苏州内置泵体真空烘箱PID调节

在CCD（电荷耦合器件）制造过程中，颗粒沾污对CCD的薄膜质量、光刻图形完整性等有很大的影响，降低CCD的成品率。CCD制造过程中的颗粒来源主要有两个方面：一个制造过程中工艺环境产生的颗粒；另一个是薄膜的淀积、光刻和离子注入等CCD工艺过程中产生的颗粒。工艺环境的颗粒可来源于墙体、设施、设备、材料和人员，工艺过程的颗粒来源于易产生粉尘的工艺，比如说LPCVD淀积多晶硅和氮化硅及刻蚀工艺等。无尘烘箱，即使在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100，为CCD（电荷耦合器件）制造过程中烘烤提供洁净环境，预防颗粒沾污真空箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭，应用松软棉布擦拭。苏州内置泵体真空烘箱PID调节

真空烘箱有以下特点：短加热时间，与传统干燥烘箱比加热时间减少50%以上。真空烘箱因为是由电力提供热能，而湿的物品是会导电的，故在使用上宜小心不要有漏电的现象发生，故一般烘箱都要接地使用，以保安全。若没有地线也要确认烘箱没有漏电的现象；若有轻微的漏电现象，可试着将插座拔起后将插脚以相反方向再插入，若没有漏电现象可小心使用，若仍有漏电现象则应立即停用。广泛应用于医药,冶金,电子五金,食品,化工,PCB烘烤等等行业。苏州内置泵体真空烘箱PID调节双层钢化玻璃观察窗，工作状态一目了然。

    真空干燥箱日常使用和维护：1、产品出厂前都经过严格的测试，一般不要进行修改，如使用时的环境恶劣，环境温度超出适宜范围，会引起温度显示值与箱内实际温度误差，如超出技术指标范围的，可以参照温度控制器操作说明按所需进行修正。2、仪器在正常工作状态下，如打开箱门时间过长，关上箱门后即使箱内温度有些变动，这也是正常现象。3、除维修外，不能拆开左侧箱体盖以免损坏电器控制系统。4、放气阀橡皮塞若旋转困难，可在内涂上适量油脂润滑。5、真空泵不能长时期工作，因此真空度达到干燥物品要求时，应先封闭真空阀，再封闭真空泵电源，待真空度小于干燥物品要求时，再打开真空阀及真空泵电源，继续抽真空，这样可延长真空泵使用寿命。6、干燥的物品如湿润，则在真空箱与真空泵之间比较好加进过滤器，防止湿润气体抽进真空泵，造成真空泵故障。7、真空干燥箱经多次使用后，会产生不能抽真空的现象，此时应更换门封条或调整箱体上的门扣伸出间隔来解决。真空箱干燥温度高于200度时，有可能会产生慢漏气现象，此时拆开箱体背后盖板用内六角板手拧松加热器底座，调换密封圈或拧紧加热器底座来解决。8、真空干燥箱应经常保持清洁。箱门玻璃切忌用有反应的化学溶液擦拭。

真空干燥箱先抽真空再升温加热的原因1)工件放入真空箱里抽真空是为了抽去工件材质中可以抽去的气体成分。如果先加热工件，气体遇热就会膨胀。由于真空箱的密封性非常好，膨胀气体所产生的巨大压力有可能使观察窗钢化玻璃爆裂。这是一个潜在的危险。按先抽真空再升温加热的程序操作，就可以避免这种危险。2)如果按先升温加热再抽真空的程序操作，加热的空气被真空泵抽出去的时候，热量必然会被带到真空泵上去，从而导致真空泵温升过高，有可能使真空泵效率下降。3)加热后的气体被导向真空压力表，真空压力表就会产生温升。如果温升超过了真空压力表规定的使用温度范围，就可能使真空压力表产生示值误差。正确的使用方法应该先抽真空再升温加热。待达到了额定温度后如发现真空度有所下降时再适当加抽一下。这样做对于延长设备的使用寿命是有利的。经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。

真空烘箱，是将干燥物料处于负压条件下进行干燥的一种箱体式干燥设备。它的工作原理是利用真空泵进行抽气抽湿，使工作室内形成真空状态，降低水的沸点，加快干燥的速度。真空烘箱能在较低温度下得到较高的干燥速率，热量利用充分，主要适用于对热敏性物料和含有容剂及需回收溶剂物料的干燥。在干燥前可进行消毒处理，干燥过程中不得有任何杂物混入，本干燥器属于静态真空干燥器，故干燥物料的形成不会损坏。加热方式有：蒸汽、热水、导热油、电热。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体，一目了然。苏州内置泵体真空烘箱PID调节

抽完真空后，先将真空阀门关闭，然后再将真空泵电源关闭或移除。苏州内置泵体真空烘箱PID调节

真空烘箱由高真空度真空泵，箱体，工作室，电加热器及数字温度器组成。能够在设定的真空度条件下稳定工作，适用于医药、化工、电子、器、材料、零件的真空乾燥处理。箱体外壳以冷扎板喷塑，美观悦目。内箱以不锈钢板密焊耐压工艺处理，配上门上的硅胶密封压垫，保证箱内的气密性，并采用玻璃纤维保温，提供高效绝热，节省能耗效果。发热板安装在内箱体四侧，以保证温度均匀性。广用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业作干燥之用，具有干燥物品速度快、污染小、不对干燥物品的内在质量造成破坏的优点。苏州内置泵体真空烘箱PID调节