苏州高精度激光干涉仪厂家

激光干涉仪的测量精度高：以激光干涉技术为关键，分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块，解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统，保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热变形，保证干涉光路稳定。具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。激光干涉仪维护保管时需要注意哪些方面？苏州高精度激光干涉仪厂家

激光干涉仪原理：激光器发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉（见图）。若光程差没有变化时，探测器会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，探测器会在每一次光程变化时，在相长性和相消性干涉的两极之间找到变化信号，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。品质激光干涉仪品质保障激光干涉仪是精度比较高的线性位移测量仪器，其光波可以直接对米进行定义。

激光干涉仪的应用：数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在，利用激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不只节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。双轴定位精度的检测及其自动补偿。激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。

多功能激光干涉仪：主要适用于测量光脉冲、电脉冲以及磁脉冲的信号，如测量光强和电压随时间变化的波形。因为它的响应速度极快，是微微秒(Ps)量级。所以，它非常适用于超快变电场和超短光脉冲信号变化的测量。已有技术主要有两个方面。一是普通干涉仪，如一九八七年机械工业出版社出版的“剪切干涉仪及其应用”一书中描述的干涉仪，可用来做多样的测量工作，但它既不能像示波器一样示波显示电信号的波形，也不能示波显示光信号、磁信号的波形。虽然能示波显示电信号和光信号的波形，但不能示波显示其他如磁信号的波形等。而且，这些测量系统内不含有干涉系统。激光干涉仪的应用：数控机床动态性能检测。

数控机床设备在维修维保或机床设备大修之后，使用雷尼绍XL-80激光干涉仪来实现线性数控轴直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量，把检测的数据值通过数控系统参数补偿进入数控系统，利用数控系统消除数控轴的正常磨损误差，利用球杆仪检测数控轴联动加工的真圆度，不但可以提高相关联的几个数控轴联动加工的精度等级，还保证了数控轴的精度、延长数控轴的寿命。保证数控机床更高的定位精度、更小的公差及更高的进给率。它是一种精密测量仪器，对数控机床设备进行精度的再校准。雷尼绍激光干涉仪为机床检定提供一种高精度标准，它具备自动线性误差补偿功能，可以方便恢复机床精度。激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度进行测量。精密激光干涉仪订购

激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法。苏州高精度激光干涉仪厂家

激光干涉仪使用技巧；Z轴激光光路快速准直方法：用激光干涉仪进行线性测量时，Z轴测量时激光光路的准直相对X、Y轴准直来说，要困难的多。尤其是在Z轴距离较长的情况下，要保证激光光束经反射镜反射后回到激先探测器的强度满足测量对对光强的要求，准直激光光路往往需要很长时间。Z轴激光光路快速准直方法具体调整方法如下：Z轴置于低处，利用激光器外壳中部的瞄准槽，正对Z轴放置分光镜，左右移开Z轴，观察激光光路，保证激光转向后大致平行于Z轴，左右移回Z轴放置线性反射镜及光靶(可以盖在反射或分光镜上以帮助入眼瞄准及控制光路的靶)，激光打在反射镜光靶上。苏州高精度激光干涉仪厂家