MEMS陀螺仪,即硅微机电陀螺仪,绝大多数的MEMS陀螺仪依赖于相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS陀螺仪是利用coriolis定理,将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号,其主要部件通过掺杂技术、光刻技术、腐蚀技术、LIGA技术、封装技术等批量生产的。陀螺仪可以用于地下勘探和地质勘测,提供准确的位置和方向信息。黑龙江陀螺仪行价

陀螺仪的分类:按照原理,可以分为机电式陀螺仪(以经典力学为基础)、光电类陀螺仪(以近代物理学效应为基础),机电式陀螺仪(以经典力学为基础):转子式陀螺仪:滚珠轴承支撑陀螺、液浮陀螺、气浮陀螺、静电陀螺等;新型振动陀螺仪:音叉陀螺、半球谐振陀螺、微机电陀螺(MEMS)等;光电类陀螺仪(以光学Sagnac效应测量运载体旋转运动为基础);激光陀螺、光纤陀螺、原子干涉陀螺、集成光学陀螺等;机电式:高速旋转的机械转子,高速转子容易产生质量不平衡,容易受到加速度的影响;启动时间较长,且需要一定的预热时间;MEMS陀螺仪是利用 coriolis 定理,将旋转物体的角速度转换成与角速度成正比的直流电压信号。吉林惯性导航系统使用方法船舶导航系统中,陀螺仪可提供精确的方向信息,帮助船舶避开暗礁和浅滩。

一个接近真实MEMS陀螺仪的结构如下图所示。外侧的蓝色与黄色部分别为驱动电极,它们通过施加交变电压来驱动内部的红色质量块及红色测量电极沿着特定方向做往返运动。红色质量块通过具有弹簧性质的绿色长条结构与基底相连,而红色的短栅与内侧蓝色的短栅则构成了电容的极板。当基底发生旋转时,质量块在科里奥利力的作用下会产生垂直方向的运动。这种运动的幅值与施加的角速度成正比。通过测量质量块上的红色电极与固定在底座上的蓝色电极之间的电容变化,我们就可以得到角速度的大小。
转子陀螺仪,液浮陀螺仪经过几十年的发展,技术上已相对成熟,目前主要作为敏感传感器应用到武器系统上,以实现随动跟踪与制导,但在降低温控装置功耗和噪声等方面,仍有提升空间。动力调谐陀螺仪,在20世纪70年代到20世纪90年代被普遍应用,但随着光学陀螺仪技术的出现和发展,其各方面性能指标均不占优势,在各领域逐渐被光学陀螺仪所取代,目前国内外已基本停止了对动力调谐陀螺仪的研究。静电陀螺仪仍是目前实际应用中,精度较高的陀螺仪,但由于其工艺复杂、成本昂贵、抗干扰能力差等缺陷,如今只在高精度惯性导航系统中继续应用,受关注度较低,各国正努力寻求其替代品,未来进一步发展的空间相对受限。陀螺仪特点包括响应速度快、精度高、不受外部环境影响等,能够提供可靠的姿态控制和导航信息。

陀螺仪分为单自由度陀螺仪与双自由度陀螺仪,双自由度陀螺仪为陀螺转子增加了两个自由度,即为双自由度陀螺仪。单自由度陀螺仪为陀螺转子增加了一个自由度。两种陀螺仪均可敏感角速度,只不过陀螺仪进动性表现不同。下面以单自由度陀螺仪解释陀螺仪敏感角速度原理。惯性器件:陀螺仪敏感角速度原理。单自由度陀螺仪内部构造。z轴为陀螺转子主轴(虚线为陀螺转子);y轴为缺少自由度的轴,也为输入轴;x轴为输出轴。由上述分析可知,x,z方向的角速度并不能使转子随着基座运动,即相对惯性空间不变;当且只当y轴方向的角速度使的转子在x轴方向进动,即相对于惯性空间运动。因此测量x轴的角速度即可测量载体在y轴的角速度。总之,单自由度陀螺仪可以敏感某一轴相对惯性空间的角速度。激光陀螺仪的精度较高,但成本相对较高,多用于航空航天等高精度场合。吉林惯性导航系统使用方法
陀螺仪可以用于船舶和航空器的姿态稳定控制,提高航行的安全性和稳定性。黑龙江陀螺仪行价
在接下来的内容中,我们将更多地了解陀螺仪在国民生活应用中的表现。我们大致了解陀螺仪的来历,原理和种类,那么,它与我们的日常生活有怎样的关系呢?陀螺仪器较早是用于航海导航,但随着科学技术的发展,它在航空和航天事业中也得到普遍的应用。陀螺仪器不只可以作为指示仪表,而更重要的是它可以作为自动控制系统中的一个敏感元件,即可作为信号传感器。根据需要,陀螺仪器能提供准确的方位、水平、位置、速度和加速度等信号,以便驾驶员或用自动导航仪来控制飞机、舰船或航天飞机等航行体按一定的航线飞行,而在导弹、卫星运载器或空间探测火箭等航行体的制导中,则直接利用这些信号完成航行体的姿态控制和轨道控制。黑龙江陀螺仪行价