真空系统：真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝长筒械具的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射长筒械具或六硼化镧及六硼化铈长筒械具的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，用于放置样品。需要真空的原因包括：一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。扫描电镜普遍应用于微体古生物领域的研究。韶关国产扫描电镜费用
扫描电镜工作原理：从电子长筒械具阴极发出的直径20-30nm的电子束，受到阴阳极之间的加速电压的作用，射向镜筒。经过聚光镜和物镜聚焦后，形成一个具有一定能量、强度和斑点直径的入射电子束。在物镜上部扫描线圈产生的磁场作用下，入射电子束按一定时间、空间顺序作光栅式扫描。由于入射电子与样品之间的相互作用，从样品中激发出的信号被不同的检测器收集，并成像。扫描电镜配备有检测二次电子的SE2和Inlens检测器，形成样品形貌像；检测背散射电子的ASB检测器，形成样品成分衬度像；检测特征X射线能量的X射线能谱仪，用于元素定性、定量分析。韶关国产扫描电镜费用扫描电镜待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜。
电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，所以在用热发射电子长筒械具的扫描电镜上，电磁透镜必不可少。通常会装配两组：汇聚透镜和物镜，汇聚透镜但但用于汇聚电子束，与成象会焦无关;物镜负责将电子束的焦点汇聚到样品表面。扫描线圈的作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步，因为它们是由同一扫描发生器控制的。样品室内除放置样品外，还安置信号探测器。信号探测处理和显示系统：电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生二次电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如二次电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
冷场发射式：冷场发射式扫描电镜是通过使用一个锐利尖晶(lOOnm)和高电压(3.4kv)获得高势场，使电子从钨线圈中下来，要求具有超高真空度，但使用寿命较长，且具有高性能。冷场发射式较大的优点为电子束直径较小，亮度较高，因此影像分辨率较优。能量散布较小，故能改善在低电压操作的效果。冷场扫描电镜为避免针尖被外来气体吸附，而降低场发射电流，因此使得发射电流不稳定，发射体使用寿命短，冷场发射扫描电镜对真空条件要求较高，冷场发射式电子长筒械具必需在10-10torr的真空度下操作，虽然如此，还是需要定时短暂加热针尖至2500K（此过程叫做flashing，定时对针尖进行清洗），以去除所吸附的气体原子，此外，他的发射的总电流较小，但局限于单一的图像观察,应用范围有限。要从极细的钨针尖场发射电子，金属表面必需完全干净，无任何外来材料的原子或分子在其表面，即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射，所以场发射电子长筒械具必需保持超高真空度，来防止钨阴极表面累积原子。扫描电镜普遍应用于沉积学领域的研究。
因为扫描电子象不是同时记录的,它是分解为近百万个逐次依此记录构成的,因而使得扫描电镜除了观察表面形貌外,还能进行成分和元素的分析,以及通过电子通道花样进行结晶学分析,选区尺寸可以从10μm到2μm。由于扫描电镜具有上述特点和功能,所以越来越受到科研人员的重视,用途日益普遍。扫描电镜已普遍用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。扫描电镜普遍应用于宝石学领域的研究。韶关国产扫描电镜费用
扫描电镜可以根据需要选择大小不同的视场进行观察。韶关国产扫描电镜费用
在扫描电镜应用中，很多集中在半导体器件和集成电路方面，它可以很详细地检查器件工作时局部表面电压变化的实际情况，这是因为这种变化会带来象的反差的变化。焊接开裂和腐蚀表面的细节或相互关系可以很容易地观察到。利用束感生电流，可以观测半导体P—N结内部缺陷。电子束与样品作用区内，还发射与样品物质其他性质有关信号。例如：与样品化学成分分布相关的，背散射电子，特征X射线，俄歇电子，阴极荧光，样品吸收电流等；与样品晶体结构相关的，背散射电子衍射现象的探测；与半导体材料电学性能相关的，二次电子信号、电子束感生电流信号；在观察薄样品时产生的透射电子信号等。目前分别有商品化的探测器和装置可安装在扫描电镜样品分析室，用于探测和定性定量分析样品物质的相关信息。韶关国产扫描电镜费用
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