中山原装晶圆运送机械吸臂

    近年来全球硅晶圆供给不足，导致8英寸、12英寸硅晶圆订单能见度分别已达2019上半年和年底。目前国内多个硅晶圆项目已经开始筹备，期望有朝一日能够打破进口依赖，并有足够的能力满足市场需求。硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式***存在于岩石、砂砾中，硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。一，晶柱制造步骤硅提纯:将沙石原料放入一个温度约为2000℃，并且有碳源存在的电弧熔炉中，在高温下，碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应（碳氧结合，得硅），提纯得纯度约为98%的纯硅，又称冶金级硅，这对微电子器件来说依然不够纯，因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度相当的敏感，因而对冶金级硅作进一步提纯：将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应，生成液态的硅烷，然后通过蒸馏和化学还原工艺，得到了高纯度的多晶硅，其纯度达99%，成为电子级硅。 设备具备稳定的运行性能，可长时间连续工作。中山原装晶圆运送机械吸臂

可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列。

单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能。

适用于300mm半导体生产设备内部，检测设备等的晶圆搬运。

机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm机械手臂可以单独对应2个FOUP（210mm臂长）

或者3个FOUP（280mm臂长）双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式配备动作监视器控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化

能够高速，高精度地搬运半导体晶圆晶圆固定方式：真空吸附式，下托式，边缘夹持式，伯努利非接触式手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 中山原装晶圆运送机械吸臂柔性机械臂不只是一个刚柔耦合的非线性系统，也是系统动力学特性与控制特性相互耦合的非线性系统。

冲床行业机械臂又名冲床行业机械手、冲床冲压机械手，它是用于冲床行业专门用的机械臂，冲床冲压机械手能按照预选程序自动完成几个规定的动作，实现物体的自动夹取和运送。在冲压生产中，它不仅用于一台压力机上完成上下料工作，实现单机自动化，也可以用在由若干台压力机组成的流水生产线上，实现各压力机之间工件的自动传递，形成自动冲压生产线。由于机械手能方便地改变工作程序，因而在经常变换产品品种的中小件冲压生产中，对于实现生产自动化更具有重要意义。冲床冲压机械手由执行机构、驱动机构和电气控制系统等组成。

2．喷涂机械臂 这种机械臂多用于喷漆生产线上，重复位姿精度要求不高。但由于漆雾易燃，一般采用液压驱动或交流伺服电机驱动。3．焊接机械臂 这是目前使用**多的一类机械臂，它又可分为点焊和弧焊两类。点焊机械臂负荷大基本介绍当提到机械人时，许多人会想到有手，有脚的人型机械.不过， 这类机械人往往出现在科幻电影，***所，展览会和玩具店中，它们与工业用的机械人大不相同. 工业机械人（Industrial Robots）简称为IR，它们大多为简单的操作设备，有时会被称为机械臂，例如：进行简单的提起或放下动作，在机器内放入或取出工件等.不过，亦有不少工业机械人可以完全用程式控制，并可进行不同类型工作，吸臂采用静电除尘技术，保证晶圆表面的清洁度。

晶圆运送机械吸臂的应用非常广，主要包括以下几个方面：晶圆生产线：在晶圆生产线上，晶圆运送机械吸臂被广泛应用于晶圆的装载和卸载过程。它能够将晶圆从载体上吸附起来，并将其准确地运送到目标位置，以完成各种工序，如清洗、切割、涂覆等。晶圆运送机械吸臂的高精度和稳定性能，能够确保晶圆在整个生产过程中的安全和稳定运输。半导体封装和测试：在半导体封装和测试过程中，晶圆运送机械吸臂被用于将封装好的芯片从一个工序转移到另一个工序。它能够将芯片准确地吸附在机械臂上，并将其运送到封装或测试设备上，以完成后续的封装和测试工作。一般也都装在手臂上。所以手臂的结构、工作范围、承载能力和动作精度都直接影响机械手的工作性能。广州原装晶圆运送机械吸臂维修

X移动，Y移动，Z移动组成，通过在执行终端加装X转动，Y转动，Z转动可以到达空间内的任何坐标点。中山原装晶圆运送机械吸臂

可选地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一侧与所述主板固定连接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板远离所述主板的一端、所述第二支板远离所述主板的一端均设置有所述绒毛垫。

可选地，所述表面为平面。

另外，本实用新型还提供了一种晶圆传输装置，其包括上述任一所述的机械手臂。

在本实用新型的技术方案中，机械手臂传送晶圆时，晶圆放置在托板的表面，并与绒毛垫接触，借助晶圆与绒毛垫的绒毛之间的范德华力，晶圆被稳稳地附着在机械手臂上，不易发生平移，这样不仅可以避免发生机械手臂碰伤，还可以提高晶圆的传送速度以提高生产效率。

通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征、方面及其优点将会变得清楚。 中山原装晶圆运送机械吸臂

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