江苏镀膜机真空腔体设计

   真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体的制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高真空系统的主要结构材料。具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在-270-900°C工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用广。

  近年来,为了降低真空腔体的制作成本，采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。另外，采用钛合金来制作特殊用途真空腔体的例子也不少。

   为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。 真空腔体加工哪家好？江苏镀膜机真空腔体设计

    真空腔体破气，是指将洁净干燥的气体，通过破气孔灌入真空腔体的过程。当腔体内气压值达到大气压强后，开启腔体阀门，取出腔体内的料件。生产时，腔体内真空度小于1pa，腔体内外气压差达到105pa，在极短的时间内，气体将以“冲击波”的形式，冲入腔体内部，对位于破气孔一侧的料件，产生较大冲击(作用力大于10n/cm2)。在极端情况下，会将料件“吹起”，如镀膜遮蔽治具上盖，在质量较轻、受力面积较大时，会被“吹起”，并卡在腔体上部结构中，进而造成载盘传动失效、产品刮碰不良等问题。一种新型真空腔体，主要包括外框、导流壳、转座、插管、中杆、滑块和盖板，所述外框底端设置有通风口，所述外框底端位于通风口处固定安装有导流壳，导流壳顶端固定安装有盖板，盖板底端侧壁与导流壳围设形成十字槽，所述盖板端部靠近导流壳边缘处侧壁处开设有端孔，所述盖板位于十字槽范围的侧壁设置有对称设置的折片、第二折片和第三折片，所述盖板位于折片、第二折片和第三折片处设置有通孔口，所述导流壳底端中部固定安装有转座，转座内侧下部设置有卡接槽，所述转座内侧下部插接安装有插管，插管外侧上部侧壁固定安装有对称设置的支板，所述支板通过螺栓与转座旋接。南京不锈钢真空腔体设计真空腔体来料需要检验。

    焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量,通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体氩气,以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。超高真空腔体的氩弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空-侧，以免存在死角而发生虚漏。

    真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现超高真空，要对腔体进行150--250°C的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。

    真空技术以其无污染、无氧化等特点在加热领域得到了越来越多的应用。目前常见的真空加热设备大多应用于工业生产。工业用设备往往体积庞大,难以搭配高倍显微镜对真空加热过程进行精密监测,对工件或材料在某一温度下的变形以及表面形貌变化只能凭借经验做出定性的估计,难以做出精确的定量判定。为解决此问题,本文研究开发了真空加热观测实验平台,主要研究内容包括以下几个方面。(1)根据真空加热观测实验平台技术指标制定整体方案,并对组成该平台的五个部分进行逐一设计。真空室部分,设计了真空腔体结构,计算了真空腔体壁厚,选取了观察窗水冷方案并布置了水冷通道。真空泵组部分,设计了泵组组合方案,选取了机械泵与分子泵。真空管路部分,设计了连接真空室和泵组的管路。加热部分采用外热式加热,对加热丝的结构和排布进行了设计,同时设计制作了保温层和温控回路。其它部分则选取了隔振平台,设计定做了高倍显微镜。(2)运用有限元分析软件ANSYSWorkbench对真空腔体进行有限元分析,仿真结果表明:在额定载荷下,真空腔体底部变形比较大,侧壁抽气口开孔处应力比较大,真空腔体底部变形量超过技术指标要求。(3)对加工完成的真空加热观测实验平台各部分进行搭接、安装。 真空腔体可以将高温和低温环境隔离开来，实现热能的有效利用。

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