由于每一个波长都可以固定一个距离值，因此，通过将光谱山线峰值波长确定下来，就可以将精确的距离值推算出来。假设传感器与物体表面存在相对移动，此时物体表面的中心点恰好处在单色光（A1）的像点处，可以作出光谱仪探测到的光谱曲线。通过测量得到不同的波长值，可以将物体表面不同点之间的相对位移值计算出来。如果配上精细的扫描机构，就可以对整体的二维表面轮廓及形貌进行精确的测量。相比其他传统的位移传感器 ，光谱共焦传感器凭借独特的测量原理，具有测量效率高、精度高、体积小、非接触等特点，在各个领域都得到了大量的应用。激光共焦扫描显微镜将被测物体沿光轴移动或将透镜沿光轴移动。国内光谱共焦测量仪
基于光谱共焦技术的手机曲面外壳轮廓测量，是一种利用光谱共焦技术对手机曲面外壳轮廓进行非接触式测量的方法。该技术主要通过在光谱共焦显微镜中利用激光在手机曲面外壳上聚焦产生的共聚焦点，实现对表面高度的快速、准确测量 。通过采集不同波长的反射光谱信息，结合光谱共焦技术提高空间分辨率，可以测量出手机曲面外壳上不同位置的高度值，得到完整的三维轮廓图。相比传统的机械测量和影像测量方法，基于光谱共焦技术的手机曲面外壳轮廓测量具有非接触、快速、高精度、高分辨率和方便可靠等优势，可以适用于手机外壳、香水瓶等曲面形状复杂的产品的测量和质量控制。自动测量内径光谱共焦测距光谱共焦位移传感器可以实现对材料的表面形貌进行高精度测量，对于研究材料的表面性质具有重要意义。
采用对比测试方法，首先对基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度进行了考核，为了便于比较，将原子力显微镜轮廓仪的测量数据进行了偏移。结果得出，二者的低阶轮廓整体相似，局部的轮廓信息存在一定的偏差，原因在于二者在靶丸赤道附近的精确测量圆周轮廓结果不一致;此外，白光共焦光谱的信噪比较原子力低，这表明白光共焦光谱适用于靶丸表面低阶的轮廓误差的测量。从靶丸外表面轮廓原子力显微镜轮廓仪测量数据和白光共焦光谱轮廓仪测量数据的功率谱曲线中可以看出，在模数低于100的功率谱范围内，两种方法的测量结果一致性较好，当模数大于100时，白光共焦光谱的测量数据大于原子力显微镜的测量数据，这也反应了白光共焦光谱仪在高频段测量数据信噪比相对较差的特点。由于光谱传感器Z向分辨率比原子力低一个量级，同时，受环境振动、光谱仪采样率及样品表面散射光等因素的影响，共焦光谱检测数据高频随机噪声可达100nm左右 。
在塑料薄膜及透明材料薄厚测量层面，朱万彬等阐述了光谱共焦传感器在测量全透明平板电脑的平整度时，由全透明平板电脑的折光率不同而引进的测量误差并进行补偿；曹太腾等基千三维数据 测量的机器视觉技术，利用光谱共焦传感器对透明材料薄厚及弧形玻璃曲面薄厚进行检测。在外表粗糙度测量层面，沈雪琴等阐述了不一样 方式测量外表粗糙度时优缺点 ，选择了根据光谱共焦传感器的测量方式并进行了有关试验，为外表粗糙度的高精密测量提供了一种新方法；林杰俊等利用光谱共焦法测量外表粗糙度样块的表面粗糙度，并阐述了其 测量不确定度。文中利用 小二乘法测算校准误差并进行了离散系统误差测算，减少光谱共焦传感器校准后的误差，并在不同精密度标准器下，探寻光谱共焦传感器的校准误差的变化情况 ，对今后对光谱共焦传感器的应用及科学研究拥有重要意义。光谱共焦位移传感器具有非接触式测量的优势，可以在微观尺度下进行精确的位移测量。
精密几何量计量测试中光谱共焦技术的应用十分重要，其能够让光谱共焦技术的应用效率得到提升。在进行应用的过程中，其首先需要对光谱共焦技术的原理进行分析，然后对其计量的传感器进行综合性的应用。从而获取较为准确的测量数据。让光谱共焦技术的应用效果发挥出来 。光谱共焦位移传感器的工作原理就是使用宽谱光源照射到被测物体的表面，再通过光谱仪探测反射回来的光谱，光源发出的具有宽光诺的复色光 近似为点光源。在未来，光谱共焦技术将继续发展，为更多领域带来创新和改善。通过不断的研究和应用，我们可以期待看到更多令人振奋的成果，使光谱共焦技术成为科学和工程领域的不可或缺的一部分，为测量和测试提供更多可能性。光谱共焦位移传感器可以应用于材料科学、医学、纳米技术等多个领域；孔检测传感器光谱共焦测量仪
光谱共焦技术在医学、材料科学、环境监测等领域有着广泛的应用；国内光谱共焦测量仪
本文通过对比测试方法，考核了基于白光共焦光谱技术的靶丸外表面轮廓测量精度。图5(a)比较了原子力显微镜轮廓仪和白光共焦光谱轮廓仪测量曲线 ，二者低阶轮廓整体相似性高，但在靶丸赤道附近的高频段轮廓测量上存在一定的偏差。此外，白光共焦光谱的信噪比也相对较低，只适合测量靶丸表面低阶的轮廓误差。图5(b)比较了原子力显微镜轮廓仪测量数据和白光共焦光谱轮廓仪测量数据的功率谱曲线，发现两种方法在模数低于100的功率谱范围内测量结果一致性较好，但当模数大于100时，白光共焦光谱的测量数据大于原子力显微镜的测量数据，这反映了白光共焦光谱仪在高频段测量数据信噪比相对较差的特点。由于共焦光谱检测数据受多种因素影响，高频随机噪声可达100nm左右。国内光谱共焦测量仪
