本公开涉激光技术领域:,尤其涉及一种可控的多波长激光输出装置,其输出波长可切换且功率可控。背景技术::伴随着激光技术的发展,各式各样的激光器广泛应用于工业、科研、医学、娱乐等领域。各个领域对激光器的输出方式、性能有了越来越高的要求。同时或者交替输出多种波长的激光器逐渐被很多应用场合所需要。在探测领域,如在大气颗粒物测量方面,通常同时使用1064nm、532nm、355nm至少三种波长进行探测;在一些医疗领域,如激光碎石,需要同时使用1064nm、532nm等波长的激光进行***;而在加工领域中,通常根据加工材料性质的要求,采取多波长激光切换或交替输出的工作方式。在现有的技术,如图1所示,是一种传统的腔外频率转换激光器,包括基频激光光源111、其后依次是二倍频非线性晶体121、三倍频非线性晶体122、二倍频非线性晶体固定在可移动的平台131上,三倍频非线性晶体122固定在可以移动平台132上。以此类推,通过移动平台,将非线性晶体移入移出光路,当非线性晶体在光路中时,频率转化可以发生,可产生二倍频或三倍频光;当非线性晶体移出光路时,可输出基频光。在现有技术中,如图2所示,一种传统的频率转换激光器。氖在常温常压下为无色无臭无毒的惰性气体。空气中含氖约18ppm。不燃。天津工业氖哪家好
将经压缩且经冷却的涡轮空气流35引导至或引入主或初级换热器52中,在其中将该经压缩且经冷却的涡轮空气流部分冷却至约160开尔文至约220开尔文之间的范围内的温度以形成经部分冷却且经压缩的涡轮空气流38,该经部分冷却且经压缩的涡轮空气流随后被引入涡轮膨胀机62中以产生被引入到蒸馏塔系统70的高压塔72中的冷排气流64。由该经部分冷却且经压缩的涡轮空气流的膨胀而产生的补充致冷由此被直接施加到高压塔72,从而减轻了主换热器52的一些冷却负荷。在一些实施方案中,涡轮膨胀机62可与用于直接或通过适当的齿轮装置进一步压缩涡轮空气流32的增压压缩机36联接。虽然图1所示的基于涡轮的致冷回路被示出为下塔涡轮(lct)回路,在该回路中经膨胀排气流被进料至蒸馏塔系统70的高压塔72,但可设想到基于涡轮的致冷回路另选地可以是上塔涡轮(uct)回路,在该回路中涡轮排气流被引导至低压塔。此外,基于涡轮的致冷电路可以是lct回路和uct回路的组合。类似地,在采用uct布置(未示出)的另选实施方案中,纯化的且经压缩的进料空气的一部分可在初级换热器中部分冷却,然后该经部分冷却的物流的全部或一部分被转移到热涡轮膨胀机中。天津工业氖哪家好一种无色无嗅的稀有气体元素,原子序数10,存在于空气中,按体积计含量约占千分之二。
激光将无改变的通过非线性晶体。在本公开实施例中,所述λ=1064nm。(三)有益效果从上述技术方案可以看出,本公开可控的多波长激光输出装置至少具有以下有益效果其中之一或其中一部分:(1)不需要引入大量多余的晶体和分光镜片;(2)能保证多波长的激光沿着同一输出光路输出,且各个波长的功率占比在一定程度上可以调节;(3)成本低,光路简洁有效。附图说明图1为现有技术中的一种多波长激光输出方式的结构示意图。图2为现有技术中的另一种多波长激光输出方式的结构示意图。图3为本公开实施例一种可控的多波长激光输出装置结构示意图。图4为本公开实施例另一种可控的多波长激光输出装置结构示意图。【附图中本公开实施例主要元件符号说明】111、211、212、311-基频激光光源;131、132-可移动的平台;221、222-非线性晶体;231-光路反射镜;241-光路切换装置;121、321、421-二倍频非线性晶体;122、322、422-三倍频非线性品体;323-四倍频非线性晶体;411-激光晶体;431-全反镜432-二倍频谐波镜;433-三倍频谐波镜;434-输出镜。具体实施方式本公开提供了一种可控的多波长激光输出装置,所述可控的多波长激光输出装置不需要引入大量多余的晶体和分光镜片。
Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术,KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量,ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后,客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示:“氖气是半导体制造业不可或缺的气体,我们认识到在当前情况下,持续的供应危机是一个极为严重的问题,将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产,为此我们推出了三大措施:为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。在高电压下,氖气可被激发为氖的等离子体状态,发出红色橙色的荧光。
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具有非常高的稳定性,不易与其他物质发生反应。天津工业氖哪家好
“氢氦锂铍硼,碳氮氧氟氖……”还记得中学化学元素周期表上这一串字符吗?元素周期表揭示了物质世界的秘密,把一些看起来似乎互不相关的元素统一起来,组成了一个完整的自然体系。它的发明,是近代化学史上的一个创举,对促进化学的发展起了巨大的推动作用。其实,看起来深奥的化学离我们的生活并不遥远。美国化学学会会员李力红说:“你听到的、看到的、闻到的、尝到的、摸到的一切都与化学物质有关。听觉、视觉、味觉和触觉都涉及你体内一系列复杂的化学反应和相互作用。化学不仅限于烧杯和实验室,它就在我们身边。我们越了解化学,就越能感触我们的世界。”氢H1号元素——产生的一种元素,并且也是元素周期表中的一个元素。她是轻的元素,从水到星星,我们周围的一切物体中都可以找到她。氢气极易飘浮,所以我们给她画上了一对翅膀。氯Cl这个家伙佩戴着充气浮臂和呼吸管,准备在泳池里游一会儿——他是一种气体,但是通常在游泳池里发现他,因为他能够净化泳池里的水。钴Co这个家伙是一种灰色的金属,他的名字来自德语单词“goblin”,意思是“妖怪”,因为早期的钴矿工人认为钴被妖怪诅*了。我们将他画成妖怪的模样来帮助小朋友记住他。天津工业氖哪家好