光谱共焦技术是一种高精度、非接触的光学测量技术，将轴向距离与波长的对应关系建立了一套编码规则。作为一种亚微米级、迅速精确测量的传感器，基于光谱共焦技术的传感器已广应用于表面微观形状 、厚度测量、位移测量、在线监控和过程管控等工业测量领域。随着光谱共焦传感技术的不断发展，它在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量测量和其他领域的应用将会更... 【查看详情】

在操作高精度光谱共焦传感器时，有一些重要的注意事项需要遵守。首先，需要确保设备处于稳定的环境中，避免外部振动或干扰对传感器的影响。其次，在使用过程中要注意保持设备的清洁和维护，避免灰尘或污垢影响传感器的准确性。另外，操作人员需要严格按照设备说明书中的操作步骤进行，避免误操作导致设备损坏或数据错误。定期对设备进行校准和检测，确保其性能和准确... 【查看详情】

光谱法是一种以光的干涉效应为基础的薄膜厚度测量方法，分为反射法和透射法两种类型。入射光在薄膜-基底-薄膜界面上的反射和透射会引起多光束干涉效应，不同特性的薄膜材料的反射率和透过率曲线是不同的，并且在全光谱范围内与厚度一一对应。因此，可以根据这种光谱特性来确定薄膜的厚度和光学参数。光谱法的优点是可以同时测量多个参数，并能有效地排除解的多值性... 【查看详情】

白光干涉时域解调方案需要借助机械扫描部件带动干涉仪的反射镜移动，补偿光程差，实现对信号的解调。光纤白光干涉仪的两输出臂分别作为参考臂和测量臂，作用是将待测的物理量转换为干涉仪两臂的光程差变化。测量臂因待测物理量而增加了一个未知的光程，参考臂则通过移动反射镜来实现对测量臂引入的光程差的补偿。当干涉仪两臂光程差ΔL=0时，即两干涉光束为等光程... 【查看详情】

随后安装在贴装台单元上的激光位移传感器403检测键合头370上拾取的芯片的倾角，结合两位移传感器360和403的初始角度差值，利用调平机构340对芯片做出与贴装台401上贴装位间的平行调整；其调平的具体实现过程如下：音圈电机343动作，从而实现音圈模组341产生平行于电机轴向的位移，继而导致下方动平台342产生绕u轴或者v轴（与 u轴垂直... 【查看详情】

激光位移传感器在精密制造行业中有着广泛的应用。如在汽车制造中，激光位移传感器可以用于测量车身的变形和尺寸，确保汽车的质量和安全性能。在航空航天制造中，激光位移传感器可以用于测量航空器件的尺寸和变形，以及机翼的形状和弯曲度。在微电子制造中，激光位移传感器可以用于测量芯片的尺寸和形状，确保芯片的质量和性能。因此 ，激光位移传感器在精密制造行业... 【查看详情】

在激光惯性约束核聚变实验中，靶丸的物性参数和几何参数是靶丸制备工艺改进和仿真模拟核聚变实验过程的基础，因此如何对靶丸多个参数进行高精度、同步、无损的综合检测是激光惯性约束核聚变实验中的关键问题。以上各种薄膜厚度及折射率的测量方法各有利弊，但针对本文实验，仍然无法满足激光核聚变技术对靶丸参数测量的高要求，靶丸参数测量存在以下问题：不能对靶丸... 【查看详情】

光谱共焦技术主要包括成像和检测。首先，通过显微镜对样品进行成像，然后将图像传递给计算机进行处理。接着，利用算法对图像进行位置校准，以确定样品的空间位置。通过分析样品的光谱信息，实现对其成分的检测。在点胶行业中，光谱共焦技术可以准确地检测出点胶的位置和尺寸，确保点胶的质量和精度。同时，通过对点胶的光谱分析，还可以了解到点胶的成分和性质，从而... 【查看详情】

光谱共焦技术将轴向距离与波长建立起一套编码规则，是一种高精度 、非接触式的光学测量技术。基于光谱共焦技术的传感器作为一种亚微米级、快速精确测量的传感器，已经被大量应用于表面微观形状、厚度测量、位移测量、在线监控及过程控制等工业测量领域。展望其未来，随着光谱共焦传感技术的发展，必将在微电子、线宽测量、纳米测试、超精密几何量计量测试等领域得到... 【查看详情】

靶丸内表面轮廓是激光核聚变靶丸的关键参数，需要精密检测。本文首先分析了基于白光共焦光谱和精密气浮轴系的靶丸内表面轮廓测量基本原理，建立了靶丸内表面轮廓的白光共焦光谱测量方法。此外，搭建了靶丸内表面轮廓测量实验装置，建立了基于靶丸光学图像的辅助调心方法，实现了靶丸内表面轮廓的精密测量，获得了准确的靶丸内表面轮廓曲线; 对测量结果的可靠性进行... 【查看详情】

膜厚仪是一种用于测量薄膜厚度的仪器，它的测量原理是通过光学干涉原理来实现的。在测量过程中，薄膜表面发生的光学干涉现象被用来计算出薄膜的厚度。具体来说，膜厚仪通过发射一束光线照射到薄膜表面，并测量反射光的干涉现象来确定薄膜的厚度。膜厚仪的测量原理非常精确和可靠，因此在许多领域都可以得到广泛的应用。首先，薄膜工业是膜厚仪的主要应用领域之一。在... 【查看详情】

光谱共焦测量技术由于其高精度、允许被测表面有更大的倾斜角、测量速度快、实时性高、对被测表面状况要求低、以及高分辨率的独特优势，迅速成为工业测量的热门传感器，在生物医学、材料科学、半导体制造、表面工程研究、精密测量、3C电子等领域得到大量应用。本次测量场景使用的是创视智能TS-C1200光谱共焦传感头和CCS控制器。TS-C系列光谱共焦位移... 【查看详情】