国瑞热控硅胶加热板突破传统加热板的刚性限制,采用高柔韧性硅胶基材,可弯曲、折叠,完美适配不规则形状的被加热物体,实现 360° 多角度贴合加热。其工作原理是内置的碳纤维发热体通电后均匀发热,硅胶基材兼具导热与绝缘功能,将热量高效传递至被加热表面,同时具备良好的隔热性能,减少热量损耗。产品厚度只 0.8mm,重量轻,安装时无需复杂的固定结构...
查看详细 >>国瑞热控陶瓷加热板以氧化铝或氮化硅陶瓷为基体,采用厚膜印刷工艺将电阻浆料印刷于陶瓷表面,经高温烧结形成发热层,具备优异的耐高温与绝缘性能。其工作原理是厚膜发热层通电后产生焦耳热,通过陶瓷基体快速传导,实现精细控温。产品最高使用温度可达 800℃,温度控制精度 ±0.5℃,热响应速度快,通电 1 分钟内即可达到设定温度。陶瓷材质的低导热系数...
查看详细 >>国瑞热控半导体晶圆加热盘的优势集中在 “多环境适配” 与 “长寿命保障”,完美匹配半导体生产的严苛需求。产品采用进口耐高温合金基材与真空密封工艺,可在真空(10⁻⁵ Pa)、惰性气体、大气等多种环境下稳定工作,适配光刻、蚀刻、沉积等不同工序的工作条件。其独特的均热结构设计,结合多区温控技术,使盘面温度均匀性误差 ≤ ±0.8℃,温度控制精...
查看详细 >>工业生产中 “恒温 + 节能” 的双重需求,国瑞热控 PTC 加热板给出比较好解。依托 22 年热控技术沉淀,产品采用嵌入式 PID 智能算法,热效率高达 95%,在塑料颗粒烘干、流体加热等场景中,实际能耗较传统方案降低 25%。其一体化封装结构具备优异的抗振动性能,经过 10 万次循环测试无故障,平均无故障时间(MTBF)超 20,00...
查看详细 >>面向深紫外光刻工艺对晶圆预处理的需求,国瑞热控配套加热盘以微米级温控助力图形精度提升!采用铝合金基体与石英玻璃复合结构,加热面平面度误差小于0.01mm,确保晶圆与光刻掩膜紧密贴合!通过红外加热与接触式导热协同技术,升温速率达15℃/分钟,温度调节范围60℃-120℃,控温精度±0.3℃,适配光刻胶软烘、坚膜等预处理环节!表面经防反射涂层...
查看详细 >>针对半导体退火工艺中对温度稳定性的高要求,国瑞热控退火**加热盘采用红外加热与电阻加热协同技术,实现均匀且快速的温度传递!加热盘主体选用低热惯性的氮化硅陶瓷材质,热导率达30W/mK,可在30秒内将晶圆温度提升至900℃,且降温过程平稳可控,避免因温度骤变导致的晶圆晶格损伤!表面喷涂耐高温抗氧化涂层,在长期高温退火环境下无物质挥发,符合半...
查看详细 >>电控晶圆加热盘:半导体工艺的准确温控重点!无锡国瑞热控的电控晶圆加热盘,以创新结构设计解释半导体制造的温控难题!其底盘内置螺旋状发热电缆与均温膜,通过热量传导路径优化,使加热面均温性达到行业高标准,确保晶圆表面温度分布均匀,为光刻胶涂布等关键工艺提供稳定环境!搭配高精度温度传感器与限温开关,温度波动可控制在极小范围,适配6英寸至12英寸不...
查看详细 >>国瑞热控 PTC 加热板凭借独特的自限温特性,成为多行业智能热控的推荐方案。其重点 PTC 元件采用纳米改性技术,居里点可在 50℃-300℃之间精细调控,工作时无需额外温控器,即可自动维持设定温度,避免过热损坏设备。产品采用一体化封装工艺,外壳选用阻燃级工程塑料,具备良好的散热性能与机械强度,同时通过 IP67 防水等级认证,可在潮湿、...
查看详细 >>国瑞热控快速退火**加热盘以高频响应特性适配RTP工艺需求,采用红外辐射与电阻加热复合技术,升温速率突破50℃/秒,可在数秒内将晶圆加热至1000℃以上!加热盘选用低热惯性的氮化铝陶瓷材质,搭配多组**温控模块,通过PID闭环控制实现温度快速调节,降温速率达30℃/秒,有效减少热预算对晶圆性能的影响!表面喷涂抗热震涂层,可承受反复快速升降...
查看详细 >>面向半导体新材料研发场景,国瑞热控高温加热盘以宽温域与高稳定性成为科研工具!采用石墨与碳化硅复合基材,工作温度范围覆盖500℃-2000℃,可通过程序设定实现阶梯式升温,升温速率调节范围0.1-10℃/分钟!加热面配备24组测温点,实时监测温度分布,数据采样频率达10Hz,支持与实验室数据系统对接!设备体积紧凑(直径30cm),重量*5k...
查看详细 >>国瑞热控针对硒化铟等二维半导体材料制备需求,开发**加热盘适配 “固 - 液 - 固” 相变生长工艺。采用高纯不锈钢基体加工密封腔体,内置铟原子蒸发温控模块,可精细控制铟蒸汽分压,确保硒与铟原子比稳定在 1:1。加热面温度均匀性控制在 ±0.5℃,升温速率可低至 0.5℃/ 分钟,为非晶薄膜向高质量晶体转化提供稳定热环境。设备支持 5 厘...
查看详细 >>国瑞热控半导体测试用加热盘,专为芯片性能测试环节的温度环境模拟设计,可精细复现芯片工作时的温度条件!设备温度调节范围覆盖-40℃至150℃,支持快速升温和降温,速率分别达25℃/分钟和20℃/分钟,能模拟不同工况下的温度变化!加热盘表面采用柔性导热垫层,适配不同厚度的测试芯片,确保热量均匀传递至芯片表面,温度控制精度达±0.5℃!配备可编...
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