江苏智能化盲孔产品电镀设备

真空除油设备负压技术中注意事项及实数对比

一、注意事项

1.油蒸气处理

需配置活性炭吸附或催化燃烧装置，避免真空泵油污染。

2.材料兼容性

对易挥发材料（如某些塑料）需谨慎选择真空度和温度。

3.维护成本

真空泵需定期更换油液，冷凝系统需防堵塞。

二、技术对比

技术                                           优势                                             劣势

真空负压                                     高效、节能、环保                          设备成本较高

超声波清洗                                  适合复杂结构                                 依赖化学药剂，能耗较高

溶剂清洗                                      溶解力强                                        毒性风险，环保压力大

总结：

真空除油设备的负压技术凭借其高效、环保的特性，已成为制造业中不可或缺的清洗手段。未来随着真空泵技术的进步（如干式真空泵的普及），其应用范围将进一步扩大，尤其在半导体、新能源等领域具有潜力 传统工艺返工 20%，真空除油 0 补镀！江苏智能化盲孔产品电镀设备

真空除油设备通过引入微波加热辅助技术，可在 10-15 秒内将顽固油污分子链断裂，配合真空环境下的分子扩散效应，实现金属加工件表面油膜残留量低于 0.05μm，特别适用于精密齿轮、轴承等动密封部件的超净处理。

在半导体晶圆制造领域，真空除油设备采用兆声波（1-3MHz）空化效应与真空干燥相结合的工艺，可去除直径小于 50nm 的纳米级油污颗粒，同时通过静电消除装置防止二次污染，满足 12 英寸晶圆对洁净度的苛刻要求。

真空除油设备创新应用膜分离技术，将溶剂回收系统与真空蒸馏单元集成，实现每小时处理 2000L 混合油污的能力，其分离纯度可达 99.9%，为 PCB 线路板、光学玻璃等行业提供经济高效的油污处理方案。 上海最小孔径 盲孔产品电镀设备镀液消耗降 50%，废水处理省三成！

真空机是什么设备？

一、定义

1.此设备主要用于盲孔产品，能迅速且高效地抽出容器内气体，促使药液快速填满盲孔，营造稳定负压环境。这可满足各类需负压条件的工艺要求，像电镀或前处理过水时，盲孔产品常因药水无法进入而产生不良和漏镀问题，使用该设备能让盲孔在电镀中有均匀沉积环境。

2.可根据客户具体需求量身定制单工位、二工位、以及多工位

二、主体说明

1.功率参数电压:AC380V50HZ

   真空泵功率:1.5KW

   真空度：-0.1-0.8pa

三、真空机由主要的四个部分结构组成：

真空腔体、真空泵、控制装置和振动装置。

1.外形美观大方，符合人体工学设计。

2.大口径高棚硅玻璃视口观察工作室内物体，一目了然。

3.箱体闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。

4.腔体材质采用不锈钢板制成，确保产品经久耐用。

深孔盲孔负压电镀工艺流程

1.工件预处理

电镀前需对工件进行表面预处理，包括去油、去锈、活化等步骤。预处理可有效提高工件表面亲水性，增强镀层附着力。

2.负压电镀液配置

根据工件材料和镀层要求，选择合适的电镀液。配置过程中，需注意调整金属离子浓度、pH值、温度等参数。

3.工件放置

将工件放入负压电镀容器中，确保工件与电镀液充分接触。

4.负压处理

通过真空泵抽离电镀容器内的空气，构建稳定的负压环境。

5.电镀过程通电后，金属离子在电场作用下向工件表面移动并沉积形成镀层。电镀过程中，需严格控制电流密度、温度、pH值等参数。

6.镀层后处理电镀完成后，对工件进行镀层后处理，如钝化、烘干等。 深孔清洁，良品率从 65% 飙升至 99%！

真空除油设备的定义

一、基本概念

1.通过真空泵将设备内部气压降至常压以下（通常 - 0.08~-0.1MPa），形成负压环境。

2.利用真空状态下液体沸点降低、渗透力增强的特性，实现深度除油。

二、负压技术的作用

1.强化渗透：负压使液体快速填充盲孔，排出空气并冲刷油污。

2.微气泡清洗：液体沸腾产生的微气泡破裂时释放能量，剥离顽固附着物。

3.低温干燥：真空环境下液体蒸发速度提升 5~10 倍，避免高温损伤基材。

三、部件

真空罐体：密闭容器，承载工件并维持负压。

真空泵组：多级罗茨泵 + 旋片泵组合，快速抽气并维持真空度。

加热系统：控制液体温度（通常 40~60℃）。

超声波发生器（可选）：增强空化效应，提升清洗效率。 一键式换液，维护时间缩短 80%！河北半导体封装载板盲孔产品电镀设备

真空除油设备可根据客户具体需求量身定制单工位、二工位、以及多工位。江苏智能化盲孔产品电镀设备

负压技术的跨行业应用的技术延伸

除传统制造领域外，负压技术已拓展至生物芯片制造（实现3μm细胞培养孔的精细加工）、航空航天密封件（提升O型圈沟槽的表面光洁度）、新能源电池（优化电极微孔的电解液渗透效率）等新兴领域，形成多技术融合的创新生态。

标准化体系的构建进程

国际标准化组织（ISO）正在制定《真空辅助精密加工技术规范》，涵盖设备性能参数、工艺控制指标等12项标准。我国已建立首条负压加工认证生产线，关键指标达到SEMI标准GEM300-0920要求，为产业国际化奠定基础。 江苏智能化盲孔产品电镀设备