EVG®805解键合系统用途：薄晶圆解键合。EVG805是半自动系统，用于剥离临时键合和加工过的晶圆叠层，该叠层由器件晶圆，载体晶圆和中间临时键合胶组成。该工具支持热剥离或机械剥离。可以将薄晶圆卸载到...

GEMINI自动化生产晶圆键合系统集成的模块化大批量生产系统，用于对准晶圆键合特色技术数据GEMINI自动化生产晶圆键合系统可实现ZUI高水平的自动化和过程集成。批量生产的晶圆对晶圆对准和ZUI大20...

EVG501是一种高度灵活的晶圆键合系统，可处理从单芯片到150 mm（200 mm键合室的情况下为200 mm）的基片。该工具支持所有常见的晶圆键合工艺，如阳极，玻璃料，焊料，共晶，瞬态液相和直接键...

从表面上看，“引线键合”似乎只是焊接的另一个术语，但由于涉及更多的变量，因此该过程实际上要复杂得多。为了将各种组件长久地连接在一起，在电子设备上执行引线键合过程，但是由于项目的精致性，由于它们的导电性...

晶圆级封装是指在将要制造集成电路的晶圆分离成单独的电路之前，通过在每个电路周围施加封装来制造集成电路。由于在部件尺寸以及生产时间和成本方面的优势，该技术在集成电路行业中迅速流行起来。以此方式制造的组件...

Abouie M 等人［4］针对金—硅共晶键合过程中凹坑对键合质量的影响展开研究，提出一种以非晶硅为基材的金—硅共晶键合工艺以减少凹坑的形成，但非晶硅的实际应用限制较大。康兴华等人［5］加工了简单的多...

共晶键合［8，9］是利用某些共晶合金熔融温度较低的特点，以其作为中间键合介质层，通过加热熔融产生金属—半导体共晶相来实现。因此，中间介质层的选取可以很大程度影响共晶键合的工艺以及键合质量。中间金属键合...

EVG®520IS晶圆键合机系统：单腔或双腔晶圆键合系统，用于小批量生产。EVG520IS单腔单元可半自动操作ZUI大200mm的晶圆，适用于小批量生产应用。EVG520IS根据客户反馈和EVGrou...

电阻率测量仪清洁方法：电阻率测量仪需要保持干净、光滑的表面，以确保测量的准确性。1. 清洁探头：用清洁布、纸巾等轻轻擦拭探头表面，去除污垢和尘埃，不要使用有粉末的材料，以免该粉末入侵仪器内部，影响测量...

晶圆缺陷检测光学系统的优点主要包括：1、高精度：晶圆缺陷检测光学系统采用高分辨率、高灵敏度的光学成像技术，能够快速准确地检测出微小的缺陷和瑕疵。2、可靠性高：晶圆缺陷检测光学系统采用非接触高精度测量技...

电阻率测量仪的使用方法是什么？1. 首先，将要测试的材料导电端面清洁干净，使其能够与测试接口良好接触。2. 打开电阻率测量仪，进行相关参数的配置，如测量范围、测量方式等。根据需要，还可以进行数据处理和...

薄膜应力分析仪可以通过改变测试参数，测出薄膜在不同深度处的应力分布。这对于研究薄膜的形变机制、表面失稳等问题有很大的帮助。薄膜应力分析仪的使用方法相对简单，只需将待测样品放在样品台上，启动仪器后进入软...