南京通用集成电路

    在互连层的连续上表面正上方形成多个底电极通孔。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中。在多个底电极通孔正上方形成多个mtj器件。多个mtj器件包括工作mtj器件和一个或多个调节mtj器件。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中，在多个mtj器件正上方形成多个顶电极通孔。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。在步骤中，在多个顶电极通孔上方形成具有多个互连结构的互连层。多个互连结构限定位线和一条或多条字线。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。步骤至在衬底上方形成存储单元。在一些实施例中，可以重复步骤至(如步骤所示)以在存储单元上方形成存储单元。出了对应于步骤的一些实施例的截面图。虽然方法描述了包括具有调节访问装置(包括mtj器件)的存储单元(例如，mram单元)的方法存储器电路，但是应该理解，在其它实施例中，调节装置可以包括电阻器(例如，薄膜电阻器)。在这样的实施例中，工作mtj器件可以通过组操作(在步骤中)形成，而包括电阻器的调节装置可以通过组单独的操作(在步骤和步骤之间发生)形成。例如，在工作mtj的形成(在步骤中)之后，可以通过一个或多个沉积和蚀刻工艺形成电阻器。因此，在一些实施例中。涉及不具有驱动晶体管(即。随着集成电路的发展，其在现代各种行业的作用越来越重要。南京通用集成电路

    mram单元)的尺寸，因为该尺寸不再取决于驱动晶体管的尺寸。出了具有调节访问装置的存储器电路的一些实施例的示意图，该调节访问装置被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。存储器电路包括具有多个存储单元a,至b,的存储器阵列。多个存储单元a,至b,以行和/或列布置在存储器阵列内。例如，行存储单元包括存储单元a,和a,，而列存储单元包括存储单元a,和b,。在一些实施例中，多个存储单元a,至b,可以包括多个mram单元。多个存储单元a,至b,(例如，mram单元)分别包括连接至调节访问装置的工作mtj器件。工作mtj器件包括磁隧道结(mtj)，磁隧道结(mtj)具有通过介电遂穿阻挡层a与自由层a分隔开的固定层a。固定层a具有固定的磁向，而自由层a具有可以在操作期间(通过隧道磁阻(tmr)效应)改变为相对于固定层a的磁向平行(即，“p”状态)或反向平行(即，“ap”状态)的磁向。固定层a和自由层a的磁向之间的关系限定了mtj的电阻状态，并且从而使得多个存储单元a,至b,能够分别存储数据状态，数据状态具有基于存储单元内的工作mtj器件的电阻的值。例如，如果工作mtj器件a,具有低电阻状态，则存储单元a,将存储位值(例如，逻辑“”)，或者如果工作mtj器件a,具有高电阻状态，则存储单元a,将存储位值。重庆模拟集成电路技术集成电路是电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式。

    下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1示出依据本申请一实施例的单芯片集成电路封装结构；图2示出依据本申请另一实施例的双芯片集成电路封装结构。具体实现方式为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。下面结合本申请实施例的附图，对本实用新型实施例的技术方案描述如下。图1示出依据本申请一实施例的单芯片集成电路封装结构101，包括上基板1、元件3及下基板2，上基板1上的上层金属层4、下层金属层5以及下层金属层5上的联结pad6、7、8，下基板2上的上层金属层9、下层金属层10以及上层金属层9上联结pad11、12，下层金属层10上的联结pad13、14、15、16。上基板1与下基板2联结用的沉金17、18。

    深圳市美信美科技有限公司于2020年04月17日成立。公司经营范围包括：一般经营项目是：电子产品及其配件的技术开发与销售；国内贸易等。本公司主营推广销售AD（亚德诺）,LINEAR（凌特）以及TI、MAXIM、NXP等国际品牌集成电路。产品广泛应用于：汽车、通信、消费电子、工业控制、医疗器械、仪器仪表、安防监控等领域。本公司一直秉承优势服务，诚信合作的原则，以现代化管理以及优势的渠道价格、良好的信誉与广大客户建立了长期友好的合作关系，为广大厂商和市场客户提供优势的产品服务。互连层从工作mtj器件正下方连续延伸至调节mtj器件正下方。在一些实施例中，集成电路还包括连接在字线和工作mtj器件之间的调节mtj器件，字线和字线连接至字线解码器。在一些实施例中，调节mtj器件与调节mtj器件具有不同的尺寸。在一些实施例中。集成电路还包括连接在位线和工作mtj器件之间的调节mtj器件，字线连接至字线解码器并且位线连接至位线解码器。在一些实施例中。集成电路还包括连接在调节mtj器件和工作mtj器件之间的偏置电压线，偏置电压线连接至偏置电路，偏置电路被配置为选择性地将偏置电压施加至偏置电压线。在又一些其它实施例中，涉及一种形成集成电路的方法。集成电路行业作为全球信息产业的基础,是世界电子信息技术创新的基石。

    这是一种在小型化和高功率密度产品上比较成功的封装结构。同样的，bga封装也具有更小的体积、更好的散热性能和电性能以及更短的电气联结路线从而在多引脚的cpu以及内存芯片上得到广泛应用。本申请在此基础上，提出了一种封装结构，该方法结合qfn和bga封装的优点，满足大电流联结，小封装尺寸，多层结构的联结结构，生产工艺简单，性价比高，具有较高的经济性。技术实现要素：依据本申请一方面本集成电路封装结构包括上基板，下基板，中间填充层，中间填充层中可能还包含其他的中间基板层，元件被上下基板夹在中间填充层之中，与上下基板直接联结或者与中间填充层中的其他中间基板层直接联结。上基板，下基板，元件，中间基板通过焊接的方法电气联结和物理联结。依据本申请另一方面通过本集成电路封装方法封装的集成电路有明显的分层结构，上下两层基板层，中间的元件层，中间基板层，元件层或者中间基板层还被中间的填充层所包裹，填充层使用填充材料加强元件以及上下层的基板的固定，保证元件热的导出，电的绝缘，以及整个集成电路的结构的稳定性。上下两层的基板是分层的，中间基板层也是分层的。设计好的金属层通过联结pad完成集成电路的互联，满足大电流互联要求。靠谱集成电路供应商，美信美科技就是牛。上海特大规模集成电路芯片

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    下基板2的上层金属层9、下层金属层10通孔沉金19、20，用于中间填充层的21，上基板1中间层22、下基板2中间层23。图2示出依据本申请一实施例的双芯片集成电路封装结构201，包括上基板1、元件3、元件4及下基板2，上基板1上的上层金属层5、下层金属层6以及下层金属层6上的联结pad7、8、9、10，下基板2上的上层金属层11、下层金属层12以及上层金属层11上的pad13、14、15、16，下层金属层12上的联结pad17、18、19、20、21、联结pad22。上基板1与下基板2联结用的沉金23、24，下基板2的上层金属层11、下层金属层12通孔沉金25、26、27、28，用于中间填充层的29，上基板1中间层30、下基板2中间层31。以上所述实施例用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围，均应包含在本申请的保护范围之内。南京通用集成电路