四川一体式电镀设备

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数 喷淋式电镀设备利用高压喷头将电解液均匀喷洒在工件表面，加速离子交换，提高电镀效率，形状复杂的工件。四川一体式电镀设备

滚镀机的应用场景：

滚镀机决定生产线的适用工件类型滚

1.镀机适用的工件特征

尺寸：直径通常＜50mm，如螺丝、螺母、弹簧、电子连接器、小五金件。

形状：规则或轻微不规则（避免卡孔或缠绕，影响滚筒旋转）。

批量：适合万件级以上的大批量生产（如标准件电镀），小批量生产时滚镀机效率优势下降。

2.对电镀生产线的适配性

若生产线以滚镀机为镀槽设备，则整体设计围绕 “小件批量处理” 优化：

前处理槽体深度、宽度适配滚筒尺寸；

传输装置采用适合滚筒吊装的悬挂链或龙门架；

电源功率匹配滚筒内工件总表面积（电流需均匀分布）。

反之，若生产线以挂镀为主（如汽车配件、装饰件），则镀槽、传输系统设计完全不同，体现 “定制化生产线” 特性。 山东电镀设备产业电镀电源设备提供稳定直流电流，支持恒流恒压调节，直接影响镀层厚度与质量均匀性。

全自动磷化线

一种用于金属表面处理的自动化生产线，通过化学磷化工艺在金属表面形成一层磷酸盐转化膜，以提升金属的耐腐蚀性、涂装附着力和润滑性能

一、基本概念

1.磷化（Phosphating）是一种化学表面处理技术，利用磷酸盐溶液与金属（如钢铁、锌、铝等）发生反应，生成一层致密的磷酸盐晶体膜（如磷酸铁、磷酸锌）

功能：防锈、增强涂层附着力、减少摩擦、延长金属寿命

2.全自动磷化线通过自动化设备实现磷化工艺全流程无人化操作，覆盖预处理、磷化、后处理等环节。

二、组成

1.预处理单元

脱脂槽：去除金属表面油污

酸洗槽：氧化皮和锈迹

水洗槽：冲洗残留化学药剂

2.磷化处理单元

磷化槽：主反应区，金属浸泡或喷淋磷化液，生成转化膜

温度与浓度控制：通过传感器和自动加药系统维持工艺参数稳定

3.后处理单元

封闭/钝化槽：增强磷化膜耐腐蚀性

烘干系统：热风或红外烘干，避免水痕残留

4.自动化系统

输送装置：传送带、机械臂或悬挂链，精细控制工件移动

PLC控制：集成温控、液位监测、流程时序管理

数据监控：实时记录工艺参数，支持远程操作与故障诊断

三、工作流程

上料 → 脱脂 → 水洗 → 酸洗 → 水洗 → 表调（调整表面活性）→ 磷化 → 水洗 → 钝化 → 烘干 → 下料。

电镀生产线其组成部分围绕 “前处理→电镀处理→后处理→辅助控制” 具体如下：

一、工艺处理系统

1. 前处理设备

除油装置：

化学除油槽：使用碱性溶液或表面活性剂，去除工件表面油污。

电解除油槽：通过电化学作用强化除油效果，分阳极除油（适用于钢铁件）和阴极除油（适用于铝、铜等易腐蚀金属）。

酸洗 / 活化设备：

酸洗槽-活化槽-水洗槽

2.电镀处理设备

镀槽主体：

按电镀方式分类：

挂镀槽：用于中大件或精密件

滚镀机：用于小尺寸、大批量工件（如螺丝、电子元件）

连续镀设备：针对带状 / 线状工件（如钢带、铜线）

槽体材料：根据电解液性质选择

3. 后处理设备

清洗系统：多级水洗（冷水洗、热水洗），去除镀层表面残留电解液，防止腐蚀。

钝化 / 封闭装置：

钝化槽：通过铬酸盐、无铬钝化剂等形成保护膜（如镀锌后的蓝白钝化、五彩钝化），提高耐腐蚀性。

封闭槽：用于多孔镀层（如阳极氧化膜），通过热水封闭或有机涂层封闭，增强膜层致密性。

干燥设备：

热风干燥箱：适用于小件批量干燥，温度可控（50~150℃）。

离心干燥机：滚镀后工件甩干（滚筒直接接入，快速去除表面水分）。

特殊处理：如镀后抛光（机械或电解抛光）、涂油（防锈）等。 工件篮设备用于篮镀工艺，网孔大小根据工件尺寸定制，兼顾电解液流通性与防止小件掉落。

龙门自动线的特点

高精度定位

伺服系统+光栅尺反馈，确保工件浸镀位置误差＜1mm适用于精密电子接插件、汽车精密部件等对镀层均匀性要求高的场景（厚度偏差±3-5%）。

多工艺兼容性

可集成除油、酸洗、电镀、钝化、烘干等20+工序支持挂镀、滚镀（通过可切换挂具）混合生产

柔性化生产

通过编程快速切换工件类型（换型时间＜30分钟）支持小批量多品种（如同时处理10种不同规格螺栓）

稳定性强

故障率＜0.5%（关键部件如电机、传感器采用工业级防护）连续运行寿命＞10万小时

典型应用

行业                                        应用案例                                          工艺要求                                            汽车制造                  发动机支架镀锌、轮毂镀铬                     耐盐雾＞720小时，厚度10-15μm

电子行业                  手机接口镀金、PCB接插件镀镍 镀层         孔隙率＜5个/cm²                                          五金                   卫浴镀铜镍铬三镀层                        表面粗糙度Ra＜0.2μm 镀镍设备配套活性炭吸附装置，定期去除镀液中有机杂质，防止细孔、麻点等镀层缺陷。广东医疗器材电镀设备

电镀设备中的挂镀装置，通过挂具悬挂工件，适用于汽车零件等中大件，可实现镀层均匀附着。四川一体式电镀设备

电镀设备的组成

1.电解电源系统

提供稳定直流电，通常采用高频开关电源或硅整流器，电压范围0-24V，电流可调至数千安培，满足不同镀种需求。

2.电解槽体结构

耐腐蚀材质槽体（如PP/CPVC/PVDF），尺寸设计依据生产需求，典型容积0.5-10m³，配置防渗漏双层结构。

3.电极系统

阳极组件：可溶性金属（如镍板）或不溶性阳极（钛篮+金属球），配置阳极袋防止杂质扩散

阴极挂具：定制化设计，确保工件均匀受镀，接触电阻＜0.1Ω

4.工艺控制系统

温控精度±1℃，流量控制误差＜5%

在线pH监测（±0.1精度）

安培小时计控制镀层厚度

设备分类与技术参数

类型                    适用场景                  产能(㎡/h)              厚度均匀性                 典型配置

挂镀线                精密零部件                   0.5-2                     ±5%                    多工位龙门架，PLC控制        滚镀系统            小件批量处理                  3-8                      ±15%                    六角滚筒，变频驱动          连续电镀线           带材/线材                     10-30                     ±8%                    张力控制+多槽串联          选择性电镀             局部强化                   0.1-0.5                   ±3%                   数控喷射装置，微区控制 四川一体式电镀设备