本发明涉及一种气体分离的方法,尤其涉及一种氪氙精制中降低液氮使用量的方法和装置。背景技术:大气中的氪和氙含量分别约为×10-6和×10-6,微量氪和氙随空气进入空气分离装置的低温精馏塔后,高沸点组分氪、氙、碳氢化合物(主要是甲烷)以及氟化物均积聚在低压塔的液氧内,将低压塔的液氧送入一个氪附加精馏塔(俗称贫氪塔)。可获得氪氙含量为~%kr+xe的贫氪氙浓缩物,其中甲烷含量约为~%。氧气中甲烷含量过高(一般不超过%ch4)是极其危险的,只有预先脱除掉贫氪氙浓缩物中的甲烷后,才有可能继续提高液氧中的氪氙浓度,在已知的方法中,首先将贫氪氙浓缩物加压到临界压力,再减压到。甲烷纯化装置是通过钯催化剂,在480~500℃的温度下,氧与甲烷进行化学反应后甲烷被脱除(残余甲烷含量可低于1×10-6),然后用分子筛吸附脱除化学反应生成物——二氧化碳和水。去除甲烷后的原料气进入精馏塔后得到氪氙混合物。一般的精制设备利用此氪氙混合物作为原料,以氮气和液氮的混合气为冷源,通过增设多级精馏的形式分离氪气、氙气,并进一步提纯氪气氙气。精制设备所使用的的氮气直接进冷箱,没有预冷过程,对应使用的液氮量较大。因此,本领域的技术人员致力于开发氪氙精制方法。在工业气体液氖上部抽出蒸气,很容易使液体氖变为固体氖。湖北液态氖
主要用于霓虹灯及作为电子工业的填充介质(例如高压氖灯、计数管等).也用于激光技术。液氖因具有沸点低等优点,可作为26~40K之间的低温冷源。另外在高能物理方面得到应用。例如使用液氖的气泡室等。还可以氖氧混合气代替氦氧气用于呼吸。
本品在高浓度时,可使空气中氧分压降低而有窒息危险。表现有呼吸加快、注意力不集中、共济失调;继之出现疲倦乏力、烦躁不安、恶心、呕吐、昏迷、抽搐,以致死亡。进行生产时一般不需特殊防护。但当作业场所空气中氧气浓度低于18%时,必须佩戴空气呼吸器、氧气呼吸器或长管面具。眼睛防护:一般不需特殊防护。用6ma钢瓶或2L玻璃瓶包装,外用木箱或纸箱保护。贮存于阴凉、干燥处。以容量不超过2L的玻璃瓶包装的可按普通货物运输。装卸时要轻拿轻放,防止包装破损。灭火方法:本品不燃。切断气源。喷水冷却容器,可能的话将容器从火场移至空旷处。 江西液氖气厂家价格长期以不氖都被用不来填充各种信号装置,作为港口、机场、车站等水陆交通要地的显示标志。
Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术,KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量,ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后,客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示:“氖气是半导体制造业不可或缺的气体,我们认识到在当前情况下,持续的供应危机是一个极为严重的问题,将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产,为此我们推出了三大措施:为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。
