包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述,本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。并且,在列举了若干装置的单元权利要求中,这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。类似地,应当理解,为了精简本公开并帮助理解各个公开方面中的一个或多个,在上面对本公开的示例性实施例的描述中,本公开的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而,并不应将该公开的方法解释成反映如下意图:即所要求保护的本公开要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说,如下面的权利要求书所反映的那样,公开方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此,遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式,其中每个权利要求本身都作为本公开的单独实施例。以上所述的具体实施例,对本公开的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述*为本公开的具体实施例而已,并不用于限制本公开,凡在本公开的精神和原则之内。氖,就选上海利兴斯化工有限公司,让您满意,欢迎您的来电哦!江苏氖气多少立方
同时蒸发冷凝介质以产生由该冷凝介质的蒸发形成的物流;(d)将该含氖排放流引导至回流冷凝器;以及(e)还用经过冷液氮流的一部分将来自该含氖排放流的氮气冷凝以产生氮气冷凝物和包含大于约50%摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流。同时蒸发或部分蒸发该经过冷液氮流的该部分以产生由该经过冷液氮流的该部分的蒸发或部分蒸发形成的第二物流。在利用汽提塔冷凝器的实施方案中,汽提塔冷凝器可以是集成到利用氮气作为致冷源(即,冷凝介质)的不可冷凝物汽提塔中的回流冷凝器。在此类实施方案中,冷凝介质可包括液氮塔底馏出物的一部分,同时来自回流冷凝器的汽化流可经由氮气制冷压缩机再循环至不可冷凝物汽提塔。另选地,在液氧源用作致冷源(即,冷凝介质)的情况下,冷凝器可以是热虹吸式冷凝器或直流冷凝器。在此类实施方案中,冷凝介质可以是来自空气分离单元的低压塔的液氧流,同时来自回流冷凝器的汽化流可被引导回空气分离单元的低压塔。在本发明的一些或所有实施方案中,经过冷液氮回流流可经由与空气分离单元的低压塔的氮气塔顶馏出物的间接换热而过冷。除了将经过冷液氮回流流的一部分引导至回流冷凝器或氖气质量改善装置之外。湖南工业氖储存氖,就选上海利兴斯化工有限公司,有需要可以联系我司哦!
b)将该液氮塔底馏出物的全部或一部分过冷以产生经过冷液氮流;以及(c)在双级回流冷凝器-釜锅炉中,用冷凝介质和经过冷液氮流的一部分将来自含不可冷凝气体的塔顶馏出物的氮气冷凝,同时蒸发或部分蒸发冷凝介质和第二冷凝介质。从而产生冷凝物、由冷凝介质的部分蒸发形成的物流、由第二冷凝介质的蒸发或部分蒸发形成的第二物流、以及包含大于约50%摩尔份数的粗氖蒸气的含氖排放流。此外,该含氖排放流还包含大于约10摩尔份数的氦气。在利用双级回流冷凝器-锅炉布置的实施方案中,双级回流冷凝器-锅炉的致冷源中的一种(即,冷凝介质)可以是来自空气分离单元的换热器系统的釜流或来自空气分离单元的氩冷凝器的釜流。同样,来自冷凝介质的部分蒸发的汽化流可被引导至空气分离单元的低压塔或氩冷凝器。本发明还可被表征为用于双塔空气分离单元的氖气回收系统,该系统包括:(i)不可冷凝物汽提塔,该不可冷凝物汽提塔被构造成接收来自主冷凝器-再沸器的液氮冷凝物流的一部分以及来自空气分离单元的高压塔的富氮盘架蒸气流,该不可冷凝物汽提塔还被构造成产生液氮塔底馏出物和含不可冷凝气体的塔顶馏出物;汽提塔冷凝器。
所述二倍频非线性晶体的相位匹配角为θ1=90°,φ1=0°~°。所述三倍频非线性晶体的相位匹配角为θ2=°~°,φ2=90°。所述四倍频非线性晶体的相位匹配角为θ3=°~48°,φ3=0°。其中θ1、θ2、θ3分别是非线性晶体波矢与晶体光学轴z的夹角,φ1、φ2、φ3分别是非线性晶体波矢在xy平面的投影与x轴的夹角。在本公开实施例中,如图3所示,311为基频激光源,输出波长为1064nm。321为二倍频非线性晶体,用于将1064nm倍频后产生532nm的激光输出。322为三倍频非线性晶体,用于将1064nm和532nm三倍频后产生355nm的激光输出。323为四倍频非线性晶体,用于将532nm倍频产生266nm的激光输出。各个非线性晶体均固定在精确温度控制的温控炉内,温控炉统一由驱动控制器控制温度要求。光路中各个非线性晶体均固定在比较好频率转换的位置以及晶体内的光斑半径也为比较好值,即均在比较好的频率转换条件下。且321二倍频非线性晶体比较好工作温度设为148℃,322三倍频非线性晶体比较好工作温度设为60℃,323四倍频非线性晶体比较好工作温度设为25℃。晶体的比较好工作温度和晶体的相位匹配角度有关,相位匹配角度不同对应的温度不同。氖,就选上海利兴斯化工有限公司,让您满意,期待您的光临!
用于将波长为λ的基频激光倍频后产生波长为λ/2的激光;三倍频谐波镜,镀有波长为λ高透膜和波长为λ/2的高透膜和波长为λ/3的高反膜;三倍频非线性晶体,与所述二倍频非线性晶体相连,用于将波长为λ的基频激光和λ/2的激光三倍频后产生波长为λ/3的激光;输出镜,镀有各个波长的部分透过膜;以及多个温控炉,用于分别安放所述二倍频非线性晶体、三倍频非线性晶体并进行加热,通过控制温控炉温度,实现调节输出光中各个波长激光的比例。在本公开实施例中,所述二倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围40~150℃。在本公开实施例中,所述三倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围40~60℃。在本公开实施例中,所述四倍频非线性晶体的比较好工作温度点的范围20~40℃。在本公开实施例中,所述二倍频非线性晶体的相位匹配角为θ1=90°,φ1=0°~°。在本公开实施例中,所述三倍频非线性晶体的相位匹配角为θ2=°~°,φ2=90°。在本公开实施例中,所述四倍频非线性晶体的相位匹配角为θ3=°~48°,φ3=0°。在本公开实施例中,当加热温度偏离比较好工作温度时,会使得频率转换效率降低,当温度偏离超过10℃甚至更高,频率转换将不发生。氖,就选上海利兴斯化工有限公司,让您满意,有想法可以来我司参观了解!西藏超纯氖提取
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Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术,KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量,ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后,客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示:“氖气是半导体制造业不可或缺的气体,我们认识到在当前情况下,持续的供应危机是一个极为严重的问题,将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产,为此我们推出了三大措施:为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。江苏氖气多少立方