半导体芯片清洗废水余热可以回收循环利用吗？

江苏欧贝新能源发展有限公司2026-06-19

可以的。半导体制造中，蚀刻、清洗等工序会持续排放30-40℃的工艺废水，同时清洗环节又需要将超纯水加热至40-60℃。江苏欧贝的高温水源热泵利用热泵原理，从这些低品位废水中提取热量，经压缩提升后直接用于超纯水加热。这不是理论构想——已有微电子厂成功应用该技术，全年蒸汽消耗量降低30%以上，节能量相当于364吨标煤。让芯片清洗废水从“排放负担”变成“热源宝库”。

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