玻璃基板是液晶显示屏必须的部件之一,每个...
本文主要研究了如何采用白光干涉法、表面等...
谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪...
光谱共焦技术是一种高精度、非接触的光学测...
微纳制造技术的发展推动着检测技术进入微纳...
白光干涉在零光程差处,出现零级干涉条纹,...
光谱共焦技术将轴向距离与波长建立起一套编...
白光干涉的相干原理早在1975年就已经被...
光谱拟合法易于测量具有应用领域,由于使用...
在塑料薄膜和透明材料薄厚测量方面,研究人...
在精密几何量计量测试中,光谱共焦技术是非...
谱共焦位移传感器,作为一种高度精密的光学...