的生产线,帮...
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发布时间2026.03.14
多点监控热流盘
文天精策在晶圆设备设计中充分融入人性化理念,大幅降低设备的操作门槛。设备配备可视化操作界面,将复杂的工艺参数转化为直观的图表与数据,操作人员通过简单的培训即可独自完成设备操作;界面内置常用工艺方案库,涵盖多种主流晶圆加工需求,一键即可调用,无需手动反复调试。设备运行过程中,实时显示关键工艺参数与设备运行状态,异常情况以声光双重警报方式提醒,便于操作人员及时处理。此外,设备的维护界面提供详细的故障排查指引,操作人员可根据指引快速定位并解决常见故障,减少对专业技术人员的依赖,提升设备的使用效率。文天精策 1200℃高温台 + 真空,适配 SiC/GaN 晶圆退火。多点监控热流盘针对半导体生产车间的...
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发布时间2026.03.12
HTOL热盘
文天精策晶圆设备具备灵活的产能适配能力,可满足不同规模企业的生产需求。针对中小型企业的小批量、多批次生产特点,设备支持快速切换工艺参数,能够在短时间内完成不同规格晶圆的加工,具备极强的柔性生产能力;面对大型企业的规模化生产需求,设备可通过并联组网的方式,搭建高效的自动化生产线,大幅提升单位时间的晶圆产出量。设备采用模块化扩展设计,企业可根据自身产能增长需求,逐步增加功能模块,无需一次性投入大量资金更换设备。这种灵活的产能适配模式,帮助企业降低设备投资风险,实现产能的平稳扩张,满足企业不同发展阶段的生产需求。助力研发机构创新,文天精策晶圆设备,加速新型芯片技术落地。HTOL热盘文天精策晶圆设备深...
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发布时间2026.03.11
低温温控
半导体晶圆的快速热退火(RTA)工艺对升温速率与温度稳定性要求严苛,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的晶圆加热盘,以稳定的温控性能满足这一需求。文档明确,该加热盘比较大升温速率达 40°C/min,可在短时间内将晶圆加热至 550°C的工艺温度,同时温度稳定性控制在 ±1°C,确保晶圆各区域退火效果一致。其盘面平整度小于 20um,温度均匀性在室温 - 200℃时达 ±1%,能有效避免因温度偏差导致的晶圆性能不均。设备支持水冷降温,降温速率≥30°C/min,可快速完成退火周期,提升生产效率。目前,该产品已应用于多家半导体代工厂的成熟制程生产线,适配 6 寸、8 寸晶圆的批量退火工艺,凭借高性...
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发布时间2026.03.10
测试晶圆盘
面对半导体产业不断迭代的工艺需求,文天精策推出的晶圆处理设备展现出极强的适配能力。针对精细加工环节的特殊要求,设备采用分层作业的创新结构,将晶圆处理过程中的多个关键步骤整合在同一设备内完成,省去了工序间转运、等待的时间成本,大幅提升了连续作业的流畅度。设备搭载的智能调控系统,能够精细把控环境参数,将波动范围控制在极小区间内,确保每一片晶圆都能在相同的理想条件下完成加工。这种精细调控能力,让晶圆后续的衔接环节更顺畅,有效提升了最终产品的性能表现,满足了高级芯片制造对工艺精度的严苛要求,为产业工艺升级提供了可靠的设备保障。减少工序衔接时间,文天精策晶圆设备,大幅提升生产线运行效率。测试晶圆盘文天精...
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发布时间2026.03.09
失效分析探针台
晶圆的真空环境测试需要设备具备良好的密封性与温控稳定性,文天精策仪器科技(苏州)有限公司的真空腔冷热台与晶圆加热盘,完美适配这一应用场景。文档显示,公司的冷热台支持真空腔室设计,可实现 1E-5mbar 的高真空环境,温度控制范围 - 190°C~600°C,精度 ±0.1°C,升温速率≥60°C/min,能在真空条件下快速、平稳调控温度。晶圆加热盘同样支持真空环境作业,在高真空下仍能保持 ±1.5% 的温度均匀性与 ±1℃的稳定性,适配晶圆的真空镀膜、真空退火等工艺。该组合方案已应用于中科院化学所的半导体材料真空测试、新加坡南洋理工大学的晶圆工艺研发,以优异的密封性能与温控表现,为真空环境下...
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