控制系统需具备多重安全联锁功能:设置介质...
排气速率:泵出口处的气体排放速率,与抽气...
当前级泵建立基础真空后,罗茨泵通过齿轮传...
干式真空泵在泵送的气体中没有流体,依靠泵...
泵腔被爪型转子分隔成吸气腔和排气腔两部分...
双级罗茨真空泵由两级转子串联组成,前级转...
实际抽气中,大容积真空室的时间损耗还来自...
涡轮分子泵机组是目前能够达到超高真空的主...
水环真空泵机组以水环泵为主泵,多数情况下...
每周需检查机械密封是否有泄漏(如轴端有无...
此阶段,前级泵利用自身工作机制,如旋片泵...
罗茨真空泵的重点部件(如润滑油系统、密封...