中清航科原子层精切技术:采用氩离子束定位轰击(束斑直径2nm),实现石墨烯晶圆无损伤分离。边缘锯齿度
为提升芯片产出量,中清航科通过刀片动态平衡控制+激光辅助定位,将切割道宽度从50μm压缩至15μm。导槽设计减少材料浪费,使12英寸晶圆有效芯片数增加18%,明显降低单颗芯片制造成本。切割产生的亚微米...
为满足半导体行业的快速交付需求,中清航科建立了高效的设备生产与交付体系。采用柔性化生产模式,标准型号切割设备可实现7天内快速发货,定制化设备交付周期控制在30天以内。同时提供门到门安装调试服务,配备专...
面向磁传感器制造,中清航科开发超导磁悬浮切割台。晶圆在强磁场(0.5T)下悬浮,消除机械接触应力,切割后磁畴结构畸变率
随着半导体市场需求的快速变化,产品迭代周期不断缩短,这对晶圆切割的快速响应能力提出更高要求。中清航科建立了快速工艺开发团队,承诺在收到客户新样品后72小时内完成切割工艺验证,并提供工艺报告与样品测试数...
未来流片技术将向更先进制程、更高集成度发展,中清航科持续投入研发,构建前瞻性的流片代理能力。在3DIC领域,与晶圆厂合作开发TSV与混合键合流片方案,支持芯片堆叠的高精度对准,已成功代理多个3D堆叠芯...
中清航科创新性推出“激光预划+机械精切”复合方案:先以激光在晶圆表面形成引导槽,再用超薄刀片完成切割。此工艺结合激光精度与刀切效率,解决化合物半导体(如GaAs、SiC)的脆性开裂问题,加工成本较纯激...
针对晶圆切割过程中的静电防护问题,中清航科的设备采用全流程防静电设计。从晶圆上料的导电吸盘到切割区域的离子风扇,再到下料区的防静电输送轨道,形成完整的静电防护体系,将设备表面静电电压控制在50V以下,...
为应对Chiplet集成挑战,中清航科推出自主知识产权的混合键合(HybridBonding)平台。采用铜-铜直接键合工艺,凸点间距降至5μm,互连密度达10⁴/mm²。其测试芯片在16核处理器集成中...
芯片封装的知识产权保护:在技术密集型的半导体行业,知识产权保护至关重要。中清航科高度重视知识产权保护,对自主研发的封装技术、工艺和设计方案等及时申请专利,构建完善的知识产权体系。同时,公司严格遵守行业...
通过拉曼光谱扫描切割道,中清航科提供残余应力分布云图(分辨率5μm),并推荐退火工艺参数。帮助客户将芯片翘曲风险降低70%,服务已用于10家头部IDM企业。中清航科技术结合机械切割速度与激光切割精度:...
流片过程中的质量管控是中清航科的主要优势之一,其建立了覆盖设计、生产、测试的全流程质量管理体系。在设计阶段,引入第三方DFM工具进行单独审核,确保设计方案符合晶圆厂工艺要求;生产阶段,派驻驻厂工程师实...