种微孔真空吸盘工作台的制作方法 【技术领域】 [0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。 【背景技术】 [0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备...
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。自动化搬运、对象吸取、定位、精密网板印刷用工作台,利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力,将工作物(包括晶圆、玻璃、PET膜或其他薄型工作物)放置陶瓷工作吸盘上,利用真空吸力使工作物固定,进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具,应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序。Fountyl公司生产的工作盘可以和日本、德国、以色列、美国及国产的设备配套使用,具有优越的性能价格比。 微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.韶关官方微孔陶瓷真空吸盘联系人

(3)“钉扎”理论, 认为存在于基体晶界的纳米颗粒产生“钉扎”效应,从而限制了晶界滑移和孔穴、蠕变的发生,晶界的增强导致纳米氧化锆复相陶瓷韧性的提高。
二、氧化锆增韧陶瓷的种类
氧化锆增韧陶瓷主要有稳定氧化锆陶瓷、部分稳定氧化锆陶瓷、四方氧化锆多晶体陶瓷、氧化锆超塑性陶瓷。
1、稳定氧化锆陶瓷
稳定氧化锆陶瓷是在制备氧化锆粉体时添加一定数量的稳定剂使之固溶入氧化锆内,形成立方相氧化锆,在整个温度范围内不发生相变,也就没有体积变化的陶瓷材料。常用的稳定剂主要有CaO、MgO、Y2O3、CeO2等。 珠海销售微孔陶瓷真空吸盘价格优惠采用粗细均匀的颗粒,加工出来的陶瓷板具有孔径分布均匀.

隔热保温材料由于多孔陶瓷具有巨大的气孔率和低的基体热传导系数,其**传统的应用是作为隔热材料。传统的窑炉、高温电炉其内衬多为多孔陶瓷。为增加其隔热性能还可将内部气体抽真空。目前世界上比较好的隔热材料正是这种多孔陶瓷材料。高级的多孔陶瓷隔热材料还可用于航天飞机的外壳隔热。除此以外,由于其多孔性还可以作为换热材料用,且换热充分。多孔介质燃烧器多孔介质燃烧器有功率大、范围可调、高功率密度、极低的C0和N0x排放量、安全稳定燃烧等优点。而且很重要的一点是,多孔介质燃烧器的结构紧凑,尺寸大大减小,制造成本低,系统效率较高,消除了额外能耗。
(4)致孔剂
加入致孔剂是为了提高陶瓷的气孔率、扩大比表面积。致孔剂主要有天然有机细粉、煤粉、石灰石、白云石、烧沸石、珍珠岩、浮石等。一般来讲,增加致孔剂的用量可以提高陶瓷的气孔率,但是会引起陶瓷强度下降,因此必须控制致孔剂的添加比例。以石灰石和白云石作致孔剂时,在煅烧过程分解生成的CaO和MgO具有助熔作用,如果在煅烧温度过高、时间过长,会与原料中的部分物质形成玻璃相,填充部分已形成的气孔,降低陶瓷的气孔率
(5)流变剂
浆料的流动性能保证浆料在浸渍过程中能渗透到有机泡沫中,并均匀地涂敷在泡沫网络的孔壁上。浆料的触变性即要求浆料具有在静止时处于凝固状态,但在外力作用下又恢复流动性的特性。良好的触变性可以保证在浸渍浆料和挤出多余浆料时,在剪切作用下降低粘度,提高浆料的流动性,有助于成型,而在成型结束时,浆料的粘度升高,流动性降低。这就使得附着在孔壁上的浆料容易固化而定型,避免了因为浆料的流动造成坯体严重堵孔而影响制品的均匀性。 可以生产大型真空固定盘。比较大为2米(代替石盘).

新能源材料
1) 多孔陶瓷因其与液体和气体的接触面积大,使电解池的槽电压比使用一般材料低得多,而成为优良的电解隔膜材料,可**降低电解槽电压,提高电解效率,节约电能和昂贵的电极材料。目前陶瓷隔膜材料已用在化学电池、燃料电池、光化学电池中,特别是固体氧化物电池。
2)利用多孔陶瓷制备多孔电极。以多孔气体扩散电极为例,它的比表面积不但比平板电极提高3~5个数量级,而且液相传质层的厚度也从平板电极的10cm压缩到1O~10cm,从而**提高电极的极限电流密度,减少浓差极化。
敏感元件
陶瓷传感器的敏感元件工作原理是当微孔陶瓷元件置于气体或液体介质中时,介质的某些成分被多孔体吸附或与之反应,使微孔陶瓷的电位或电流发生变化,从而检验出气体或液体的成分。比较常用的有温度传感器、湿度传感器、气体传感器以及多功能传感器。 吸附面材料为多孔陶瓷,实现了高精度自动切割。广东微孔陶瓷真空吸盘
陶瓷内气孔率,气孔径可根据用途固定。韶关官方微孔陶瓷真空吸盘联系人
3、四方氧化锆多晶体陶瓷
四方氧化锆多晶体陶瓷的晶粒很小,为了使亚稳的四方相保留下来,必须采用超细、高纯的氧化锆粉体,且要准确控制氧化钇的含量,烧结工艺中要采用低的温度(1400℃)。
四方氧化锆陶瓷通过相变增韧具有很高的强度和断裂韧性,但在中高温下由于相变增韧作用的逐渐消失力学性能迅速下降。在基体中加入第二相粒子成为复合材料是提高韧性和高温力学性能的有效方法。
4、氧化锆超塑性陶瓷
氧化锆超塑性陶瓷是通过控制配料和烧结,获得均匀的微细晶粒侥结体,实现微细晶粒的超塑性。影响氧化锆陶瓷超塑性的主要因素有下列几个方面: 韶关官方微孔陶瓷真空吸盘联系人
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