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洁净室空气中悬浮粒子检测采样时应注意的问题①静态测试时室内的测试人员不得多于2人测试报告中应标明测试时所采用的状态；②对于单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始非单向流要不少于30min后开始；③必须按照仪器的检定周期定期对仪器作检定。视仪器本身特点、使用频率、使用环境等决定；④每个采样点可按所计算确定的**小采样量采样空气。但一般根据所使用的粒子计数器的采样量及时间设定通常实际采样都可能高于**小采样量。⑤测定时，进入洁净室的人员要穿洁净服有风淋室要经过风淋室，在室内尽量处于下风处并静止少动。洁净室（CleanRoom），亦称无尘车间、无尘室或清净室。湖南消毒液净化车间环境检测规范性强

用风罩法测量风量①用风量罩测定各风口风速时，其相应的出风风速为Vs=As。Vs------各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速m/s；Qs------各终端过滤器或送风散流器的送风量m3/s；As------送风口出风面积m2。②单向流-层流洁净室单向流洁净室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量，其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面，水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面，截面上测点间距不应大于2m，测点数应不少于10个，均匀布置仪器用热球风速仪。③测定风管内风量对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以打孔时，可以用风管法确定风量，测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形边长，不大于200mm测点，设于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管，应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可按综合效能普通通风空调风管法测量风量的方法进行。浙江口罩生产车间环境检测值得推荐按气流组织分类，洁净室可分为三类：单向流、层流、洁净室。

室内静压差的测试1、仪器设备及环境测量仪器倾斜微压计、数字微压计等。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有设计要求的各个相邻区域实施检测。3、静压差检测结果应符合下列规定。（1）相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。（2）洁净室与室外静压差应大于10Pa。（3）洁净度高于100级的单向流层流洁净室在开门状态下在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。4、操作过程及判定（1）将所有的门关闭，将测定用胶管口径比较好在5mm以下从墙壁上的孔洞伸入室内在离壁面不远处，垂直于气流方向设置周围无阻挡气流扰动**小。（2）静压差的测定应从平面上**里面的房间，通常也就是洁净度级别比较高的房间，与其紧邻的房间之间的压差测起依次向外测定，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。（3）对于洁净度高于5级的单向流层流洁净室，还应测定在门开启状态下离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。

洁净室正压值是指门窗全部关闭状态下，室内静压大于室外静压的数值。它是通过净化系统送风量大于回风量和排风量的方法来达到。为了保证洁净室正压值，送风、回风和排风机比较好联锁，系统开启时先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时先关排风机，再关回风机和送风机，以防止洁净室在系统开启和关闭时受到污染。维持洁净室正压所需的风量主要根据维护结构密闭性好坏来确定。我国洁净室建设初期由于围护结构密闭性较差，要维持≥5Pa的正压就要2~6次/h送风量;目前维护结构密闭性已大为提高，维持同样的正压只要1~2次/h送风量;维持≥1OPa也只要2~3次/h送风量！洁净车间、洁净厂房、净化车间、净化厂房、无尘室、净化工程、洁净工程、洁净手术室、层流手术室。

空气净化方法1、整体净化：可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧地以同速流向另一侧，使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外，而达到好的除菌效果。⑴高效过滤除菌技术：空气洁净主要靠高效或超高效过滤设备，向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。过滤洁净原理：①网截阻留；②筛孔阻留；③静电吸引阻留；④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此，过滤洁净技术是一种综合作用的结果。⑵滤材结构：生物洁净室所用滤材级别多数为高效或超高效滤材，所用滤材有：玻璃棉制滤材、高级纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。高效滤材对空气中0.5μm的颗粒的阻留率能达到90%~99%，超高效滤材可阻留0.3μm的颗粒99.9%以上。各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。江苏电子厂房环境检测规范性强

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 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

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