如当非线性晶体321工作在148℃时,输出的532nm激光比较大,约占1064nm输出总功率的60%,通过温控器将其工作温度改变℃,则532nm占1064nm输出总功率比例将会出现一点降低,当改变℃,占比可能会降低到50%。以此类推。表1多波长输出模式321比较好工作温度322比较好工作温度323比较好工作温度输出波长大幅偏离大幅偏离大幅偏离1064nm比较好工作大幅偏离大幅偏离1064nm、532nm比较好工作比较好工作大幅偏离1064nm、532nm、355nm比较好工作大幅偏离比较好工作1064nm、532nm、266nm比较好工作比较好工作比较好工作1064nm、532nm、355nm、266nm在本公开实施例中,还提供一种腔内频率转换方式的可控的多波长激光输出装置,如图4所示,依次包括:全反镜,镀有各个波长的全反膜;激光晶体,用于产生波长为λ基频激光;二倍频谐波镜,镀有波长为λ高透膜和波长为λ/2的高反膜;二倍频非线性晶体,与所述基频激光源相连,用于将波长为λ的基频激光倍频后产生波长为λ/2的激光;三倍频谐波镜,镀有波长为λ高透膜和波长为λ/2的高透膜和波长为λ/3的高反膜;三倍频非线性晶体,与所述二倍频非线性晶体相连,用于将波长为λ的基频激光和λ/2的激光三倍频后产生波长为λ/3的激光。氖气主要通过空分设备中的低温蒸馏法获得。
以液氮与氮气混合后得到的低温气体为冷源的***冷凝蒸发器;和分别位于二级精馏塔塔内、纯氪塔塔内、粗氙塔塔内、纯氙塔塔内,以不同比例低温氮气与常温氮气混合后得到的较低温气体为冷源的第二冷凝蒸发器、第三冷凝蒸发器、第四冷凝蒸发器、第五冷凝蒸发器;以及用于汇总从各冷凝蒸发器出来的氮气并复热的主换热器;其中,所述一级精馏塔与所述二级精馏塔连接;所述二级精馏塔分别与所述纯氪塔和所述粗氙塔连接;所述粗氙塔与所述纯氙塔连接;所述分馏塔与所述主换热器连接。推荐地,还包括:用于接受复热后的氮气并增压的循环压缩机;其中,所述循环压缩机分别与所述分馏塔和所述主换热器连接。本发明采用以上技术方案,与现有技术相比,具有如下技术效果:本发明的氪氙精制中降低液氮使用量的装置,包括循环压缩机、分馏塔、主换热器、一级精馏塔、二级精馏塔、纯氪塔、粗氙塔、纯氙塔、***冷凝蒸发器、第二冷凝蒸发器、第三冷凝蒸发器、第四冷凝蒸发器、第五冷凝蒸发器。其中主换热器中部会抽出较高温氮气作为调温的热流,回收了液氮的冷量,实现氪氙精制的液氮消耗量大幅度降低。附图说明图1是本发明的氪氙精制中降低液氮使用量的装置的示意图;其中。使用液化氖气时,要注意防止皮肤和眼睛接触,因为液化氖气的低温会引起组织不适。普通氖厂家
具有非常高的稳定性,不易与其他物质发生反应。湖北液态氖
同时蒸发冷凝介质以产生由该冷凝介质的蒸发形成的物流;(d)将该含氖排放流引导至回流冷凝器;以及(e)还用经过冷液氮流的一部分将来自该含氖排放流的氮气冷凝以产生氮气冷凝物和包含大于约50%摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流。同时蒸发或部分蒸发该经过冷液氮流的该部分以产生由该经过冷液氮流的该部分的蒸发或部分蒸发形成的第二物流。在利用汽提塔冷凝器的实施方案中,汽提塔冷凝器可以是集成到利用氮气作为致冷源(即,冷凝介质)的不可冷凝物汽提塔中的回流冷凝器。在此类实施方案中,冷凝介质可包括液氮塔底馏出物的一部分,同时来自回流冷凝器的汽化流可经由氮气制冷压缩机再循环至不可冷凝物汽提塔。另选地,在液氧源用作致冷源(即,冷凝介质)的情况下,冷凝器可以是热虹吸式冷凝器或直流冷凝器。在此类实施方案中,冷凝介质可以是来自空气分离单元的低压塔的液氧流,同时来自回流冷凝器的汽化流可被引导回空气分离单元的低压塔。在本发明的一些或所有实施方案中,经过冷液氮回流流可经由与空气分离单元的低压塔的氮气塔顶馏出物的间接换热而过冷。除了将经过冷液氮回流流的一部分引导至回流冷凝器或氖气质量改善装置之外。湖北液态氖