种微孔真空吸盘工作台的制作方法 【技术领域】 [0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。 【背景技术】 [0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备...
高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。产品种类:陶瓷柱塞、陶瓷泵芯、陶瓷阀芯、陶瓷活塞、陶瓷轴套、陶瓷吸盘、微孔陶瓷等;材料:氧化铝、氧化锆、氮化硅、碳化硅。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。 是指经过特殊的纳米粉体制造工艺先生产出均匀的实心或者真空球体.清远直销微孔陶瓷真空吸盘推广

(6)分散剂
为了提高浆料的固含量,无论是水基体系还是非水基体系均需加入分散剂。分散剂可以提高浆料的稳定性,阻止颗粒再团聚,进而提高浆料的固含量。
(7)消泡剂和表面活性剂
为了防止浆料在浸渍和挤出多余浆料的过程中起泡而影响制品的性能,需加入消泡剂,一般采用低分子量的醇和硅酮。陶瓷浆料为水基浆料时,如果有机泡沫与浆料之间的润湿性差,在浸渍浆料时就会出现泡沫结构的交叉部分附着较厚的浆料,而在结构的桥部和棱线部分附着很薄的浆料的现象。这种情况严重时会导致烧结过程中坯体开裂,使多孔陶瓷的强度明显降低。因此,通常采用添加表面活性剂的方法以改善陶瓷浆料与有机泡沫体之间的附着性来解决此问题。 清远直销微孔陶瓷真空吸盘推广我们开发了新型多孔陶瓷,它的孔径可以制作在小于1微米大到几百个微米的范围内。

高致密性陶瓷真空吸盘(多孔陶瓷真空吸盘),特殊的多孔陶瓷材料其孔径为2~3微米,不易阻塞真空力大,部份面积吸附,同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输,装置应用***用于平坦,无孔表面的工作平台。使用者通常是机器操作员。在金属加工领域,这是一项安全可靠的工件传输。自动化搬运、对象吸取、定位、精密网板印刷用工作台,利用孔洞透气性陶瓷(氧化铝或碳化硅)接上真空吸力,将工作物(包括晶圆、玻璃、PET膜或其他薄型工作物)放置陶瓷工作吸盘上,利用真空吸力使工作物固定,进行清洗、切割、研磨、网版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盘是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具,应用于减薄、划片、清洗、搬运等工序。Fountyl公司生产的工作盘可以和日本、德国、以色列、美国及国产的设备配套使用,具有优越的性能价格比。
组织遗传制备工艺
该工艺是利用植物材质(木材、竹子等)的天然多孔组织,将其在800~1000℃下和惰性气体环境中热解碳化得到与木材多孔结构几乎完全相同的碳预制体。然后以碳预制体为模板,1600℃时液态硅蒸发形成的硅蒸汽渗入模板与碳化合形成多孔碳化硅陶瓷。该工艺过程简单,成本低廉,但制品的孔结构主要决定于材质本身的组织,可设计性较差,同时SiC的转化率相对较低。也可将木材在真空中浸渍渗入树脂,之后在1200℃左右热解,冷却后得到一定孔隙率的木材陶瓷。
电子行业**微孔陶瓷真空吸盘.

B、成型压力
成型压力在氧化锆干压成型过程中是较关键的,压力太小和太大都不能压制出理想的坯体。压力太小,则烧后产品的密度小,产品收缩大,坯体压实程度不够容易出现分层;而压力太大,坯体也容易出现裂纹、分层和脱模困难等现象。合适的成型压力需要通过生产实践来摸索。
C、加压方式
般干压成型时加压方式有两种,一种是单面加压,另一种是双面加压。当单面加压时,则直接受压的一端压力大,出现明显的压力梯度,粉料的流动性越差,则坯体内出现的压力差也就越大,越容易出现分层。双面加压时,坯体两端直接受压,因此两端密度大,中间密度小,其压力梯度的有效传递距离为单面加压的一半,故坯体的密度比单面加压要均匀得多。因此氧化锆陶瓷干压成型时宜采用双面加压的方式。 可用于高温过滤材料、催化剂载体、燃料电池的多孔电极、敏感元件、分离膜、生物陶瓷.清远直销微孔陶瓷真空吸盘推广
固定盘连接在旋转器上,被固定物可以随着固定盘一起旋转。清远直销微孔陶瓷真空吸盘推广
材质
(1)高硅质硅酸盐材料,它主要以硬质瓷渣、耐酸陶瓷渣及其他耐酸的合成陶瓷颗粒为骨料,具有耐水性、耐酸性,使用温度达700℃。
(2)铝硅酸盐材料,它以耐火粘土熟料、烧矾土、硅线石和合成莫来石颗粒为骨料。具有耐酸性和耐弱碱性,使用温度达1 000℃。
(3)精陶质材料,它以多种粘土熟料颗粒与粘土等混合烧结,得到微孔陶瓷材料。
(4)硅藻土质材料,它主要以精选硅藻土为原料,加粘土烧结而成。用于精滤水和酸性介质。
(5)纯炭质材料,它以低灰分煤或石油沥青焦颗粒为原料,或加入部分石墨,用稀焦油粘结烧制而成,用于耐水、冷热强酸、冷热强碱介质以及空气的消毒和过滤等。
(6)刚玉和金刚砂材料,它以不同型号的电熔刚玉和碳化硅颗粒为骨料,具有耐强酸、耐高温的特性 清远直销微孔陶瓷真空吸盘推广
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种微孔真空吸盘工作台的制作方法 【技术领域】 [0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。 【背景技术】 [0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备...
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