在采用方式2的情况下，可以在成像物镜前或...

在半导体行业中，激光位移传感器被用于测量...

本实用新型涉及一种检验校准装置，特别指一...

光谱法是一种以光的干涉效应为基础的薄膜厚...

光谱共焦测量技术是共焦原理和编码技术的融...

基于白光干涉法的晶圆膜厚测量装置，其...

近年北京市轨道交通建设发展迅速，截止目前...

干涉法作为面扫描方式可以一次性对薄膜局域...

道路是交通运输的重要组成部分 ，其平整度...

通过安装在键合头上的激光位移传感器 36...

基于表面等离子体共振传感的测量方案，利用...

根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特...